blank Quick help
blank Maintenance news

Scheduled maintenance

Regular maintenance outages:
between 05.00 and 05.15 hrs CET (Monday to Sunday).

Other outages
Availability
Register Forum

2022.02.11

More...
blank News flashes

News flashes

New version of the European Patent Register - SPC information for Unitary Patents.

2024-03-06

More...
blank Related links

Release notes
European Patent Register Assistant
European Patent Register Resource Book
European Patent Register – pocket guide
FAQ - European Patent Register
FAQ - Register Alert
Federated Register (Flyer)
Global Dossier (Flyer)
Register events
Deep link coverage
Federated Register content
The Patent Information Tour
Fair use charter

Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP2289095

EP2289095 - SYSTEM FOR NON RADIAL TEMPERATURE CONTROL FOR ROTATING SUBSTRATES [Right-click to bookmark this link]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  10.07.2020
Database last updated on 16.07.2024
FormerThe patent has been granted
Status updated on  31.05.2019
FormerGrant of patent is intended
Status updated on  02.12.2018
FormerExamination is in progress
Status updated on  22.05.2018
Most recent event   Tooltip08.07.2022Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): MK		published on 10.08.2022  [2022/32]
Applicant(s)For all designated states
Applied Materials, Inc.
3050 Bowers Avenue
Santa Clara, CA 95054 / US
[2011/09]
Inventor(s)01 / ADERHOLD, Wolfgang, R.
11652 Vineyard Spring Court
Cupertino CA 95014 / US
02 / HUNTER, Aaron
430 Emeline Avenue
Santa Cruz CA 95060 / US
03 / RANISH, Joseph, R.
3751 Woodleaf Court
San Jose CA 95117 / US
 [2011/09]
Representative(s)Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB
Postfach 330 920
80069 München / DE
[2019/27]
Former [2011/09]Zimmermann & Partner
Josephspitalstrasse 15
80331 München / DE
Application number, filing date09739939.801.05.2009
[2011/09]
WO2009US42538
Priority number, dateUS20080050167P02.05.2008         Original published format: US 50167 P
US20080055814P23.05.2008         Original published format: US 55814 P
[2011/09]
Filing languageEN
Procedural languageEN
PublicationType: A2 Application without search report
No.:WO2009135137
Date:05.11.2009
Language:EN
[2009/45]
Type: A2 Application without search report 
No.:EP2289095
Date:02.03.2011
Language:EN
The application published by WIPO in one of the EPO official languages on 05.11.2009 takes the place of the publication of the European patent application.
[2011/09]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP2289095
Date:03.07.2019
Language:EN
[2019/27]
Search report(s)International search report - published on:KR18.02.2010
(Supplementary) European search report - dispatched on:EP16.05.2012
ClassificationIPC:H01L21/324, H01L21/67, H01L21/66
[2018/51]
CPC:
H01L21/324 (EP,CN,KR,US); H01L22/26 (KR,US); H01L21/67115 (EP,CN,KR,US);
H01L21/67248 (EP,CN,KR,US); H01L21/68764 (KR); H01L22/10 (KR,US)
Former IPC [2012/24]H01L21/324, H01L21/67
Former IPC [2011/09]H01L21/324, H01L21/683
Designated contracting statesAT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   SE,   SI,   SK,   TR [2019/27]
Former [2011/09]AT,  BE,  BG,  CH,  CY,  CZ,  DE,  DK,  EE,  ES,  FI,  FR,  GB,  GR,  HR,  HU,  IE,  IS,  IT,  LI,  LT,  LU,  LV,  MC,  MK,  MT,  NL,  NO,  PL,  PT,  RO,  SE,  SI,  SK,  TR 
TitleGerman:SYSTEM ZUR NICHT-RADIALEN TEMPERATURREGELUNG FÜR ROTIERENDE SUBSTRATE[2011/09]
English:SYSTEM FOR NON RADIAL TEMPERATURE CONTROL FOR ROTATING SUBSTRATES[2011/09]
French:SYSTÈME DE RÉGULATION D'UNE TEMPÉRATURE NON RADIALE POUR LA ROTATION DE SUBSTRATS[2011/09]
Entry into regional phase02.12.2010National basic fee paid 
02.12.2010Search fee paid 
02.12.2010Designation fee(s) paid 
02.12.2010Examination fee paid 
Examination procedure02.12.2010Examination requested  [2011/09]
10.12.2012Amendment by applicant (claims and/or description)
08.04.2016Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M04)
19.07.2016Reply to a communication from the examining division
14.05.2018Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M04)
03.09.2018Reply to a communication from the examining division
03.12.2018Communication of intention to grant the patent
02.04.2019Fee for grant paid
02.04.2019Fee for publishing/printing paid
02.04.2019Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)EP19183675.8  / EP3573092
The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is  08.04.2016
Opposition(s)03.06.2020No opposition filed within time limit [2020/33]
Fees paidRenewal fee
10.05.2011Renewal fee patent year 03
21.03.2012Renewal fee patent year 04
26.03.2013Renewal fee patent year 05
26.03.2014Renewal fee patent year 06
07.05.2015Renewal fee patent year 07
30.03.2016Renewal fee patent year 08
08.05.2017Renewal fee patent year 09
25.05.2018Renewal fee patent year 10
21.05.2019Renewal fee patent year 11
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU01.05.2009
AT03.07.2019
CY03.07.2019
CZ03.07.2019
DK03.07.2019
EE03.07.2019
ES03.07.2019
FI03.07.2019
HR03.07.2019
IT03.07.2019
LT03.07.2019
LV03.07.2019
MC03.07.2019
MK03.07.2019
MT03.07.2019
NL03.07.2019
PL03.07.2019
RO03.07.2019
SE03.07.2019
SI03.07.2019
SK03.07.2019
TR03.07.2019
BG03.10.2019
NO03.10.2019
GR04.10.2019
IS03.11.2019
PT04.11.2019
GB01.05.2020
IE01.05.2020
LU01.05.2020
BE31.05.2020
CH31.05.2020
LI31.05.2020
[2022/32]
Former [2022/27]HU01.05.2009
AT03.07.2019
CY03.07.2019
CZ03.07.2019
DK03.07.2019
EE03.07.2019
ES03.07.2019
FI03.07.2019
HR03.07.2019
IT03.07.2019
LT03.07.2019
LV03.07.2019
MC03.07.2019
MT03.07.2019
NL03.07.2019
PL03.07.2019
RO03.07.2019
SE03.07.2019
SI03.07.2019
SK03.07.2019
TR03.07.2019
BG03.10.2019
NO03.10.2019
GR04.10.2019
IS03.11.2019
PT04.11.2019
GB01.05.2020
IE01.05.2020
LU01.05.2020
BE31.05.2020
CH31.05.2020
LI31.05.2020
Former [2021/24]AT03.07.2019
CZ03.07.2019
DK03.07.2019
EE03.07.2019
ES03.07.2019
FI03.07.2019
HR03.07.2019
IT03.07.2019
LT03.07.2019
LV03.07.2019
MC03.07.2019
NL03.07.2019
PL03.07.2019
RO03.07.2019
SE03.07.2019
SI03.07.2019
SK03.07.2019
TR03.07.2019
BG03.10.2019
NO03.10.2019
GR04.10.2019
IS03.11.2019
PT04.11.2019
GB01.05.2020
IE01.05.2020
LU01.05.2020
BE31.05.2020
CH31.05.2020
LI31.05.2020
Former [2021/22]AT03.07.2019
CZ03.07.2019
DK03.07.2019
EE03.07.2019
ES03.07.2019
FI03.07.2019
HR03.07.2019
IT03.07.2019
LT03.07.2019
LV03.07.2019
MC03.07.2019
NL03.07.2019
PL03.07.2019
RO03.07.2019
SE03.07.2019
SI03.07.2019
SK03.07.2019
TR03.07.2019
BG03.10.2019
NO03.10.2019
GR04.10.2019
IS03.11.2019
PT04.11.2019
GB01.05.2020
IE01.05.2020
LU01.05.2020
CH31.05.2020
LI31.05.2020
Former [2021/20]AT03.07.2019
CZ03.07.2019
DK03.07.2019
EE03.07.2019
ES03.07.2019
FI03.07.2019
HR03.07.2019
IT03.07.2019
LT03.07.2019
LV03.07.2019
MC03.07.2019
NL03.07.2019
PL03.07.2019
RO03.07.2019
SE03.07.2019
SI03.07.2019
SK03.07.2019
TR03.07.2019
BG03.10.2019
NO03.10.2019
GR04.10.2019
IS03.11.2019
PT04.11.2019
IE01.05.2020
LU01.05.2020
CH31.05.2020
LI31.05.2020
Former [2021/15]AT03.07.2019
CZ03.07.2019
DK03.07.2019
EE03.07.2019
ES03.07.2019
FI03.07.2019
HR03.07.2019
IT03.07.2019
LT03.07.2019
LV03.07.2019
MC03.07.2019
NL03.07.2019
PL03.07.2019
RO03.07.2019
SE03.07.2019
SI03.07.2019
SK03.07.2019
TR03.07.2019
BG03.10.2019
NO03.10.2019
GR04.10.2019
IS03.11.2019
PT04.11.2019
LU01.05.2020
CH31.05.2020
LI31.05.2020
Former [2021/12]AT03.07.2019
CZ03.07.2019
DK03.07.2019
EE03.07.2019
ES03.07.2019
FI03.07.2019
HR03.07.2019
IT03.07.2019
LT03.07.2019
LV03.07.2019
MC03.07.2019
NL03.07.2019
PL03.07.2019
RO03.07.2019
SE03.07.2019
SI03.07.2019
SK03.07.2019
TR03.07.2019
BG03.10.2019
NO03.10.2019
GR04.10.2019
IS03.11.2019
PT04.11.2019
CH31.05.2020
LI31.05.2020
Former [2021/08]AT03.07.2019
CZ03.07.2019
DK03.07.2019
EE03.07.2019
ES03.07.2019
FI03.07.2019
HR03.07.2019
IT03.07.2019
LT03.07.2019
LV03.07.2019
NL03.07.2019
PL03.07.2019
RO03.07.2019
SE03.07.2019
SI03.07.2019
SK03.07.2019
TR03.07.2019
BG03.10.2019
NO03.10.2019
GR04.10.2019
IS03.11.2019
PT04.11.2019
CH31.05.2020
LI31.05.2020
Former [2020/37]AT03.07.2019
CZ03.07.2019
DK03.07.2019
EE03.07.2019
ES03.07.2019
FI03.07.2019
HR03.07.2019
IT03.07.2019
LT03.07.2019
LV03.07.2019
NL03.07.2019
PL03.07.2019
RO03.07.2019
SE03.07.2019
SI03.07.2019
SK03.07.2019
TR03.07.2019
BG03.10.2019
NO03.10.2019
GR04.10.2019
IS03.11.2019
PT04.11.2019
Former [2020/36]AT03.07.2019
CZ03.07.2019
DK03.07.2019
EE03.07.2019
ES03.07.2019
FI03.07.2019
HR03.07.2019
IT03.07.2019
LT03.07.2019
LV03.07.2019
NL03.07.2019
PL03.07.2019
RO03.07.2019
SE03.07.2019
SK03.07.2019
TR03.07.2019
BG03.10.2019
NO03.10.2019
GR04.10.2019
IS03.11.2019
PT04.11.2019
Former [2020/25]AT03.07.2019
CZ03.07.2019
DK03.07.2019
EE03.07.2019
ES03.07.2019
FI03.07.2019
HR03.07.2019
IT03.07.2019
LT03.07.2019
LV03.07.2019
NL03.07.2019
PL03.07.2019
RO03.07.2019
SE03.07.2019
SK03.07.2019
TR03.07.2019
BG03.10.2019
NO03.10.2019
GR04.10.2019
PT04.11.2019
IS24.02.2020
Former [2020/24]AT03.07.2019
CZ03.07.2019
DK03.07.2019
EE03.07.2019
ES03.07.2019
FI03.07.2019
HR03.07.2019
IT03.07.2019
LT03.07.2019
LV03.07.2019
NL03.07.2019
PL03.07.2019
RO03.07.2019
SE03.07.2019
TR03.07.2019
BG03.10.2019
NO03.10.2019
GR04.10.2019
PT04.11.2019
IS24.02.2020
Former [2020/23]AT03.07.2019
CZ03.07.2019
DK03.07.2019
EE03.07.2019
ES03.07.2019
FI03.07.2019
HR03.07.2019
IT03.07.2019
LT03.07.2019
LV03.07.2019
NL03.07.2019
PL03.07.2019
RO03.07.2019
SE03.07.2019
TR03.07.2019
BG03.10.2019
NO03.10.2019
GR04.10.2019
IS03.11.2019
PT04.11.2019
Former [2020/22]AT03.07.2019
CZ03.07.2019
DK03.07.2019
EE03.07.2019
ES03.07.2019
FI03.07.2019
HR03.07.2019
LT03.07.2019
LV03.07.2019
NL03.07.2019
SE03.07.2019
TR03.07.2019
BG03.10.2019
NO03.10.2019
GR04.10.2019
IS03.11.2019
PT04.11.2019
Former [2020/17]AT03.07.2019
CZ03.07.2019
ES03.07.2019
FI03.07.2019
HR03.07.2019
LT03.07.2019
LV03.07.2019
NL03.07.2019
SE03.07.2019
TR03.07.2019
BG03.10.2019
NO03.10.2019
GR04.10.2019
IS03.11.2019
PT04.11.2019
Former [2020/12]AT03.07.2019
CZ03.07.2019
ES03.07.2019
FI03.07.2019
HR03.07.2019
LT03.07.2019
LV03.07.2019
NL03.07.2019
SE03.07.2019
BG03.10.2019
NO03.10.2019
GR04.10.2019
IS03.11.2019
PT04.11.2019
Former [2020/11]AT03.07.2019
CZ03.07.2019
ES03.07.2019
FI03.07.2019
HR03.07.2019
LT03.07.2019
LV03.07.2019
NL03.07.2019
SE03.07.2019
BG03.10.2019
NO03.10.2019
GR04.10.2019
PT04.11.2019
Former [2020/10]AT03.07.2019
CZ03.07.2019
FI03.07.2019
LT03.07.2019
NL03.07.2019
SE03.07.2019
BG03.10.2019
NO03.10.2019
PT04.11.2019
Former [2020/09]CZ03.07.2019
FI03.07.2019
LT03.07.2019
NL03.07.2019
NO03.10.2019
Former [2020/08]LT03.07.2019
NL03.07.2019
NO03.10.2019
Former [2020/07]NL03.07.2019
Documents cited:Search[YA]US2003183612  (TIMANS PAUL J [US], et al) [Y] 8 * paragraph [0061] *[A] 1,9;
 [XAY]US2006051077  (KUBO TOMOHIRO [JP]) [X] 1-3,6,7,14,15 * abstract * * paragraphs [0297] , [0324] * [A] 9 [Y] 13;
 [X]US7269343  (KOREN ZION [US], et al) [X] 1-3,5,6,9,10,12 * abstract * * column 5, line 47 - line 49 * * column 8, line 13 - line 52 *;
 [XA]US2007291818  (YASUDA YOICHIRO [JP], et al) [X] 1 * abstract * [A] 9;
 [XY]US2008090309  (RANISH JOSEPH M [US], et al) [X] 1-6,9-12,14 * abstract * * paragraph [0032] - paragraph [0034] * [Y] 8,13
International search[A]US6393210  (WU HSIAO-CHE [TW]);
 [X]US7269343  (KOREN ZION [US], et al);
 [A]US2008069550  (TIMANS PAUL J [US], et al)
by applicantUS2008090309
The EPO accepts no responsibility for the accuracy of data originating from other authorities; in particular, it does not guarantee that it is complete, up to date or fit for specific purposes.