Extrait du Registre européen des brevets

EP Présentation générale: EP4415028

EP4415028 - FILM FORMING APPARATUS AND METHOD FOR FORMING CRYSTALLINE SEMICONDUCTOR FILM USING SAME [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets]
StatutLa requête en examen a été présentée
Statut actualisé le  12.07.2024
Base de données mise à jour au 24.03.2026
PrécédentLa publication internationale a été faite
Statut actualisé le  14.04.2023
Dernier événement   Tooltip21.01.2026Rapport complémentaire de recherchepublié le 18.02.2026  [2026/08]
Demandeur(s)Pour tous les Etats désignés
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
4-1, Marunouchi 1 chome
Chiyoda-ku
Tokyo 1000005 / JP
Pour tous les Etats désignés
Shin-Etsu Engineering Co., Ltd.
9 Kanda-nishiki-cho 2-chome
Chiyoda-ku
Tokyo 101-0054 / JP
[N/P]
Précédent [2024/33]Pour tous les Etats désignés
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
4-1, Marunouchi 1 chome
Chiyoda-ku
Tokyo 1000005 / JP
Pour tous les Etats désignés
Shin-etsu Engineering Co., Ltd.
9 Kanda Nishikicho 2-chome
Chiyoda-ku
Tokyo 101-0054 / JP
Inventeur(s)01 / HASHIGAMI, Hiroshi
Annaka-shi, Gunma 379-0195 / JP
02 / KOJIMA, Muneyuki
Annaka-shi, Gunma 379-0127 / JP
 [2024/33]
Mandataire(s)Mooser, Sebastian Thomas
Wuesthoff & Wuesthoff
Patentanwälte und Rechtsanwalt PartG mbB
Schweigerstraße 2
81541 München / DE
[2024/33]
Numéro de la demande, date de dépôt22878146.429.06.2022
[2024/33]
WO2022JP25860
Numéro de priorité, dateJP2021016561807.10.2021         Format original publié: JP 2021165618
[2024/33]
Langue de dépôtJA
Langue de la procédureEN
PublicationType: A1 Demande avec rapport de recherche
N°:WO2023058273
Date:13.04.2023
Langue:JA
[2023/15]
Type: A1 Demande avec rapport de recherche 
N°:EP4415028
Date:14.08.2024
Langue:EN
[2024/33]
Rapport(s) de rechercheRapport de recherche internationale - publié le:JP13.04.2023
Rapport (complémentaire) de recherche européenne - envoyé le:EP20.01.2026
ClassificationIPC:H01L21/365, H01L21/368
[2024/33]
CPC:
H10P14/24 (EP,US); H10P14/60 (EP,KR); C23C16/40 (EP,US);
C23C16/4412 (EP,US); C23C16/4486 (EP,US); C23C16/45512 (US);
C23C16/4583 (EP,US); C23C16/46 (EP,US); H10P14/265 (EP);
H10P14/3411 (EP); H10P14/3434 (EP,US); H10P72/0402 (KR);
H10P72/0431 (KR); H10P72/7624 (KR) (-)
Etats contractants désignésAL,   AT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   RS,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2024/33]
TitreAllemand:FILMBILDUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BILDUNG EINES KRISTALLINEN HALBLEITERFILMS DAMIT[2024/33]
Anglais:FILM FORMING APPARATUS AND METHOD FOR FORMING CRYSTALLINE SEMICONDUCTOR FILM USING SAME[2024/33]
Français:APPAREIL DE FORMATION DE FILM ET PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM SEMI-CONDUCTEUR CRISTALLIN FAISANT INTERVENIR CET APPAREIL[2024/33]
Entrée dans la phase régionale27.03.2024Traduction produite 
27.03.2024Taxe nationale de base payée 
27.03.2024Taxe de recherche payée 
27.03.2024Taxe(s) de désignation payée(s) 
27.03.2024Taxe d'examen payée 
Procédure dexamen27.03.2024Requête en examen déposée  [2024/33]
13.11.2024Modification par le demandeur (revendications et/ou déscription)
Taxes payéesTaxe annuelle
27.03.2024Taxe annuelle Année du brevet 03
20.05.2025Taxe annuelle Année du brevet 04
Dérogation à la compétence  Tooltip
exclusive de la juridiction
unifiée du brevet
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Citations:Recherche[XIY] JP6925548  (信越化学工業株式会社) [X] 1,7,9 * paragraphs [0049] , [0073] , [0 53] - [0063]; figure 1 *[I] 10 [Y] 2-6,8
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Recherche internationale[YX] JP6925548  (信越化学工業株式会社) [Y] 2-6, 8, 10 * paragraphs [0034]-[0059], fig. 1 *[X] 1, 7, 9
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 [Y] JPH07245265  (FUJITSU LTD et al.) [Y] 6 * paragraphs [0013]-[0015], fig. 1 *
 [Y] JP2020174153  (SHINETSU CHEMICAL CO et al.) [Y] 8 * paragraph [0070] *
 [Y] JP2012119591  (FUJI ELECTRIC CO LTD et al.) [Y] 10 * paragraph [0168] *
par le demandeurJP2013028480
 JP2020107636
 JP2020188170
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