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Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP2527489

EP2527489 - VAPOR DELIVERY DEVICE AND METHOD [Right-click to bookmark this link]
Former [2012/48]Vapor delivery device and method
[2018/34]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  11.10.2019
Database last updated on 21.05.2024
FormerThe patent has been granted
Status updated on  03.12.2018
FormerGrant of patent is intended
Status updated on  24.07.2018
FormerExamination is in progress
Status updated on  24.02.2018
Most recent event   Tooltip01.07.2022Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): MK		published on 03.08.2022  [2022/31]
Applicant(s)For all designated states
Rohm and Haas Electronic Materials LLC
455 Forest Street
Marlborough, MA 01752 / US
[2012/48]
Inventor(s)01 / Woelk, Egbert
50 Keyes Way
North Andover, MA 01845 / US
02 / DiCarlo, Ronald L., Jr.
9 Walker Road
Danville, NH 03819 / US
 [2012/48]
Representative(s)Houghton, Mark Phillip, et al
Patent Outsourcing Limited
1 King Street
Bakewell, Derbyshire DE45 1DZ / GB
[2018/49]
Former [2012/48]Buckley, Guy Julian
Patent Outsourcing Limited 1 King Street Bakewell
Derbyshire DE45 1DZ / GB
Application number, filing date12166465.002.05.2012
[2012/48]
Priority number, dateUS20111311478124.05.2011         Original published format: US201113114781
[2012/48]
Filing languageEN
Procedural languageEN
PublicationType: A1 Application with search report 
No.:EP2527489
Date:28.11.2012
Language:EN
[2012/48]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP2527489
Date:05.12.2018
Language:EN
[2018/49]
Search report(s)(Supplementary) European search report - dispatched on:EP04.09.2012
ClassificationIPC:C23C16/448, C23C16/455, C23C16/52, G05D7/06, G05D11/13
[2018/33]
CPC:
G05D11/138 (EP,KR,US); C23C16/4481 (EP,KR,US); C23C16/45557 (KR);
C23C16/45561 (EP,KR,US); C23C16/52 (EP,KR,US); H01L21/0262 (KR);
Y10T137/0318 (EP,US); Y10T137/0324 (EP,US); Y10T137/0335 (EP,US);
Y10T137/2501 (EP,US); Y10T137/2509 (EP,US); Y10T137/7761 (EP,US) (-)
Former IPC [2012/48]C23C16/448, C23C16/455, C23C16/52, B01D7/00, G05D7/06
Designated contracting statesAL,   AT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   RS,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2012/48]
Extension statesBANot yet paid
MENot yet paid
TitleGerman:DAMPFABGABEVORRICHTUNG UND VERFAHREN[2018/34]
English:VAPOR DELIVERY DEVICE AND METHOD[2018/34]
French:DISPOSITIF DE DISTRIBUTION DE VAPEUR ET PROCÉDÉS[2018/34]
Former [2012/48]Dampfabgabevorrichtung und Verfahren
Former [2012/48]Vapor delivery device and method
Former [2012/48]Dispositif de distribution de vapeur et procédés
Examination procedure02.05.2012Examination requested  [2012/48]
27.09.2012Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M04)
31.01.2013Reply to a communication from the examining division
10.02.2014Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M06)
06.08.2014Reply to a communication from the examining division
03.11.2015Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M06)
09.05.2016Reply to a communication from the examining division
14.02.2018Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M06)
18.06.2018Reply to a communication from the examining division
25.07.2018Communication of intention to grant the patent
25.10.2018Fee for grant paid
25.10.2018Fee for publishing/printing paid
25.10.2018Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is  27.09.2012
Opposition(s)06.09.2019No opposition filed within time limit [2019/46]
Fees paidRenewal fee
27.03.2014Renewal fee patent year 03
12.05.2015Renewal fee patent year 04
10.05.2016Renewal fee patent year 05
10.05.2017Renewal fee patent year 06
11.05.2018Renewal fee patent year 07
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU02.05.2012
AL05.12.2018
AT05.12.2018
CY05.12.2018
CZ05.12.2018
DK05.12.2018
EE05.12.2018
ES05.12.2018
FI05.12.2018
HR05.12.2018
IT05.12.2018
LT05.12.2018
LV05.12.2018
MC05.12.2018
MK05.12.2018
MT05.12.2018
NL05.12.2018
PL05.12.2018
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RS05.12.2018
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SI05.12.2018
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SM05.12.2018
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LU02.05.2019
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LI31.05.2019
[2022/31]
Former [2021/34]HU02.05.2012
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LV05.12.2018
MC05.12.2018
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Former [2021/32]HU02.05.2012
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SE05.12.2018
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NO05.03.2019
GR06.03.2019
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AT05.12.2018
CZ05.12.2018
DK05.12.2018
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CZ05.12.2018
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ES05.12.2018
FI05.12.2018
HR05.12.2018
IT05.12.2018
LT05.12.2018
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NL05.12.2018
PL05.12.2018
RO05.12.2018
RS05.12.2018
SE05.12.2018
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LV05.12.2018
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BG05.03.2019
NO05.03.2019
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ES05.12.2018
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