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Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP2670882

EP2670882 - APPARATUS AND METHOD FOR ATOMIC LAYER DEPOSITION [Right-click to bookmark this link]
Former [2013/50]	APPARATUS FOR ATOMIC LAYER DEPOSITION
	[2015/22]
Status	No opposition filed within time limit Status updated on 24.03.2017 Database last updated on 05.10.2024
Most recent event Tooltip	10.07.2020	Lapse of the patent in a contracting state New state(s): IS	published on 12.08.2020 [2020/33]
Applicant(s)	For all designated states Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Anna van Buerenplein 1 2595 DA 's-Gravenhage / NL
	[2015/17]
Former [2013/50]	For all designated states Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Schoemakerstraat 97 2628 VK Delft / NL
Inventor(s)	01 / VERMEER, Adrianus Johannes Petrus Maria TNO-PLT Schoemakerstraat 97 NL-2628 VK Delft / NL
	02 / DE SWART, Jozef Johannes TNO-PLT Schoemakerstraat 97 NL-2628 VK Delft / NL
	03 / WIT, Robert Coenraad TNO-PLT Schoemakerstraat 97 NL-2628 VK Delft / NL
	[2013/50]
Representative(s)	V.O. P.O. Box 87930 2508 DH Den Haag / NL
	[2016/20]
Former [2013/50]	Jansen, Cornelis Marinus, et al V.O. Johan de Wittlaan 7 2517 JR Den Haag / NL
Application number, filing date	12704560.7	30.01.2012
	[2016/20]
	WO2012NL50049
Priority number, date	EP20110152792	31.01.2011 Original published format: EP 11152792
	[2013/50]
Filing language	EN
Procedural language	EN
Publication	Type:	A1 Application with search report
	No.:	WO2012105831
	Date:	09.08.2012
	Language:	EN
	[2012/32]
	Type:	A1 Application with search report
	No.:	EP2670882
	Date:	11.12.2013
	Language:	EN
	The application published by WIPO in one of the EPO official languages on 09.08.2012 takes the place of the publication of the European patent application.
	[2013/50]
	Type:	B1 Patent specification
	No.:	EP2670882
	Date:	18.05.2016
	Language:	EN
	[2016/20]
Search report(s)	International search report - published on:	EP	09.08.2012
Classification	IPC:	C23C16/458, C23C16/54, C23C16/455, F16C32/06, B65G51/03	[2013/50]
	CPC:	C23C16/45551 (EP,US); C23C16/458 (EP,KR,US); C23C16/44 (US); B65G51/03 (KR); C23C16/455 (KR); C23C16/4582 (US); (+) C23C16/4583 (US); C23C16/54 (EP,KR,US); F16C32/06 (KR); F16C32/0603 (EP,US); F16C32/0685 (EP,US) (-)
Designated contracting states	AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR [2013/50]
Extension states	BA	Not yet paid
	ME	Not yet paid
Title	German:	VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ATOMSCHICHTABLAGERUNG	[2015/22]
	English:	APPARATUS AND METHOD FOR ATOMIC LAYER DEPOSITION	[2015/22]
	French:	APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR DÉPÔT DE COUCHES ATOMIQUES	[2015/22]
	Former [2013/50]	VORRICHTUNG ZUR ATOMSCHICHTABLAGERUNG
	Former [2013/50]	APPARATUS FOR ATOMIC LAYER DEPOSITION
	Former [2013/50]	APPAREIL POUR DÉPÔT DE COUCHES ATOMIQUES
Entry into regional phase	14.08.2013	National basic fee paid
	14.08.2013	Designation fee(s) paid
	14.08.2013	Examination fee paid
Examination procedure	14.08.2013	Examination requested [2013/50]
	17.12.2015	Communication of intention to grant the patent
	08.04.2016	Fee for grant paid
	08.04.2016	Fee for publishing/printing paid
	08.04.2016	Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)	The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is 17.12.2015
Opposition(s)	21.02.2017	No opposition filed within time limit [2017/17]
Fees paid	Renewal fee
	30.01.2014	Renewal fee patent year 03
	23.01.2015	Renewal fee patent year 04
	27.01.2016	Renewal fee patent year 05
Opt-out from the exclusive Tooltip competence of the Unified Patent Court	See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
	Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition Tooltip	HU	30.01.2012
	AL	18.05.2016
	AT	18.05.2016
	BE	18.05.2016
	BG	18.05.2016
	CY	18.05.2016
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	LI	31.01.2017
	[2020/33]
Former [2020/15]	HU	30.01.2012
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