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Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP2096494

EP2096494 - Iterative learning for position control in an exposure apparatus [Right-click to bookmark this link]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  09.11.2018
Database last updated on 28.06.2024
FormerThe patent has been granted
Status updated on  01.12.2017
FormerGrant of patent is intended
Status updated on  17.07.2017
Most recent event   Tooltip26.06.2020Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): MK		published on 29.07.2020  [2020/31]
Applicant(s)For all designated states
Canon Kabushiki Kaisha
30-2, Shimomaruko 3-chome Ohta-ku
Tokyo / JP
[2009/36]
Inventor(s)01 / Takagi, Kiyoshi
c/o CANON KABUSHIKI KAISHA
30-2, Shimomaruko 3-chome
Ohta-ku
Tokyo / JP
 [2018/01]
Former [2009/36]01 / Takagi, Kiyoshi
c/o CANON KABUSHIKI KAISHA 30-2, Shimomaruko 3-chome Ohta-ku
Tokyo / JP
Representative(s)WESER & Kollegen Patentanwälte PartmbB
Radeckestraße 43
81245 München / DE
[N/P]
Former [2014/42]WESER & Kollegen
Radeckestraße 43
81245 München / DE
Former [2009/36]Weser, Thilo, et al
Weser & Kollegen Patentanwälte Radeckestrasse 43
81245 München / DE
Application number, filing date09002581.824.02.2009
[2009/36]
Priority number, dateJP2008005012629.02.2008         Original published format: JP 2008050126
[2009/36]
Filing languageEN
Procedural languageEN
PublicationType: A1 Application with search report 
No.:EP2096494
Date:02.09.2009
Language:EN
[2009/36]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP2096494
Date:03.01.2018
Language:EN
[2018/01]
Search report(s)(Supplementary) European search report - dispatched on:EP28.04.2009
ClassificationIPC:G03F7/20, G05B13/02, G05B19/00
[2009/36]
CPC:
G03F7/70725 (EP,KR,US); G03F7/70775 (KR); G05B13/0265 (EP,KR,US);
G05B19/19 (EP,KR,US); G05B2219/41439 (EP,KR,US); G05B2219/42012 (EP,KR,US)
Designated contracting statesAT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   SE,   SI,   SK,   TR [2018/01]
Former [2009/36]AT,  BE,  BG,  CH,  CY,  CZ,  DE,  DK,  EE,  ES,  FI,  FR,  GB,  GR,  HR,  HU,  IE,  IS,  IT,  LI,  LT,  LU,  LV,  MC,  MK,  MT,  NL,  NO,  PL,  PT,  RO,  SE,  SI,  SK,  TR 
TitleGerman:Iteratives Lernen zur Positionssteuerung in einem Belichtungsapparat[2009/36]
English:Iterative learning for position control in an exposure apparatus[2009/36]
French:Apprentissage itératif pour réglage de position dans un appareil d'exposition[2009/36]
Examination procedure12.08.2009Amendment by applicant (claims and/or description)
02.03.2010Examination requested  [2010/14]
12.10.2012Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M04)
19.02.2013Reply to a communication from the examining division
18.07.2017Communication of intention to grant the patent
06.11.2017Fee for grant paid
06.11.2017Fee for publishing/printing paid
06.11.2017Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is  12.10.2012
Opposition(s)05.10.2018No opposition filed within time limit [2018/50]
Fees paidRenewal fee
28.02.2011Renewal fee patent year 03
29.02.2012Renewal fee patent year 04
28.02.2013Renewal fee patent year 05
28.02.2014Renewal fee patent year 06
02.03.2015Renewal fee patent year 07
29.02.2016Renewal fee patent year 08
28.02.2017Renewal fee patent year 09
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU24.02.2009
AT03.01.2018
CY03.01.2018
CZ03.01.2018
DK03.01.2018
EE03.01.2018
ES03.01.2018
FI03.01.2018
HR03.01.2018
IT03.01.2018
LT03.01.2018
LV03.01.2018
MC03.01.2018
MK03.01.2018
NL03.01.2018
PL03.01.2018
PT03.01.2018
RO03.01.2018
SE03.01.2018
SI03.01.2018
SK03.01.2018
TR03.01.2018
IE24.02.2018
LU24.02.2018
MT24.02.2018
BE28.02.2018
CH28.02.2018
LI28.02.2018
FR05.03.2018
BG03.04.2018
GB03.04.2018
NO03.04.2018
GR04.04.2018
IS03.05.2018
[2020/31]
Former [2020/27]HU24.02.2009
AT03.01.2018
CY03.01.2018
CZ03.01.2018
DK03.01.2018
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HR03.01.2018
IT03.01.2018
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LV03.01.2018
MC03.01.2018
NL03.01.2018
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GB03.04.2018
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Former [2020/16]AT03.01.2018
CY03.01.2018
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CY03.01.2018
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EE03.01.2018
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IS03.05.2018
Former [2018/47]AT03.01.2018
CY03.01.2018
ES03.01.2018
FI03.01.2018
HR03.01.2018
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LT03.01.2018
LV03.01.2018
NL03.01.2018
PL03.01.2018
SE03.01.2018
BG03.04.2018
NO03.04.2018
GR04.04.2018
IS03.05.2018
Former [2018/40]AT03.01.2018
CY03.01.2018
ES03.01.2018
FI03.01.2018
HR03.01.2018
LT03.01.2018
LV03.01.2018
NL03.01.2018
PL03.01.2018
SE03.01.2018
BG03.04.2018
NO03.04.2018
GR04.04.2018
IS03.05.2018
Former [2018/39]AT03.01.2018
CY03.01.2018
ES03.01.2018
FI03.01.2018
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IS03.05.2018
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CY03.01.2018
ES03.01.2018
FI03.01.2018
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NO03.04.2018
GR04.04.2018
IS03.05.2018
Former [2018/37]CY03.01.2018
ES03.01.2018
FI03.01.2018
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NL03.01.2018
PL03.01.2018
NO03.04.2018
GR04.04.2018
Former [2018/36]CY03.01.2018
ES03.01.2018
FI03.01.2018
HR03.01.2018
LT03.01.2018
NL03.01.2018
PL03.01.2018
NO03.04.2018
Former [2018/35]CY03.01.2018
FI03.01.2018
HR03.01.2018
LT03.01.2018
NL03.01.2018
NO03.04.2018
Former [2018/34]FI03.01.2018
LT03.01.2018
NL03.01.2018
NO03.04.2018
Documents cited:Search[DX]US7181296  (ROTARIU ANDREEA IULIANA [AU], et al) [DX] 1-3,5-10 * column 11, line 3 - column 14, line 19 * * figures 1a,2,3,7a *;
 [X]  - ROTARIU I ET AL, "Time-frequency analysis of a motion system with learning control", PROCEEDINGS OF THE 2003 AMERICAN CONTROL CONFERENCE. ACC. DENVER, CO, JUNE 4 - 6, 2003; [AMERICAN CONTROL CONFERENCE], NEW YORK, NY : IEEE, US, (20030604), vol. 4, ISBN 978-0-7803-7896-4, pages 3650 - 3654, XP010667057 [X] 1-3,5-10 * page 3650, column R, paragraph L - page 3652, column R, paragraph 1 * * figures 1,2 *

DOI:   http://dx.doi.org/10.1109/ACC.2003.1244131
by applicant   - ROTARIU ET AL., PROCEEDINGS OF THE AMERICAN CONTROL CONFERENCE, (2003), vol. 4, pages 3650 - 3654
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