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Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP2477069

EP2477069 - Optical device, exposure apparatus and laser apparatus [Right-click to bookmark this link]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  31.05.2019
Database last updated on 11.09.2024
FormerThe patent has been granted
Status updated on  22.06.2018
FormerGrant of patent is intended
Status updated on  06.02.2018
Most recent event   Tooltip01.07.2022Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): MK		published on 03.08.2022  [2022/31]
Applicant(s)For all designated states
SCREEN Holdings Co., Ltd.
Tenjinkita-machi 1-1
Teranouchi-agaru 4-chome
Horikawa-dori
Kamigyo-ku
Kyoto-shi, Kyoto 602-8585 / JP
[N/P]
Former [2014/52]For all designated states
SCREEN Holdings Co., Ltd.
Tenjinkita-machi 1-1
Teranouchi-agaru 4-chome
Horikawa-dori
Kamigyo-ku, Kyoto-shi
Kyoto 602-8585 / JP
Former [2012/29]For all designated states
Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
Tenjinkita-cho 1-1 Teranouchi-agaru 4-chome Horidawa-dori Kamigyo-ku Kyoto-shi
Kyoto 602-8585 / JP
Inventor(s)01 / Okazaki, Masahide
c/o SCREEN Holdings Co., Ltd.
Tenjinkita-machi 1-1, Teranouchi-agaru 4-chome
Horikawa-dori, Kamigyo-ku
Kyoto-shi Kyoto 602-8585 / JP
02 / Suhara, Toshiaki
M905, 29, Shin-Ashiya-Kami, Suita
Osaka Osaka 565-0804 / JP
 [2015/15]
Former [2012/29]01 / Okazaki, Masahide
c/o Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
Tenjinkita-cho 1-1, Teranouchi-agaru 4-chome
Horikawa-dori, Kamigyo-ku
Kyoto-shi Kyoto 602-8585 / JP
02 / Suhara, Toshiaki
M905, 29, Shin-Ashiya-Kami, Suita
Osaka Osaka 565-0804 / JP
Representative(s)Kilian Kilian & Partner mbB
Zielstattstraße 23a
81379 München / DE
[N/P]
Former [2013/09]Kilian Kilian & Partner
Aidenbachstraße 54
81379 München / DE
Former [2012/29]Wilhelms · Kilian & Partner Patentanwälte
Eduard-Schmid-Straße 2
81541 München / DE
Application number, filing date12150623.210.01.2012
[2012/29]
Priority number, dateJP2011000613014.01.2011         Original published format: JP 2011006130
[2012/29]
Filing languageEN
Procedural languageEN
PublicationType: A1 Application with search report 
No.:EP2477069
Date:18.07.2012
Language:EN
[2012/29]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP2477069
Date:25.07.2018
Language:EN
[2018/30]
Search report(s)(Supplementary) European search report - dispatched on:EP30.05.2012
ClassificationIPC:G02F1/377, G02F1/295, G03F7/20, H01S5/00
[2012/29]
CPC:
G02F1/3775 (EP,US); G02F1/2955 (EP,US); G03F7/70383 (EP,US);
G03F7/70575 (EP,US); G02F1/3503 (EP,US); G02F1/3505 (EP,US);
G02F1/3507 (EP,US); G02F1/3534 (EP,US); H01S3/0092 (EP,US);
H01S3/025 (EP,US); H01S3/0627 (EP,US); H01S3/063 (EP,US);
H01S3/09415 (EP,US); H01S3/1611 (EP,US); H01S3/1643 (EP,US) (-)
Designated contracting statesAL,   AT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   RS,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2018/30]
Former [2012/29]AL,  AT,  BE,  BG,  CH,  CY,  CZ,  DE,  DK,  EE,  ES,  FI,  FR,  GB,  GR,  HR,  HU,  IE,  IS,  IT,  LI,  LT,  LU,  LV,  MC,  MK,  MT,  NL,  NO,  PL,  PT,  RO,  RS,  SE,  SI,  SK,  SM,  TR 
TitleGerman:Optische Vorrichtung, Belichtungsvorrichtung und Laservorrichtung[2012/29]
English:Optical device, exposure apparatus and laser apparatus[2012/29]
French:Dispositif optique, appareil d'exposition et appareil laser[2012/29]
Examination procedure17.01.2013Amendment by applicant (claims and/or description)
17.01.2013Examination requested  [2013/14]
06.10.2015Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M04)
12.02.2016Reply to a communication from the examining division
09.01.2018Date of oral proceedings
02.02.2018Minutes of oral proceedings despatched
07.02.2018Communication of intention to grant the patent
13.06.2018Fee for grant paid
13.06.2018Fee for publishing/printing paid
13.06.2018Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is  06.10.2015
Opposition(s)26.04.2019No opposition filed within time limit [2019/27]
Fees paidRenewal fee
31.01.2014Renewal fee patent year 03
30.01.2015Renewal fee patent year 04
29.01.2016Renewal fee patent year 05
31.01.2017Renewal fee patent year 06
29.01.2018Renewal fee patent year 07
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU10.01.2012
AL25.07.2018
AT25.07.2018
CY25.07.2018
CZ25.07.2018
DK25.07.2018
EE25.07.2018
ES25.07.2018
FI25.07.2018
HR25.07.2018
IT25.07.2018
LT25.07.2018
LV25.07.2018
MC25.07.2018
MK25.07.2018
NL25.07.2018
PL25.07.2018
RO25.07.2018
RS25.07.2018
SE25.07.2018
SI25.07.2018
SK25.07.2018
SM25.07.2018
TR25.07.2018
BG25.10.2018
NO25.10.2018
GR26.10.2018
IS25.11.2018
PT25.11.2018
IE10.01.2019
LU10.01.2019
MT10.01.2019
BE31.01.2019
CH31.01.2019
LI31.01.2019
[2022/31]
Former [2021/32]HU10.01.2012
AL25.07.2018
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IT25.07.2018
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LV25.07.2018
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PL25.07.2018
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SE25.07.2018
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SM25.07.2018
TR25.07.2018
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NO25.10.2018
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BE31.01.2019
CH31.01.2019
LI31.01.2019
Former [2021/26]AL25.07.2018
AT25.07.2018
CY25.07.2018
CZ25.07.2018
DK25.07.2018
EE25.07.2018
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HR25.07.2018
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LT25.07.2018
LV25.07.2018
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FI25.07.2018
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RO25.07.2018
RS25.07.2018
SE25.07.2018
SI25.07.2018
SK25.07.2018
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BG25.10.2018
NO25.10.2018
GR26.10.2018
IS25.11.2018
LU10.01.2019
BE31.01.2019
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CZ25.07.2018
DK25.07.2018
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RS25.07.2018
SE25.07.2018
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NO25.10.2018
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CZ25.07.2018
DK25.07.2018
EE25.07.2018
ES25.07.2018
FI25.07.2018
HR25.07.2018
IT25.07.2018
LT25.07.2018
LV25.07.2018
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NL25.07.2018
PL25.07.2018
RO25.07.2018
RS25.07.2018
SE25.07.2018
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GR26.10.2018
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CZ25.07.2018
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NL25.07.2018
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RO25.07.2018
RS25.07.2018
SE25.07.2018
SK25.07.2018
SM25.07.2018
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NO25.10.2018
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NO25.10.2018
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IS25.11.2018
Former [2019/22]AL25.07.2018
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NO25.10.2018
GR26.10.2018
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NL25.07.2018
PL25.07.2018
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BG25.10.2018
NO25.10.2018
GR26.10.2018
IS25.11.2018
Former [2019/11]AT25.07.2018
FI25.07.2018
HR25.07.2018
LT25.07.2018
NL25.07.2018
PL25.07.2018
RS25.07.2018
SE25.07.2018
BG25.10.2018
NO25.10.2018
GR26.10.2018
IS25.11.2018
Former [2019/10]AT25.07.2018
FI25.07.2018
LT25.07.2018
NL25.07.2018
PL25.07.2018
RS25.07.2018
SE25.07.2018
BG25.10.2018
NO25.10.2018
GR26.10.2018
IS25.11.2018
Former [2019/08]FI25.07.2018
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