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EP2499274

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Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP2499274

EP2499274 - DEPOSITION METHODS USING HAFNIUM-CONTAINING COMPOUNDS [Right-click to bookmark this link]
Former [2012/38]	METHODS OF MAKING AND DEPOSITION METHODS USING HAFNIUM- OR ZIRCONIUM-CONTAINING COMPOUNDS
	[2015/48]
Status	No opposition filed within time limit Status updated on 24.02.2017 Database last updated on 03.09.2024
Most recent event Tooltip	12.10.2018	Lapse of the patent in a contracting state New state(s): AL	published on 14.11.2018 [2018/46]
Applicant(s)	For all designated states L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 75, Quai d'Orsay 75007 Paris / FR
	[N/P]
Former [2012/38]	For all designated states L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 75, Quai d'Orsay 75007 Paris / FR
Inventor(s)	01 / DUSSARRAT, Christian 108 Hunter Court Wilmington DE 19808 / US
	02 / OMARJEE, Vincent M. 1207 Christiana Meadows Bear DE 19701 / US
	03 / PALLEM, Venkateswara 724 King James Court Bear DE 19701 / US
	[2012/38]
Representative(s)	Grout de Beaufort, François-Xavier L'Air Liquide Direction Propriété Intellectuelle 75, quai d'Orsay 75321 Paris Cedex 07 / FR
	[N/P]
Former [2012/38]	Grout de Beaufort, François-Xavier L'Air Liquide Direction Propriété Intellectuelle 75, quai d'Orsay 75321 Paris Cedex 07 / FR
Application number, filing date	10829175.8	05.11.2010
	[2016/16]
	WO2010US55693
Priority number, date	US20090259433P	09.11.2009 Original published format: US 259433 P
	[2012/38]
Filing language	EN
Procedural language	EN
Publication	Type:	A2 Application without search report
	No.:	WO2011057114
	Date:	12.05.2011
	Language:	EN
	[2011/19]
	Type:	A2 Application without search report
	No.:	EP2499274
	Date:	19.09.2012
	Language:	EN
	The application published by WIPO in one of the EPO official languages on 12.05.2011 takes the place of the publication of the European patent application.
	[2012/38]
	Type:	B1 Patent specification
	No.:	EP2499274
	Date:	20.04.2016
	Language:	EN
	[2016/16]
Search report(s)	International search report - published on:	KR	28.07.2011
	(Supplementary) European search report - dispatched on:	EP	11.06.2013
Classification	IPC:	C23C16/18, C23C16/455, C23C16/44, H01L21/205, C23C16/40	[2013/28]
	CPC:	H01L21/02181 (EP,US); C23C16/40 (EP,US); C23C16/405 (EP,US); C23C16/45553 (EP,US); H01L21/0228 (EP,US)
	Former IPC [2012/38]	C23C16/18, C23C16/455, C23C16/44, H01L21/205
Designated contracting states	AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR [2012/38]
Extension states	BA	Not yet paid
	ME	Not yet paid
Title	German:	BESCHICHTUNGSVERFAHREN MIT HAFNIUMHALTIGEN VERBINDUNGEN	[2015/48]
	English:	DEPOSITION METHODS USING HAFNIUM-CONTAINING COMPOUNDS	[2015/48]
	French:	PROCÉDÉS DE DÉPÔT UTILISANT DES COMPOSÉS CONTENANT DU HAFNIUM	[2015/48]
	Former [2012/38]	HERSTELLUNGS- UND ABLAGERUNGSVERFAHREN MIT HAFNIUM- ODER ZIRKONIUMHALTIGEN VERBINDUNGEN
	Former [2012/38]	METHODS OF MAKING AND DEPOSITION METHODS USING HAFNIUM- OR ZIRCONIUM-CONTAINING COMPOUNDS
	Former [2012/38]	PROCÉDÉS DE FABRICATION ET PROCÉDÉS DE DÉPÔT UTILISANT DES COMPOSÉS CONTENANT DU HAFNIUM OU DU ZIRCONIUM
Entry into regional phase	11.06.2012	National basic fee paid
	11.06.2012	Search fee paid
	11.06.2012	Designation fee(s) paid
	11.06.2012	Examination fee paid
Examination procedure	11.06.2012	Examination requested [2012/38]
	11.12.2013	Amendment by applicant (claims and/or description)
	17.02.2014	Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M06)
	04.08.2014	Reply to a communication from the examining division
	13.11.2015	Communication of intention to grant the patent
	04.03.2016	Fee for grant paid
	04.03.2016	Fee for publishing/printing paid
	04.03.2016	Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)	The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is 17.02.2014
Opposition(s)	23.01.2017	No opposition filed within time limit [2017/13]
Fees paid	Renewal fee
	23.11.2012	Renewal fee patent year 03
	28.11.2013	Renewal fee patent year 04
	25.11.2014	Renewal fee patent year 05
	24.11.2015	Renewal fee patent year 06
Opt-out from the exclusive Tooltip competence of the Unified Patent Court	See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
	Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition Tooltip	HU	05.11.2010
	AL	20.04.2016
	AT	20.04.2016
	BE	20.04.2016
	BG	20.04.2016
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	[2018/46]
Former [2018/43]	HU	05.11.2010
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	NO	20.07.2016
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	GB	05.11.2016
	IE	05.11.2016
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	LU	30.11.2016
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	GR	21.07.2016
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	LU	30.11.2016
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