blank Quick help
blank Maintenance news

Scheduled maintenance

Regular maintenance outages:
between 05.00 and 05.15 hrs CET (Monday to Sunday).

Other outages
Availability

2022.02.11

More...
blank News flashes

News Flashes

New version of the European Patent Register – SPC proceedings information in the Unitary Patent Register.

2024-07-24

More...
blank Related links

Release notes
European Patent Register Assistant
European Patent Register Resource Book
European Patent Register – pocket guide
FAQ - European Patent Register
Federated Register (Flyer)
Global Dossier (Flyer)
Register events
Deep link coverage
Federated Register content
The Patent Information Tour
Fair use charter

Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP2738791

EP2738791 - Method for correcting a photomask [Right-click to bookmark this link]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  24.06.2016
Database last updated on 05.10.2024
Most recent event   Tooltip17.08.2018Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): BG		published on 19.09.2018  [2018/38]
Applicant(s)For all designated states
Dai Nippon Printing Co., Ltd.
1-1, Ichigaya-kagacho 1-chome Shinjuku-ku
Tokyo-to 162-8001 / JP
[2014/23]
Inventor(s)01 / Nagai, Takaharu
c/o DAI Nippon Printing Co., Ltd.
1-1, Ichigaya-kagacho 1-chome
Shinjuku-ku
Tokyo-to 162-8001 / JP
02 / Takamizawa, Hideyoshi
c/o DAI Nippon Printing Co., Ltd.
1-1, Ichigaya-kagacho 1-chome
Shinjuku-ku
Tokyo-to 162-8001 / JP
03 / Mohri, Hiroshi
c/o DAI Nippon Printing Co., Ltd.
1-1, Ichigaya-kagacho 1-chome
Shinjuku-ku
Tokyo-to 162-8001 / JP
04 / Morikawa, Yasutaka
c/o DAI Nippon Printing Co., Ltd.
1-1, Ichigaya-kagacho 1-chome
Shinjuku-ku
Tokyo-to 162-8001 / JP
05 / Hayano, Katsuya
c/o DAI Nippon Printing Co., Ltd.
1-1, Ichigaya-kagacho 1-chome
Shinjuku-ku
Tokyo-to 162-8001 / JP
 [2014/23]
Representative(s)Müller-Boré & Partner Patentanwälte PartG mbB
Friedenheimer Brücke 21
80639 München / DE
[2015/34]
Former [2014/23]Müller-Boré & Partner Patentanwälte PartG mbB
Friedenheimer Brücke 21
80639 München / DE
Application number, filing date14000706.304.02.2010
[2014/23]
Priority number, dateJP2009003321616.02.2009         Original published format: JP 2009033216
JP2009020768209.09.2009         Original published format: JP 2009207682
[2014/23]
Filing languageEN
Procedural languageEN
PublicationType: A2 Application without search report 
No.:EP2738791
Date:04.06.2014
Language:EN
[2014/23]
Type: A3 Search report 
No.:EP2738791
Date:18.06.2014
[2014/25]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP2738791
Date:19.08.2015
Language:EN
[2015/34]
Search report(s)(Supplementary) European search report - dispatched on:EP15.05.2014
ClassificationIPC:H01L21/027, G03F1/00, G03F1/36, G03F1/32, G03F1/72
[2014/25]
CPC:
G03F1/72 (EP,KR,US); H01L21/0274 (KR); G03F1/36 (EP,KR,US);
G03F1/20 (KR); G03F1/28 (EP,US); G03F1/30 (US);
G03F1/32 (EP,KR,US); G03F1/38 (US); G03F1/44 (EP,US);
G03F1/68 (KR,US); G03F1/80 (US) (-)
Designated contracting statesAT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2015/34]
Former [2014/23]AT,  BE,  BG,  CH,  CY,  CZ,  DE,  DK,  EE,  ES,  FI,  FR,  GB,  GR,  HR,  HU,  IE,  IS,  IT,  LI,  LT,  LU,  LV,  MC,  MK,  MT,  NL,  NO,  PL,  PT,  RO,  SE,  SI,  SK,  SM,  TR 
TitleGerman:Verfahren zur Korrektur einer Fotomaske[2014/23]
English:Method for correcting a photomask[2014/23]
French:Procédé de correction de photomasque[2014/23]
Examination procedure03.12.2014Amendment by applicant (claims and/or description)
11.12.2014Examination requested  [2015/04]
06.03.2015Communication of intention to grant the patent
03.07.2015Receipt of the translation of the claim(s)
09.07.2015Fee for grant paid
09.07.2015Fee for publishing/printing paid
Parent application(s)   TooltipEP10741178.7  / EP2397900
Divisional application(s)The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued (EP20100741178) is  19.05.2014
Opposition(s)20.05.2016No opposition filed within time limit [2016/30]
Fees paidRenewal fee
13.03.2014Renewal fee patent year 03
13.03.2014Renewal fee patent year 04
13.03.2014Renewal fee patent year 05
23.02.2015Renewal fee patent year 06
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU04.02.2010
AT19.08.2015
BE19.08.2015
BG19.08.2015
CY19.08.2015
CZ19.08.2015
DK19.08.2015
EE19.08.2015
ES19.08.2015
FI19.08.2015
HR19.08.2015
LT19.08.2015
LV19.08.2015
MC19.08.2015
MK19.08.2015
NL19.08.2015
PL19.08.2015
RO19.08.2015
SE19.08.2015
SI19.08.2015
SK19.08.2015
SM19.08.2015
TR19.08.2015
NO19.11.2015
GR20.11.2015
IS19.12.2015
PT21.12.2015
GB04.02.2016
IE04.02.2016
LU04.02.2016
CH29.02.2016
FR29.02.2016
LI29.02.2016
MT29.02.2016
[2018/38]
Former [2018/31]HU04.02.2010
AT19.08.2015
BE19.08.2015
CY19.08.2015
CZ19.08.2015
DK19.08.2015
EE19.08.2015
ES19.08.2015
FI19.08.2015
HR19.08.2015
LT19.08.2015
LV19.08.2015
MC19.08.2015
MK19.08.2015
NL19.08.2015
PL19.08.2015
RO19.08.2015
SE19.08.2015
SI19.08.2015
SK19.08.2015
SM19.08.2015
TR19.08.2015
NO19.11.2015
GR20.11.2015
IS19.12.2015
PT21.12.2015
GB04.02.2016
IE04.02.2016
LU04.02.2016
CH29.02.2016
FR29.02.2016
LI29.02.2016
MT29.02.2016
Former [2018/29]HU04.02.2010
AT19.08.2015
BE19.08.2015
CY19.08.2015
CZ19.08.2015
DK19.08.2015
EE19.08.2015
ES19.08.2015
FI19.08.2015
HR19.08.2015
LT19.08.2015
LV19.08.2015
MC19.08.2015
MK19.08.2015
MT19.08.2015
NL19.08.2015
PL19.08.2015
RO19.08.2015
SE19.08.2015
SI19.08.2015
SK19.08.2015
SM19.08.2015
TR19.08.2015
NO19.11.2015
GR20.11.2015
IS19.12.2015
PT21.12.2015
GB04.02.2016
IE04.02.2016
LU04.02.2016
CH29.02.2016
FR29.02.2016
LI29.02.2016
Former [2018/28]HU04.02.2010
AT19.08.2015
BE19.08.2015
CY19.08.2015
CZ19.08.2015
DK19.08.2015
EE19.08.2015
ES19.08.2015
FI19.08.2015
HR19.08.2015
LT19.08.2015
LV19.08.2015
MC19.08.2015
MK19.08.2015
MT19.08.2015
NL19.08.2015
PL19.08.2015
RO19.08.2015
SE19.08.2015
SI19.08.2015
SK19.08.2015
SM19.08.2015
NO19.11.2015
GR20.11.2015
IS19.12.2015
PT21.12.2015
GB04.02.2016
IE04.02.2016
LU04.02.2016
CH29.02.2016
FR29.02.2016
LI29.02.2016
Former [2017/47]AT19.08.2015
BE19.08.2015
CZ19.08.2015
DK19.08.2015
EE19.08.2015
ES19.08.2015
FI19.08.2015
LT19.08.2015
LV19.08.2015
MC19.08.2015
MT19.08.2015
NL19.08.2015
PL19.08.2015
RO19.08.2015
SE19.08.2015
SI19.08.2015
SK19.08.2015
NO19.11.2015
GR20.11.2015
IS19.12.2015
PT21.12.2015
GB04.02.2016
IE04.02.2016
LU04.02.2016
CH29.02.2016
FR29.02.2016
LI29.02.2016
Former [2017/10]AT19.08.2015
BE19.08.2015
CZ19.08.2015
DK19.08.2015
EE19.08.2015
ES19.08.2015
FI19.08.2015
LT19.08.2015
LV19.08.2015
MC19.08.2015
NL19.08.2015
PL19.08.2015
RO19.08.2015
SE19.08.2015
SI19.08.2015
SK19.08.2015
NO19.11.2015
GR20.11.2015
IS19.12.2015
PT21.12.2015
GB04.02.2016
IE04.02.2016
LU04.02.2016
CH29.02.2016
FR29.02.2016
LI29.02.2016
Former [2017/08]AT19.08.2015
BE19.08.2015
CZ19.08.2015
DK19.08.2015
EE19.08.2015
ES19.08.2015
FI19.08.2015
LT19.08.2015
LV19.08.2015
MC19.08.2015
NL19.08.2015
PL19.08.2015
RO19.08.2015
SE19.08.2015
SI19.08.2015
SK19.08.2015
NO19.11.2015
GR20.11.2015
IS19.12.2015
PT21.12.2015
GB04.02.2016
IE04.02.2016
LU04.02.2016
CH29.02.2016
LI29.02.2016
Former [2017/07]AT19.08.2015
BE19.08.2015
CZ19.08.2015
DK19.08.2015
EE19.08.2015
ES19.08.2015
FI19.08.2015
LT19.08.2015
LV19.08.2015
MC19.08.2015
NL19.08.2015
PL19.08.2015
RO19.08.2015
SE19.08.2015
SI19.08.2015
SK19.08.2015
NO19.11.2015
GR20.11.2015
IS19.12.2015
PT21.12.2015
IE04.02.2016
LU04.02.2016
CH29.02.2016
LI29.02.2016
Former [2017/03]AT19.08.2015
BE19.08.2015
CZ19.08.2015
DK19.08.2015
EE19.08.2015
ES19.08.2015
FI19.08.2015
LT19.08.2015
LV19.08.2015
MC19.08.2015
NL19.08.2015
PL19.08.2015
RO19.08.2015
SE19.08.2015
SI19.08.2015
SK19.08.2015
NO19.11.2015
GR20.11.2015
IS19.12.2015
PT21.12.2015
LU04.02.2016
CH29.02.2016
LI29.02.2016
Former [2016/46]AT19.08.2015
CZ19.08.2015
DK19.08.2015
EE19.08.2015
ES19.08.2015
FI19.08.2015
LT19.08.2015
LV19.08.2015
MC19.08.2015
NL19.08.2015
PL19.08.2015
RO19.08.2015
SE19.08.2015
SI19.08.2015
SK19.08.2015
NO19.11.2015
GR20.11.2015
IS19.12.2015
PT21.12.2015
LU04.02.2016
BE29.02.2016
CH29.02.2016
LI29.02.2016
Former [2016/43]AT19.08.2015
CZ19.08.2015
DK19.08.2015
EE19.08.2015
ES19.08.2015
FI19.08.2015
LT19.08.2015
LV19.08.2015
MC19.08.2015
NL19.08.2015
PL19.08.2015
RO19.08.2015
SE19.08.2015
SI19.08.2015
SK19.08.2015
NO19.11.2015
GR20.11.2015
IS19.12.2015
PT21.12.2015
LU04.02.2016
BE29.02.2016
Former [2016/42]AT19.08.2015
CZ19.08.2015
DK19.08.2015
EE19.08.2015
ES19.08.2015
FI19.08.2015
LT19.08.2015
LV19.08.2015
MC19.08.2015
NL19.08.2015
PL19.08.2015
RO19.08.2015
SE19.08.2015
SI19.08.2015
SK19.08.2015
NO19.11.2015
GR20.11.2015
IS19.12.2015
PT21.12.2015
BE29.02.2016
Former [2016/36]AT19.08.2015
CZ19.08.2015
DK19.08.2015
EE19.08.2015
ES19.08.2015
FI19.08.2015
LT19.08.2015
LV19.08.2015
NL19.08.2015
PL19.08.2015
RO19.08.2015
SE19.08.2015
SI19.08.2015
SK19.08.2015
NO19.11.2015
GR20.11.2015
IS19.12.2015
PT21.12.2015
BE29.02.2016
Former [2016/24]AT19.08.2015
CZ19.08.2015
DK19.08.2015
EE19.08.2015
ES19.08.2015
FI19.08.2015
LT19.08.2015
LV19.08.2015
NL19.08.2015
PL19.08.2015
RO19.08.2015
SE19.08.2015
SK19.08.2015
NO19.11.2015
GR20.11.2015
IS19.12.2015
PT21.12.2015
BE29.02.2016
Former [2016/23]AT19.08.2015
CZ19.08.2015
DK19.08.2015
EE19.08.2015
ES19.08.2015
FI19.08.2015
LT19.08.2015
LV19.08.2015
NL19.08.2015
PL19.08.2015
RO19.08.2015
SE19.08.2015
SK19.08.2015
NO19.11.2015
GR20.11.2015
IS19.12.2015
PT21.12.2015
Former [2016/22]AT19.08.2015
CZ19.08.2015
DK19.08.2015
EE19.08.2015
ES19.08.2015
FI19.08.2015
LT19.08.2015
LV19.08.2015
NL19.08.2015
PL19.08.2015
SE19.08.2015
NO19.11.2015
GR20.11.2015
IS19.12.2015
PT21.12.2015
Former [2016/20]AT19.08.2015
DK19.08.2015
ES19.08.2015
FI19.08.2015
LT19.08.2015
LV19.08.2015
NL19.08.2015
PL19.08.2015
SE19.08.2015
NO19.11.2015
GR20.11.2015
IS19.12.2015
PT21.12.2015
Former [2016/14]AT19.08.2015
ES19.08.2015
FI19.08.2015
LT19.08.2015
LV19.08.2015
NL19.08.2015
PL19.08.2015
SE19.08.2015
NO19.11.2015
GR20.11.2015
IS19.12.2015
PT21.12.2015
Former [2016/11]AT19.08.2015
ES19.08.2015
FI19.08.2015
LT19.08.2015
LV19.08.2015
PL19.08.2015
SE19.08.2015
NO19.11.2015
GR20.11.2015
IS19.12.2015
PT21.12.2015
Former [2016/10]ES19.08.2015
FI19.08.2015
LT19.08.2015
LV19.08.2015
PL19.08.2015
SE19.08.2015
NO19.11.2015
GR20.11.2015
IS19.12.2015
PT21.12.2015
Former [2016/09]FI19.08.2015
LT19.08.2015
LV19.08.2015
NO19.11.2015
GR20.11.2015
Former [2016/08]LT19.08.2015
NO19.11.2015
Former [2016/07]LT19.08.2015
Documents cited:Search[XA]US5786113  (HASHIMOTO SHUICHI [JP], et al) [X] 8 * abstract * * figures 2, 3 * * column 6, line 15 - column 7, line 27 * * column 12, line 50 - column 13, line 56 * * claims 13, 14 * [A] 1-7;
 [XA]EP1447711  (MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD [JP]) [X] 8 * abstract * * paragraph [0228] - paragraph [0249] * * paragraph [0291] * [A] 1-7;
 [XA]US2007082275  (CHANG CHING-YU [TW]) [X] 8 * paragraph [0035] - paragraph [0037] * * figure 6 * [A] 1-7;
 [A]US2008131792  (TAKAOKA OSAMU [JP], et al) [A] 1-8 * the whole document *;
 [A]US2004124175  (LUDWIG RALF [DE], et al) [A] 1-8 * the whole document *;
 [A]US2003077524  (CHOI YO-HAN [KR]) [A] 1-8 * the whole document *;
 [A]US6103430  (YANG BAORUI [US]) [A] 1-8 * the whole document *
The EPO accepts no responsibility for the accuracy of data originating from other authorities; in particular, it does not guarantee that it is complete, up to date or fit for specific purposes.