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Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP2888551

EP2888551 - DEVICE AND METHOD FOR DIMENSIONAL MEASUREMENTS ON MULTILAYER OBJECTS LIKE WAFERS [Right-click to bookmark this link]
Former [2015/27]DEVICE AND METHOD FOR MAKING DIMENSIONAL MEASUREMENTS ON MULTILAYER OBJECTS SUCH AS WAFERS
[2018/18]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  23.08.2019
Database last updated on 23.04.2024
FormerThe patent has been granted
Status updated on  14.09.2018
FormerGrant of patent is intended
Status updated on  07.05.2018
FormerExamination is in progress
Status updated on  30.06.2017
Most recent event   Tooltip01.07.2022Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): MK		published on 03.08.2022  [2022/31]
Applicant(s)For all designated states
Unity Semiconductor
611 Rue Aristide Bergès
38330 Montbonnot-Saint-Martin / FR
[2018/22]
Former [2018/07]For all designated states
Unity Semiconductor
611, rue Aristide Bergès
38330 Montbonnot-Saint-Martin / FR
Former [2015/27]For all designated states
Fogale Nanotech
125 Rue de L'hostellerie
Batiment A - Ville Active
30900 Nimes / FR
Inventor(s)01 / FRESQUET, Gilles
12 rue des Ormeaux
F-30190 Garrigues Sainte Eulalie / FR
02 / PERROT, Sylvain
Bât. B
Résidence les Chandeliers
99 avenue du Général Leclerc
F-91120 Palaiseau / FR
 [2018/42]
Former [2015/27]01 / FRESQUET, Gilles
12 rue des Ormeaux
F-30190 Garrigues Sainte Eulalie / FR
02 / PERROT, Sylvain
Bât. B
Résidence les Chandeliers
99 avenue du Général Leclerc
F-91120 Palaiseau / FR
Representative(s)IPAZ
Bâtiment Platon
Parc Les Algorithmes
91190 Saint-Aubin / FR
[N/P]
Former [2018/42]IPAZ
Parc Les Algorithmes, Bâtiment Platon
CS 70003 Saint-Aubin
91192 Gif-sur-Yvette Cedex / FR
Former [2015/27]Pontet Allano & Associes
Parc Les Algorithmes, Bâtiment Platon
CS 70003 Saint-Aubin
91192 Gif-sur-Yvette Cedex / FR
Application number, filing date13759989.016.08.2013
[2018/42]
WO2013EP67170
Priority number, dateFR2012005790621.08.2012         Original published format: FR 1257906
[2015/27]
Filing languageFR
Procedural languageFR
PublicationType: A1 Application with search report
No.:WO2014029703
Date:27.02.2014
Language:FR
[2014/09]
Type: A1 Application with search report 
No.:EP2888551
Date:01.07.2015
Language:FR
The application published by WIPO in one of the EPO official languages on 27.02.2014 takes the place of the publication of the European patent application.
[2015/27]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP2888551
Date:17.10.2018
Language:FR
[2018/42]
Search report(s)International search report - published on:EP27.02.2014
ClassificationIPC:G01B11/00, B24B49/12, G01B11/06, G01N21/95, H01L21/66, H01L21/67
[2015/27]
CPC:
B24B49/12 (EP,KR,US); B24B37/005 (EP,KR,US); G06T7/0012 (US);
G01B11/06 (US); G01B11/0633 (EP,US); G01B11/0683 (EP,KR,US);
G01B11/14 (US); G01B9/02091 (US); G01N21/9501 (EP,US);
G06T7/0008 (US); G06T7/001 (US); H01L21/304 (KR);
H01L22/12 (KR); H04N23/56 (US); H04N7/18 (US);
G06T2207/10004 (US); G06T2207/10152 (US); G06T2207/30148 (US) (-)
Designated contracting statesAL,   AT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   RS,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2015/27]
Extension statesBANot yet paid
MENot yet paid
TitleGerman:VORRICHTUNG UND METHODE FÜR DIMENSIONSMESSUNGEN AN VIELSCHICHT-OBJEKTEN WIE WAFERN[2018/18]
English:DEVICE AND METHOD FOR DIMENSIONAL MEASUREMENTS ON MULTILAYER OBJECTS LIKE WAFERS[2018/18]
French:DISPOSITIF ET PROCEDE POUR FAIRE DES MESURES DIMENSIONNELLES SUR DES OBJETS MULTI-COUCHES TELS QUE DES WAFERS[2015/27]
Former [2015/27]VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR DURCHFÜHRUNG VON DIMENSIONALEN MESSUNGEN AUF MEHRSCHICHTIGEN GEGENSTÄNDEN WIE ETWA WAFERN
Former [2015/27]DEVICE AND METHOD FOR MAKING DIMENSIONAL MEASUREMENTS ON MULTILAYER OBJECTS SUCH AS WAFERS
Entry into regional phase20.02.2015National basic fee paid 
20.02.2015Designation fee(s) paid 
20.02.2015Examination fee paid 
Examination procedure20.02.2015Examination requested  [2015/27]
07.09.2015Amendment by applicant (claims and/or description)
04.07.2017Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M04)
20.10.2017Reply to a communication from the examining division
08.05.2018Communication of intention to grant the patent
07.09.2018Fee for grant paid
07.09.2018Fee for publishing/printing paid
07.09.2018Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is  04.07.2017
Opposition(s)18.07.2019No opposition filed within time limit [2019/39]
Fees paidRenewal fee
21.08.2015Renewal fee patent year 03
19.08.2016Renewal fee patent year 04
21.08.2017Renewal fee patent year 05
22.08.2018Renewal fee patent year 06
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU16.08.2013
AL17.10.2018
AT17.10.2018
CY17.10.2018
CZ17.10.2018
DK17.10.2018
EE17.10.2018
ES17.10.2018
HR17.10.2018
IT17.10.2018
LT17.10.2018
LV17.10.2018
MC17.10.2018
MK17.10.2018
MT17.10.2018
NL17.10.2018
PL17.10.2018
RO17.10.2018
RS17.10.2018
SI17.10.2018
SK17.10.2018
SM17.10.2018
TR17.10.2018
BG17.01.2019
NO17.01.2019
GR18.01.2019
IS17.02.2019
PT17.02.2019
[2022/31]
Former [2021/34]HU16.08.2013
AL17.10.2018
AT17.10.2018
CY17.10.2018
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EE17.10.2018
ES17.10.2018
HR17.10.2018
IT17.10.2018
LT17.10.2018
LV17.10.2018
MC17.10.2018
MT17.10.2018
NL17.10.2018
PL17.10.2018
RO17.10.2018
RS17.10.2018
SI17.10.2018
SK17.10.2018
SM17.10.2018
TR17.10.2018
BG17.01.2019
NO17.01.2019
GR18.01.2019
IS17.02.2019
PT17.02.2019
Former [2021/33]HU16.08.2013
AL17.10.2018
AT17.10.2018
CY17.10.2018
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DK17.10.2018
EE17.10.2018
ES17.10.2018
HR17.10.2018
IT17.10.2018
LT17.10.2018
LV17.10.2018
MC17.10.2018
NL17.10.2018
PL17.10.2018
RO17.10.2018
RS17.10.2018
SI17.10.2018
SK17.10.2018
SM17.10.2018
TR17.10.2018
BG17.01.2019
NO17.01.2019
GR18.01.2019
IS17.02.2019
PT17.02.2019
Former [2021/26]AL17.10.2018
AT17.10.2018
CY17.10.2018
CZ17.10.2018
DK17.10.2018
EE17.10.2018
ES17.10.2018
HR17.10.2018
IT17.10.2018
LT17.10.2018
LV17.10.2018
MC17.10.2018
NL17.10.2018
PL17.10.2018
RO17.10.2018
RS17.10.2018
SI17.10.2018
SK17.10.2018
SM17.10.2018
TR17.10.2018
BG17.01.2019
NO17.01.2019
GR18.01.2019
IS17.02.2019
PT17.02.2019
Former [2020/25]AL17.10.2018
AT17.10.2018
CZ17.10.2018
DK17.10.2018
EE17.10.2018
ES17.10.2018
HR17.10.2018
IT17.10.2018
LT17.10.2018
LV17.10.2018
MC17.10.2018
NL17.10.2018
PL17.10.2018
RO17.10.2018
RS17.10.2018
SI17.10.2018
SK17.10.2018
SM17.10.2018
TR17.10.2018
BG17.01.2019
NO17.01.2019
GR18.01.2019
IS17.02.2019
PT17.02.2019
Former [2020/17]AL17.10.2018
AT17.10.2018
CZ17.10.2018
DK17.10.2018
EE17.10.2018
ES17.10.2018
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IT17.10.2018
LT17.10.2018
LV17.10.2018
NL17.10.2018
PL17.10.2018
RO17.10.2018
RS17.10.2018
SI17.10.2018
SK17.10.2018
SM17.10.2018
TR17.10.2018
BG17.01.2019
NO17.01.2019
GR18.01.2019
IS17.02.2019
PT17.02.2019
Former [2019/50]AL17.10.2018
AT17.10.2018
CZ17.10.2018
DK17.10.2018
EE17.10.2018
ES17.10.2018
HR17.10.2018
IT17.10.2018
LT17.10.2018
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NL17.10.2018
PL17.10.2018
RO17.10.2018
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SI17.10.2018
SK17.10.2018
SM17.10.2018
BG17.01.2019
NO17.01.2019
GR18.01.2019
IS17.02.2019
PT17.02.2019
Former [2019/40]AL17.10.2018
AT17.10.2018
CZ17.10.2018
DK17.10.2018
EE17.10.2018
ES17.10.2018
HR17.10.2018
IT17.10.2018
LT17.10.2018
LV17.10.2018
NL17.10.2018
PL17.10.2018
RO17.10.2018
RS17.10.2018
SK17.10.2018
SM17.10.2018
BG17.01.2019
NO17.01.2019
GR18.01.2019
IS17.02.2019
PT17.02.2019
Former [2019/37]AL17.10.2018
AT17.10.2018
CZ17.10.2018
DK17.10.2018
EE17.10.2018
ES17.10.2018
HR17.10.2018
IT17.10.2018
LT17.10.2018
LV17.10.2018
NL17.10.2018
PL17.10.2018
RO17.10.2018
RS17.10.2018
SM17.10.2018
BG17.01.2019
NO17.01.2019
GR18.01.2019
IS17.02.2019
PT17.02.2019
Former [2019/35]AL17.10.2018
AT17.10.2018
CZ17.10.2018
DK17.10.2018
ES17.10.2018
HR17.10.2018
IT17.10.2018
LT17.10.2018
LV17.10.2018
NL17.10.2018
PL17.10.2018
RS17.10.2018
BG17.01.2019
NO17.01.2019
GR18.01.2019
IS17.02.2019
PT17.02.2019
Former [2019/34]AL17.10.2018
AT17.10.2018
DK17.10.2018
ES17.10.2018
HR17.10.2018
IT17.10.2018
LT17.10.2018
LV17.10.2018
NL17.10.2018
PL17.10.2018
RS17.10.2018
BG17.01.2019
NO17.01.2019
GR18.01.2019
IS17.02.2019
PT17.02.2019
Former [2019/26]AL17.10.2018
AT17.10.2018
ES17.10.2018
HR17.10.2018
LT17.10.2018
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NL17.10.2018
PL17.10.2018
RS17.10.2018
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NO17.01.2019
GR18.01.2019
IS17.02.2019
PT17.02.2019
Former [2019/25]AT17.10.2018
ES17.10.2018
HR17.10.2018
LT17.10.2018
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NL17.10.2018
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GR18.01.2019
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Former [2019/24]AT17.10.2018
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LT17.10.2018
LV17.10.2018
NL17.10.2018
PL17.10.2018
BG17.01.2019
NO17.01.2019
GR18.01.2019
IS17.02.2019
Former [2019/23]AT17.10.2018
ES17.10.2018
HR17.10.2018
LT17.10.2018
LV17.10.2018
NL17.10.2018
PL17.10.2018
BG17.01.2019
NO17.01.2019
IS17.02.2019
Former [2019/22]LT17.10.2018
NL17.10.2018
PL17.10.2018
BG17.01.2019
NO17.01.2019
IS17.02.2019
Former [2019/21]LT17.10.2018
NL17.10.2018
NO17.01.2019
IS17.02.2019
Former [2019/20]LT17.10.2018
NL17.10.2018
NO17.01.2019
Former [2019/17]NL17.10.2018
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DOI:   http://dx.doi.org/10.1109/LTB-3D.2012.6238088
ExaminationUS2005231713
by applicantUS7738113
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