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EP About this file: EP2666552

EP2666552 - Ultrasonic cleaning method and ultrasonic cleaning apparatus [Right-click to bookmark this link]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  13.05.2016
Database last updated on 26.03.2026
Most recent event   Tooltip19.10.2018Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): AL		published on 21.11.2018  [2018/47]
Applicant(s)For all designated states
Siltronic AG
Hanns-Seidel-Platz 4
81737 München / DE
[2013/48]
Inventor(s)01 / Kubo, Etsuko
2-35 ems square, Makinokidai
Yokkaichi, Mie 512-1306 / JP
02 / Haibara, Teruo
7-32-9 Mitsui
Hikari, Yamaguchi 743-0011 / JP
03 / Mori, Yoshihiro
12-38 Nishinokyo-Badai-cho
Nakagyo-ku, Kyoto 604-8457 / JP
04 / Uchibe, Masashi
875-2 Nakano
Izumo, Shimane 693-0062 / JP
 [2013/48]
Representative(s)(deleted)
[N/P]
Former [2013/48]Baar, Christian, et al
c/o Siltronic AG
Corporate Intellectual Property
Hanns-Seidel-Platz 4
81737 München / DE
Application number, filing date13167904.515.05.2013
[2013/48]
Priority number, dateJP2012011863324.05.2012         Original published format: JP 2012118633
[2013/48]
Filing languageEN
Procedural languageEN
PublicationType: A1 Application with search report 
No.:EP2666552
Date:27.11.2013
Language:EN
[2013/48]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP2666552
Date:08.07.2015
Language:EN
[2015/28]
Search report(s)(Supplementary) European search report - dispatched on:EP18.09.2013
ClassificationIPC:B08B3/12, H01L21/02
[2015/11]
CPC:
B08B3/12 (EP,US); H10P50/00 (KR); H10P70/15 (US)
Former IPC [2013/48]B08B3/12
Designated contracting statesAL,   AT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   RS,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2013/48]
TitleGerman:Ultraschallreinigungsverfahren und Ultraschallreinigungsvorrichtung[2013/48]
English:Ultrasonic cleaning method and ultrasonic cleaning apparatus[2013/48]
French:Procédé et appareil de nettoyage par ultrasons[2013/48]
Examination procedure15.05.2013Examination requested  [2013/48]
21.03.2014Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M04)
04.06.2014Reply to a communication from the examining division
11.08.2014Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M04)
26.11.2014Reply to a communication from the examining division
23.02.2015Communication of intention to grant the patent
27.05.2015Fee for grant paid
27.05.2015Fee for publishing/printing paid
27.05.2015Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is  21.03.2014
Opposition(s)11.04.2016No opposition filed within time limit [2016/24]
Fees paidRenewal fee
21.05.2015Renewal fee patent year 03
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU15.05.2013
AL08.07.2015
AT08.07.2015
BE08.07.2015
BG08.07.2015
CY08.07.2015
CZ08.07.2015
DK08.07.2015
EE08.07.2015
ES08.07.2015
FI08.07.2015
HR08.07.2015
IT08.07.2015
LT08.07.2015
LV08.07.2015
MC08.07.2015
MK08.07.2015
NL08.07.2015
PL08.07.2015
RO08.07.2015
RS08.07.2015
SE08.07.2015
SI08.07.2015
SK08.07.2015
SM08.07.2015
TR08.07.2015
NO08.10.2015
GR09.10.2015
IS08.11.2015
PT09.11.2015
[2018/47]
Former [2018/38]HU15.05.2013
AT08.07.2015
BE08.07.2015
BG08.07.2015
CY08.07.2015
CZ08.07.2015
DK08.07.2015
EE08.07.2015
ES08.07.2015
FI08.07.2015
HR08.07.2015
IT08.07.2015
LT08.07.2015
LV08.07.2015
MC08.07.2015
MK08.07.2015
NL08.07.2015
PL08.07.2015
RO08.07.2015
RS08.07.2015
SE08.07.2015
SI08.07.2015
SK08.07.2015
SM08.07.2015
TR08.07.2015
NO08.10.2015
GR09.10.2015
IS08.11.2015
PT09.11.2015
Former [2018/32]HU15.05.2013
AT08.07.2015
BE08.07.2015
CY08.07.2015
CZ08.07.2015
DK08.07.2015
EE08.07.2015
ES08.07.2015
FI08.07.2015
HR08.07.2015
IT08.07.2015
LT08.07.2015
LV08.07.2015
MC08.07.2015
MK08.07.2015
NL08.07.2015
PL08.07.2015
RO08.07.2015
RS08.07.2015
SE08.07.2015
SI08.07.2015
SK08.07.2015
SM08.07.2015
TR08.07.2015
NO08.10.2015
GR09.10.2015
IS08.11.2015
PT09.11.2015
Former [2018/29]HU15.05.2013
AT08.07.2015
BE08.07.2015
CY08.07.2015
CZ08.07.2015
DK08.07.2015
EE08.07.2015
ES08.07.2015
FI08.07.2015
HR08.07.2015
IT08.07.2015
LT08.07.2015
LV08.07.2015
MC08.07.2015
MK08.07.2015
NL08.07.2015
PL08.07.2015
RO08.07.2015
RS08.07.2015
SE08.07.2015
SI08.07.2015
SK08.07.2015
SM08.07.2015
TR08.07.2015
NO08.10.2015
GR09.10.2015
IS08.11.2015
PT09.11.2015
Former [2018/28]HU15.05.2013
AT08.07.2015
BE08.07.2015
CY08.07.2015
CZ08.07.2015
DK08.07.2015
EE08.07.2015
ES08.07.2015
FI08.07.2015
HR08.07.2015
IT08.07.2015
LT08.07.2015
LV08.07.2015
MC08.07.2015
MK08.07.2015
NL08.07.2015
PL08.07.2015
RO08.07.2015
RS08.07.2015
SE08.07.2015
SI08.07.2015
SK08.07.2015
SM08.07.2015
NO08.10.2015
GR09.10.2015
IS08.11.2015
PT09.11.2015
Former [2017/41]AT08.07.2015
BE08.07.2015
CZ08.07.2015
DK08.07.2015
EE08.07.2015
ES08.07.2015
FI08.07.2015
HR08.07.2015
IT08.07.2015
LT08.07.2015
LV08.07.2015
NL08.07.2015
PL08.07.2015
RO08.07.2015
RS08.07.2015
SE08.07.2015
SI08.07.2015
SK08.07.2015
NO08.10.2015
GR09.10.2015
IS08.11.2015
PT09.11.2015
Former [2017/03]AT08.07.2015
BE08.07.2015
CZ08.07.2015
DK08.07.2015
EE08.07.2015
ES08.07.2015
FI08.07.2015
HR08.07.2015
IT08.07.2015
LT08.07.2015
LV08.07.2015
PL08.07.2015
RO08.07.2015
RS08.07.2015
SE08.07.2015
SI08.07.2015
SK08.07.2015
NO08.10.2015
GR09.10.2015
IS08.11.2015
PT09.11.2015
Former [2016/36]AT08.07.2015
CZ08.07.2015
DK08.07.2015
EE08.07.2015
ES08.07.2015
FI08.07.2015
HR08.07.2015
IT08.07.2015
LT08.07.2015
LV08.07.2015
PL08.07.2015
RO08.07.2015
RS08.07.2015
SE08.07.2015
SI08.07.2015
SK08.07.2015
NO08.10.2015
GR09.10.2015
IS08.11.2015
PT09.11.2015
Former [2016/23]AT08.07.2015
CZ08.07.2015
DK08.07.2015
EE08.07.2015
ES08.07.2015
FI08.07.2015
HR08.07.2015
IT08.07.2015
LT08.07.2015
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RO08.07.2015
RS08.07.2015
SE08.07.2015
SK08.07.2015
NO08.10.2015
GR09.10.2015
IS08.11.2015
PT09.11.2015
Former [2016/22]AT08.07.2015
CZ08.07.2015
DK08.07.2015
EE08.07.2015
ES08.07.2015
FI08.07.2015
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IT08.07.2015
LT08.07.2015
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SE08.07.2015
NO08.10.2015
GR09.10.2015
IS08.11.2015
PT09.11.2015
Former [2016/21]AT08.07.2015
DK08.07.2015
ES08.07.2015
FI08.07.2015
HR08.07.2015
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GR09.10.2015
IS08.11.2015
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Former [2016/20]AT08.07.2015
DK08.07.2015
ES08.07.2015
FI08.07.2015
HR08.07.2015
LT08.07.2015
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PL08.07.2015
RS08.07.2015
SE08.07.2015
NO08.10.2015
GR09.10.2015
IS08.11.2015
PT09.11.2015
Former [2016/11]AT08.07.2015
ES08.07.2015
FI08.07.2015
HR08.07.2015
LT08.07.2015
LV08.07.2015
PL08.07.2015
RS08.07.2015
SE08.07.2015
NO08.10.2015
GR09.10.2015
IS08.11.2015
PT09.11.2015
Former [2016/10]ES08.07.2015
FI08.07.2015
HR08.07.2015
LT08.07.2015
LV08.07.2015
PL08.07.2015
RS08.07.2015
SE08.07.2015
NO08.10.2015
GR09.10.2015
IS08.11.2015
PT09.11.2015
Former [2016/09]FI08.07.2015
LT08.07.2015
LV08.07.2015
NO08.10.2015
GR09.10.2015
Former [2016/08]LT08.07.2015
NO08.10.2015
Former [2016/07]LT08.07.2015
Documents cited:Search[XI] US6039055  (AKATSU HIROYUKI et al.)
 [XI] US5985811  (TODA MASAYUKI et al.)
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by applicantJPH10109072
 JP2007250726
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