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Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP2483212

EP2483212 - BLANK OF TITANIUM-DOPED GLASS WITH A HIGH SILICA CONTENT FOR A MIRROR SUBSTRATE FOR USE IN EUV LITHOGRAPHY AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF [Right-click to bookmark this link]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  26.09.2014
Database last updated on 02.08.2024
Most recent event   Tooltip12.10.2018Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): AL		published on 14.11.2018  [2018/46]
Applicant(s)For all designated states
Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
Quarzstrasse 8
63450 Hanau / DE
[2012/32]
Inventor(s)01 / KUEHN, Bodo
Auestrasse 7 a
63571 Gelnhausen / DE
 [2012/32]
Representative(s)Staudt, Armin Walter
Sandeldamm 24a
63450 Hanau / DE
[N/P]
Former [2012/32]Staudt, Armin Walter
Patentanwalt
Sandeldamm 24a
63450 Hanau / DE
Application number, filing date10759886.428.09.2010
WO2010EP64317
Priority number, dateDE2009104368030.09.2009         Original published format: DE102009043680
[2012/32]
Filing languageDE
Procedural languageDE
PublicationType: A1 Application with search report
No.:WO2011039159
Date:07.04.2011
Language:DE
[2011/14]
Type: A1 Application with search report 
No.:EP2483212
Date:08.08.2012
Language:DE
The application published by WIPO in one of the EPO official languages on 07.04.2011 takes the place of the publication of the European patent application.
[2012/32]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP2483212
Date:20.11.2013
Language:DE
[2013/47]
Search report(s)International search report - published on:EP07.04.2011
ClassificationIPC:C03B23/20, C03B32/00, C03C3/06, C03B19/14
[2013/23]
CPC:
C03B23/20 (EP,US); C03B19/1453 (EP,US); C03B32/00 (EP,US);
C03C3/06 (EP,US); G02B5/10 (US); G03F7/708 (US);
C03B2201/42 (EP,US); C03C2201/42 (EP,US); Y10T428/22 (EP,US);
Y10T428/24612 (EP,US) (-)
Former IPC [2012/32]C03B19/14, C03B20/00, C03C3/06
Designated contracting statesAL,   AT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2012/32]
Extension statesBANot yet paid
MENot yet paid
RSNot yet paid
TitleGerman:ROHLING AUS TITAN-DOTIERTEM, HOCHKIESELSÄUREHALTIGEM GLAS FÜR EIN SPIEGELSUBSTRAT FÜR DEN EINSATZ IN DER EUV-LITHOGRAPHIE UND VERFAHREN FÜR SEINE HERSTELLUNG[2012/32]
English:BLANK OF TITANIUM-DOPED GLASS WITH A HIGH SILICA CONTENT FOR A MIRROR SUBSTRATE FOR USE IN EUV LITHOGRAPHY AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF[2012/32]
French:ÉBAUCHE FAITE DE VERRE À TENEUR ÉLEVÉE EN SILICE, DOPÉE AU TITANE, POUR UN SUBSTRAT DE MIROIR POUR UNE UTILISATION EN LITHOGRAPHIE EUV, ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION[2012/32]
Entry into regional phase29.03.2012National basic fee paid 
29.03.2012Designation fee(s) paid 
29.03.2012Examination fee paid 
Examination procedure29.03.2012Examination requested  [2012/32]
25.10.2012Amendment by applicant (claims and/or description)
20.06.2013Communication of intention to grant the patent
11.10.2013Fee for grant paid
11.10.2013Fee for publishing/printing paid
Divisional application(s)The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is  20.06.2013
Opposition(s)21.08.2014No opposition filed within time limit [2014/44]
Fees paidRenewal fee
20.09.2012Renewal fee patent year 03
20.09.2013Renewal fee patent year 04
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU28.09.2010
AL20.11.2013
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FI20.11.2013
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[2018/46]
Former [2018/30]HU28.09.2010
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Former [2014/24]ES20.11.2013
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NO20.02.2014
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Former [2014/23]FI20.11.2013
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Former [2014/22]FI20.11.2013
LT20.11.2013
SE20.11.2013
NO20.02.2014
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by applicantDE102004024808
 US2002043081
 EP2211232
 DE4204406
 EP0673888
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