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EP About this file: EP2329322

EP2329322 - LITHOGRAPHIC APPARATUS AND LITHOGRAPHIC METHOD [Right-click to bookmark this link]
Former [2011/23]LITHOGRAPHIC APPARATUS, PROGRAMMABLE PATTERNING DEVICE AND LITHOGRAPHIC METHOD
[2016/17]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  14.07.2017
Database last updated on 08.10.2024
Most recent event   Tooltip20.07.2018Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): MT		published on 22.08.2018  [2018/34]
Applicant(s)For all designated states
ASML Netherlands BV
De Run 6501
5504 DR Veldhoven / NL
[2011/23]
Inventor(s)01 / DE JAGER, Pieter Willem Herman
Buitenbassinweg 142
NL-3063 TB Rotterdam / NL
02 / BANINE, Vadim Yevgenyevich
Nierslaan 2
NL-5704 NK Helmond / NL
03 / BENSCHOP, Jozef Petrus Henricus
Sprookjesberg 2
NL-5508 EB Veldhoven / NL
04 / GUI, Cheng-Qun
Klimheuvel 6
NL-5685 AZ Best / NL
05 / ONVLEE, Johannes
Lamstraatje 4
NL-5211 DX 's-Hertogenbosch / NL
06 / VAN ZWET, Erwin John
Waard 4
NL-2642 LC Pijnacker / NL
 [2011/23]
Representative(s)Weenink, Willem, et al
ASML Netherlands B.V.
Corporate Intellectual Property
De Run 6501
5500 AH Veldhoven / NL
[N/P]
Former [2012/52]Weenink, Willem, et al
ASML Netherlands B.V. Corporate Intellectual Property P.O. Box 324
5500 AH Veldhoven / NL
Former [2011/23]Weenink, Willem
ASML Netherlands B.V. CIP De Run 6665
5504 DT Veldhoven / NL
Application number, filing date09740535.121.09.2009
[2011/23]
WO2009IB54135
Priority number, dateUS20080099100P22.09.2008         Original published format: US 99100 P
US20080193389P24.11.2008         Original published format: US 193389 P
US20090166641P03.04.2009         Original published format: US 166641 P
[2011/23]
Filing languageEN
Procedural languageEN
PublicationType: A2 Application without search report
No.:WO2010032224
Date:25.03.2010
Language:EN
[2010/12]
Type: A2 Application without search report 
No.:EP2329322
Date:08.06.2011
Language:EN
The application published by WIPO in one of the EPO official languages on 25.03.2010 takes the place of the publication of the European patent application.
[2011/23]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP2329322
Date:07.09.2016
Language:EN
[2016/36]
Search report(s)International search report - published on:EP23.06.2011
ClassificationIPC:G03F7/20
[2011/23]
CPC:
G03F7/70275 (EP,KR,US); H01L21/0274 (KR); G03F7/70183 (KR,US);
G03F7/70291 (EP,KR,US); G03F7/70391 (EP,KR,US); G03F7/704 (EP,KR,US)
Designated contracting statesAT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2016/36]
Former [2011/23]AT,  BE,  BG,  CH,  CY,  CZ,  DE,  DK,  EE,  ES,  FI,  FR,  GB,  GR,  HR,  HU,  IE,  IS,  IT,  LI,  LT,  LU,  LV,  MC,  MK,  MT,  NL,  NO,  PL,  PT,  RO,  SE,  SI,  SK,  SM,  TR 
Extension statesALNot yet paid
BANot yet paid
RSNot yet paid
TitleGerman:LITHOGRAFISCHE VORRICHTUNG UND LITHOGRAFISCHES VERFAHREN[2016/17]
English:LITHOGRAPHIC APPARATUS AND LITHOGRAPHIC METHOD[2016/17]
French:APPAREIL LITHOGRAPHIQUE ET PROCÉDÉ LITHOGRAPHIQUE[2016/17]
Former [2011/23]LITHOGRAFISCHE VORRICHTUNG, PROGRAMMIERBARE STRUKTURIERUNGSANORDNUNG UND LITHOGRAFISCHES VERFAHREN
Former [2011/23]LITHOGRAPHIC APPARATUS, PROGRAMMABLE PATTERNING DEVICE AND LITHOGRAPHIC METHOD
Former [2011/23]APPAREIL LITHOGRAPHIQUE, DISPOSITIF DE STRUCTURATION PROGRAMMABLE ET PROCÉDÉ LITHOGRAPHIQUE
Entry into regional phase12.03.2011National basic fee paid 
12.03.2011Designation fee(s) paid 
12.03.2011Examination fee paid 
Examination procedure11.03.2011Amendment by applicant (claims and/or description)
12.03.2011Examination requested  [2011/23]
11.07.2012Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M04)
03.09.2012Reply to a communication from the examining division
15.05.2014Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M04)
13.08.2014Reply to a communication from the examining division
05.04.2016Communication of intention to grant the patent
20.07.2016Fee for grant paid
20.07.2016Fee for publishing/printing paid
20.07.2016Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is  11.07.2012
Opposition(s)08.06.2017No opposition filed within time limit [2017/33]
Fees paidRenewal fee
22.09.2011Renewal fee patent year 03
20.09.2012Renewal fee patent year 04
20.09.2013Renewal fee patent year 05
26.09.2014Renewal fee patent year 06
25.09.2015Renewal fee patent year 07
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU21.09.2009
AT07.09.2016
BE07.09.2016
CY07.09.2016
CZ07.09.2016
DK07.09.2016
EE07.09.2016
ES07.09.2016
FI07.09.2016
HR07.09.2016
IT07.09.2016
LT07.09.2016
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MK07.09.2016
NL07.09.2016
PL07.09.2016
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SI07.09.2016
SK07.09.2016
SM07.09.2016
TR07.09.2016
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LU21.09.2016
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LI30.09.2016
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GB07.12.2016
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GR08.12.2016
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PT09.01.2017
[2018/32]
Former [2018/29]HU21.09.2009
AT07.09.2016
BE07.09.2016
CY07.09.2016
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FI07.09.2016
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IT07.09.2016
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MC07.09.2016
MK07.09.2016
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Former [2018/28]HU21.09.2009
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IS07.01.2017
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FI07.09.2016
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NL07.09.2016
SE07.09.2016
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NO07.12.2016
GR08.12.2016
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FI07.09.2016
HR07.09.2016
LT07.09.2016
SE07.09.2016
BE30.09.2016
NO07.12.2016
GR08.12.2016
Former [2017/10]FI07.09.2016
HR07.09.2016
LT07.09.2016
SE07.09.2016
BE30.09.2016
NO07.12.2016
Former [2017/09]FI07.09.2016
LT07.09.2016
NO07.12.2016
Former [2017/07]LT07.09.2016
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ExaminationEP0292976
 EP1569035
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