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Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP2502701

EP2502701 - Polishing apparatus and polishing method [Right-click to bookmark this link]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  04.01.2019
Database last updated on 03.10.2024
FormerThe patent has been granted
Status updated on  26.01.2018
FormerGrant of patent is intended
Status updated on  03.10.2017
FormerRequest for examination was made
Status updated on  16.06.2017
Most recent event   Tooltip10.07.2020Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): IS
published on 12.08.2020  [2020/33]
Applicant(s)For all designated states
EBARA CORPORATION
11-1, Haneda Asahi-cho Ohta-ku
Tokyo / JP
[2012/39]
Inventor(s)01 / Seki, Masaya
c/o EBARA CORPORATION
11-1, Haneda Asahi-cho
Ohta-ku
Tokyo / JP
02 / Togawa, Tetsuji
c/o EBARA CORPORATION
11-1, Haneda Asahi-cho
Ohta-ku
Tokyo / JP
03 / Nakanishi, Masayuki
c/o EBARA CORPORATION
11-1, Haneda Asahi-cho
Ohta-ku
Tokyo / JP
04 / Matsuda, Naoki
c/o EBARA CORPORATION
11-1, Haneda Asahi-cho
Ohta-ku
Tokyo / JP
05 / Yoshida, Atsushi
c/o EBARA CORPORATION
11-1, Haneda Asahi-cho
Ohta-ku
Tokyo / JP
 [2012/39]
Representative(s)Emde, Eric, et al
Wagner & Geyer Partnerschaft mbB
Patent- und Rechtsanwälte
Gewürzmühlstrasse 5
80538 München / DE
[N/P]
Former [2018/09]Emde, Eric, et al
Wagner & Geyer
Gewürzmühlstrasse 5
80538 München / DE
Former [2012/39]Emde, Eric, et al
Wagner & Geyer Gewürzmühlstrasse 5
80538 München / DE
Application number, filing date12001940.120.03.2012
[2012/39]
Priority number, dateJP2011006721125.03.2011         Original published format: JP 2011067211
JP2011024722811.11.2011         Original published format: JP 2011247228
[2012/39]
Filing languageJA
Procedural languageEN
PublicationType: A2 Application without search report 
No.:EP2502701
Date:26.09.2012
Language:EN
[2012/39]
Type: A3 Search report 
No.:EP2502701
Date:14.12.2016
Language:EN
[2016/50]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP2502701
Date:28.02.2018
Language:EN
[2018/09]
Search report(s)(Supplementary) European search report - dispatched on:EP14.11.2016
ClassificationIPC:B24B21/00, B24B21/20, B24B9/06
[2016/50]
CPC:
B24B21/002 (EP,US); H01L21/304 (KR); B24B21/004 (EP,US);
B24B21/006 (US); B24B21/008 (US); B24B21/20 (EP,US);
B24B9/065 (EP,US) (-)
Former IPC [2012/39]B24B9/06, B24B21/00
Designated contracting statesAL,   AT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   RS,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2017/29]
Former [2012/39]AL,  AT,  BE,  BG,  CH,  CY,  CZ,  DE,  DK,  EE,  ES,  FI,  FR,  GB,  GR,  HR,  HU,  IE,  IS,  IT,  LI,  LT,  LU,  LV,  MC,  MK,  MT,  NL,  NO,  PL,  PT,  RO,  RS,  SE,  SI,  SK,  SM,  TR 
TitleGerman:Poliervorrichtung und Polierverfahren[2012/39]
English:Polishing apparatus and polishing method[2012/39]
French:Appareil et methode de polissage[2017/43]
Former [2012/39]Appareil et méthode de polissage
Examination procedure20.03.2012Date on which the examining division has become responsible
02.06.2017Amendment by applicant (claims and/or description)
02.06.2017Examination requested  [2017/29]
04.10.2017Communication of intention to grant the patent
18.01.2018Fee for grant paid
18.01.2018Fee for publishing/printing paid
18.01.2018Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is  04.10.2017
Opposition(s)29.11.2018No opposition filed within time limit [2019/06]
Fees paidRenewal fee
31.03.2014Renewal fee patent year 03
30.03.2015Renewal fee patent year 04
24.03.2016Renewal fee patent year 05
29.03.2017Renewal fee patent year 06
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court
See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU20.03.2012
AL28.02.2018
AT28.02.2018
CY28.02.2018
CZ28.02.2018
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ES28.02.2018
FI28.02.2018
HR28.02.2018
IT28.02.2018
LT28.02.2018
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MK28.02.2018
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LI31.03.2018
BG28.05.2018
GB28.05.2018
NO28.05.2018
GR29.05.2018
IS28.06.2018
[2020/33]
Former [2020/31]HU20.03.2012
AL28.02.2018
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AL28.02.2018
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NL28.02.2018
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FI28.02.2018
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IT28.02.2018
LT28.02.2018
LV28.02.2018
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NL28.02.2018
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BG28.05.2018
NO28.05.2018
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EE28.02.2018
ES28.02.2018
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NO28.05.2018
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AT28.02.2018
CY28.02.2018
ES28.02.2018
FI28.02.2018
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CY28.02.2018
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BG28.05.2018
NO28.05.2018
GR29.05.2018
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CY28.02.2018
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FI28.02.2018
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Former [2018/37]CY28.02.2018
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FI28.02.2018
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Former [2018/36]CY28.02.2018
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FI28.02.2018
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NL28.02.2018
NO28.05.2018
Former [2018/35]CY28.02.2018
FI28.02.2018
HR28.02.2018
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NL28.02.2018
NO28.05.2018
Documents cited:Search[XDAI]EP2067571  (EBARA CORP [JP]) [XD] 8,9,12-17 * paragraph [0009]; figures 1-13 * [A] 1-7 [I] 10,11,18;
 [XD]US2009227189  (MAEDA KAZUAKI [JP], et al) [XD] 8 * paragraph [0053]; figure 9 *
by applicantJP2002126981
 JPH0897111
 JP2009208214
 JP2009154285
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