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EP2399285

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EP About this file: EP2399285

EP2399285 - METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING SHAPE OR THICKNESS INFORMATION OF A SUBSTRATE [Right-click to bookmark this link]
Status	No opposition filed within time limit Status updated on 06.09.2019 Database last updated on 24.07.2024
Former	The patent has been granted Status updated on 28.09.2018
Former	Grant of patent is intended Status updated on 09.07.2018
Former	Examination is in progress Status updated on 26.05.2017
Most recent event Tooltip	01.07.2022	Lapse of the patent in a contracting state New state(s): MK	published on 03.08.2022 [2022/31]
Applicant(s)	For all designated states KLA-Tencor Corporation Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 / US
	[2018/44]
Former [2011/52]	For all designated states KLA-Tencor Corporation Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 / US
Inventor(s)	01 / TANG, Shouhong 4026 E Kilmer St. Tucson, Arizona 85711 / US
	02 / KREN, George 26685 St. Francis Rd. Los Altos Hills, California 94022 / US
	03 / MUELLER, Dieter 10823 Wilkinson Ave. Cupertino, California 95014 / US
	04 / HAAS, Brian 5995 Tuliptree Dr. San Jose, California 95123 / US
	05 / KAVALDJIEV, Daniel 5645 Begonia Dr. San Jose, California 95124 / US
	[2015/46]
Former [2011/52]	01 / TANG, Shouhong 4026 E Kilmer St. Tucson Arizona 85711 / US
	02 / KREN, George 26685 St. Francis Rd. Los Altos Hills California 94022 / US
	03 / MUELLER, Dieter 10823 Wilkinson Ave. Cupertino California 95014 / US
	04 / HAAS, Brian 5995 Tuliptree Dr. San Jose California 95123 / US
	05 / KAVALDJIEV, Daniel 5645 Begonia Dr. San Jose California 95124 / US
Representative(s)	FRKelly Waterways House Grand Canal Quay Dublin D02 PD39 / IE
	[N/P]
Former [2018/44]	FRKelly 27 Clyde Road Dublin D04 F838 / IE
Former [2011/52]	Lukaszyk, Szymon Kancelaria Patentowa Lukaszyk ul. Glowackiego 8/6 40-062 Katowice / PL
Application number, filing date	10744192.5	16.02.2010
	[2018/44]
	WO2010US24305
Priority number, date	US20090388487	18.02.2009 Original published format: US 388487
	[2011/52]
Filing language	EN
Procedural language	EN
Publication	Type:	A2 Application without search report
	No.:	WO2010096387
	Date:	26.08.2010
	Language:	EN
	[2010/34]
	Type:	A2 Application without search report
	No.:	EP2399285
	Date:	28.12.2011
	Language:	EN
	The application published by WIPO in one of the EPO official languages on 26.08.2010 takes the place of the publication of the European patent application.
	[2011/52]
	Type:	B1 Patent specification
	No.:	EP2399285
	Date:	31.10.2018
	Language:	EN
	[2018/44]
Search report(s)	International search report - published on:	KR	18.11.2010
	(Supplementary) European search report - dispatched on:	EP	17.06.2016
Classification	IPC:	H01L21/66, G01B11/06, G01B11/30, G01B9/02	[2016/29]
	CPC:	G01B9/02021 (EP,US); G01B11/306 (EP,US); G01B9/02027 (EP,US); G01B9/02057 (EP,US); G01B9/02072 (EP,US); G01B9/0209 (EP,US)
	Former IPC [2011/52]	H01L21/66, G01B11/06
Designated contracting states	AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, SM, TR [2011/52]
Extension states	AL	Not yet paid
	BA	Not yet paid
	RS	Not yet paid
Title	German:	VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR MESSUNG VON FORM- ODER DICKEDATEN EINES SUBSTRATS	[2011/52]
	English:	METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING SHAPE OR THICKNESS INFORMATION OF A SUBSTRATE	[2011/52]
	French:	PROCÉDÉ ET APPAREIL DE MESURE D'INFORMATIONS DE FORME OU D'ÉPAISSEUR D'UN SUBSTRAT	[2011/52]
Entry into regional phase	19.09.2011	National basic fee paid
	19.09.2011	Search fee paid
	19.09.2011	Designation fee(s) paid
	19.09.2011	Examination fee paid
Examination procedure	19.09.2011	Examination requested [2011/52]
	06.01.2017	Amendment by applicant (claims and/or description)
	24.05.2017	Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M04)
	02.10.2017	Reply to a communication from the examining division
	22.01.2018	Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M04)
	29.05.2018	Reply to a communication from the examining division
	10.07.2018	Communication of intention to grant the patent
	20.09.2018	Fee for grant paid
	20.09.2018	Fee for publishing/printing paid
	20.09.2018	Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)	The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is 24.05.2017
Opposition(s)	01.08.2019	No opposition filed within time limit [2019/41]
Fees paid	Renewal fee
	24.02.2012	Renewal fee patent year 03
	27.02.2013	Renewal fee patent year 04
	27.02.2014	Renewal fee patent year 05
	26.02.2015	Renewal fee patent year 06
	26.02.2016	Renewal fee patent year 07
	27.02.2017	Renewal fee patent year 08
	27.02.2018	Renewal fee patent year 09
Opt-out from the exclusive Tooltip competence of the Unified Patent Court	See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
	Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition Tooltip	HU	16.02.2010
	AT	31.10.2018
	CY	31.10.2018
	CZ	31.10.2018
	DK	31.10.2018
	EE	31.10.2018
	ES	31.10.2018
	FI	31.10.2018
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	GR	01.02.2019
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	IS	28.02.2019
	LI	28.02.2019
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	[2022/31]
Former [2021/32]	HU	16.02.2010
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