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Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP3032566

EP3032566 - Cylindrical structure for use in an RF sputter process and a sputtering system comprising same [Right-click to bookmark this link]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  11.09.2020
Database last updated on 19.10.2024
FormerThe patent has been granted
Status updated on  04.10.2019
FormerGrant of patent is intended
Status updated on  16.05.2019
FormerRequest for examination was made
Status updated on  23.12.2016
Most recent event   Tooltip01.07.2022Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): MK		published on 03.08.2022  [2022/31]
Applicant(s)For all designated states
Soleras Advanced Coatings bvba
E3laan 75-79
9800 Deinze / BE
[2019/45]
Former [2016/24]For all designated states
Soleras Advanced Coatings bvba
E3laan 75-79
9800 Deinze / BE
Inventor(s)01 / De Bosscher, Wilmert
Soleras Advanced Coatings bvba
Noordhoutstraat 22
9031 Drongen / BE
 [2016/24]
Representative(s)Winger
Leuvensesteenweg 203
3190 Boortmeerbeek / BE
[N/P]
Former [2016/24]DenK iP
Leuvensesteenweg 203
3190 Boortmeerbeek / BE
Application number, filing date14196852.908.12.2014
[2016/24]
Filing languageEN
Procedural languageEN
PublicationType: A1 Application with search report 
No.:EP3032566
Date:15.06.2016
Language:EN
[2016/24]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP3032566
Date:06.11.2019
Language:EN
[2019/45]
Search report(s)(Supplementary) European search report - dispatched on:EP08.06.2015
ClassificationIPC:H01J37/34, C23C14/35, H01J37/32
[2016/24]
CPC:
H01J37/347 (EP); H01J37/32082 (EP); H01J37/3435 (EP);
H01J37/3444 (EP)
Designated contracting statesAL,   AT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   RS,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2017/04]
Former [2016/24]AL,  AT,  BE,  BG,  CH,  CY,  CZ,  DE,  DK,  EE,  ES,  FI,  FR,  GB,  GR,  HR,  HU,  IE,  IS,  IT,  LI,  LT,  LU,  LV,  MC,  MK,  MT,  NL,  NO,  PL,  PT,  RO,  RS,  SE,  SI,  SK,  SM,  TR 
TitleGerman:Zylindrische Struktur zur Verwendung in einem HF-Sputterverfahren und Sputtersystem damit[2016/24]
English:Cylindrical structure for use in an RF sputter process and a sputtering system comprising same[2016/24]
French:Structure cylindrique destinée à être utilisée dans un processus de pulvérisation cathodique RF et système de pulvérisation la comprenant[2016/24]
Examination procedure08.12.2014Date on which the examining division has become responsible
14.12.2016Amendment by applicant (claims and/or description)
14.12.2016Examination requested  [2017/04]
17.05.2019Communication of intention to grant the patent
25.09.2019Fee for grant paid
25.09.2019Fee for publishing/printing paid
25.09.2019Receipt of the translation of the claim(s)
Opposition(s)07.08.2020No opposition filed within time limit [2020/42]
Fees paidRenewal fee
23.12.2016Renewal fee patent year 03
21.12.2017Renewal fee patent year 04
19.12.2018Renewal fee patent year 05
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU08.12.2014
AL06.11.2019
AT06.11.2019
CY06.11.2019
CZ06.11.2019
DK06.11.2019
EE06.11.2019
ES06.11.2019
FI06.11.2019
HR06.11.2019
IT06.11.2019
LT06.11.2019
LV06.11.2019
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MK06.11.2019
MT06.11.2019
NL06.11.2019
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SM06.11.2019
TR06.11.2019
IE08.12.2019
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NO06.02.2020
GR07.02.2020
IS06.03.2020
PT06.03.2020
[2022/31]
Former [2022/27]HU08.12.2014
AL06.11.2019
AT06.11.2019
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IT06.11.2019
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GR07.02.2020
IS06.03.2020
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Former [2021/34]HU08.12.2014
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GR07.02.2020
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Former [2020/51]AL06.11.2019
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NO06.02.2020
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IS06.03.2020
PT06.03.2020
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CZ06.11.2019
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IS06.03.2020
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IS06.03.2020
PT06.03.2020
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SE06.11.2019
BG06.02.2020
NO06.02.2020
GR07.02.2020
IS06.03.2020
PT06.03.2020
Former [2020/25]FI06.11.2019
HR06.11.2019
LT06.11.2019
LV06.11.2019
NL06.11.2019
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SE06.11.2019
BG06.02.2020
NO06.02.2020
GR07.02.2020
IS06.03.2020
PT06.03.2020
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BG06.02.2020
NO06.02.2020
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IS06.03.2020
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NO06.02.2020
GR07.02.2020
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SE06.11.2019
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NO06.02.2020
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