| EP4415028 - FILM FORMING APPARATUS AND METHOD FOR FORMING CRYSTALLINE SEMICONDUCTOR FILM USING SAME [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets] | Statut | La requête en examen a été présentée Statut actualisé le 12.07.2024 Base de données mise à jour au 24.03.2026 | |
| Précédent | La publication internationale a été faite Statut actualisé le 14.04.2023 | Dernier événement Tooltip | 21.01.2026 | Rapport complémentaire de recherche | publié le 18.02.2026 [2026/08] | Demandeur(s) | Pour tous les Etats désignés SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 4-1, Marunouchi 1 chome Chiyoda-ku Tokyo 1000005 / JP | Pour tous les Etats désignés Shin-Etsu Engineering Co., Ltd. 9 Kanda-nishiki-cho 2-chome Chiyoda-ku Tokyo 101-0054 / JP | [N/P] |
| Précédent [2024/33] | Pour tous les Etats désignés SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 4-1, Marunouchi 1 chome Chiyoda-ku Tokyo 1000005 / JP | ||
| Pour tous les Etats désignés Shin-etsu Engineering Co., Ltd. 9 Kanda Nishikicho 2-chome Chiyoda-ku Tokyo 101-0054 / JP | Inventeur(s) | 01 /
HASHIGAMI, Hiroshi Annaka-shi, Gunma 379-0195 / JP | 02 /
KOJIMA, Muneyuki Annaka-shi, Gunma 379-0127 / JP | [2024/33] | Mandataire(s) | Mooser, Sebastian Thomas Wuesthoff & Wuesthoff Patentanwälte und Rechtsanwalt PartG mbB Schweigerstraße 2 81541 München / DE | [2024/33] | Numéro de la demande, date de dépôt | 22878146.4 | 29.06.2022 | [2024/33] | WO2022JP25860 | Numéro de priorité, date | JP20210165618 | 07.10.2021 Format original publié: JP 2021165618 | [2024/33] | Langue de dépôt | JA | Langue de la procédure | EN | Publication | Type: | A1 Demande avec rapport de recherche | N°: | WO2023058273 | Date: | 13.04.2023 | Langue: | JA | [2023/15] | Type: | A1 Demande avec rapport de recherche | N°: | EP4415028 | Date: | 14.08.2024 | Langue: | EN | [2024/33] | Rapport(s) de recherche | Rapport de recherche internationale - publié le: | JP | 13.04.2023 | Rapport (complémentaire) de recherche européenne - envoyé le: | EP | 20.01.2026 | Classification | IPC: | H01L21/365, H01L21/368 | [2024/33] | CPC: |
H10P14/24 (EP,US);
H10P14/60 (EP,KR);
C23C16/40 (EP,US);
C23C16/4412 (EP,US);
C23C16/4486 (EP,US);
C23C16/45512 (US);
C23C16/4583 (EP,US);
C23C16/46 (EP,US);
H10P14/265 (EP);
H10P14/3411 (EP);
H10P14/3434 (EP,US);
H10P72/0402 (KR);
| Etats contractants désignés | AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR [2024/33] | Titre | Allemand: | FILMBILDUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BILDUNG EINES KRISTALLINEN HALBLEITERFILMS DAMIT | [2024/33] | Anglais: | FILM FORMING APPARATUS AND METHOD FOR FORMING CRYSTALLINE SEMICONDUCTOR FILM USING SAME | [2024/33] | Français: | APPAREIL DE FORMATION DE FILM ET PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM SEMI-CONDUCTEUR CRISTALLIN FAISANT INTERVENIR CET APPAREIL | [2024/33] | Entrée dans la phase régionale | 27.03.2024 | Traduction produite | 27.03.2024 | Taxe nationale de base payée | 27.03.2024 | Taxe de recherche payée | 27.03.2024 | Taxe(s) de désignation payée(s) | 27.03.2024 | Taxe d'examen payée | Procédure dexamen | 27.03.2024 | Requête en examen déposée [2024/33] | 13.11.2024 | Modification par le demandeur (revendications et/ou déscription) | Taxes payées | Taxe annuelle | 27.03.2024 | Taxe annuelle Année du brevet 03 | 20.05.2025 | Taxe annuelle Année du brevet 04 |
| Dérogation à la compétence Tooltip exclusive de la juridiction unifiée du brevet | Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation | ||
| La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni. | Citations: | Recherche | [XIY] JP6925548 (信越化学工業株式会社) [X] 1,7,9 * paragraphs [0049] , [0073] , [0 53] - [0063]; figure 1 *[I] 10 [Y] 2-6,8 | [Y] JP2004158554 (RORZE CORP et al.) [Y] 2,4-5 * paragraphs [0009] , [0010] , [0017] - [0019]; figure 3 * | [Y] JP2021136445 (SHINETSU CHEMICAL CO et al.) [Y] 3 * paragraph [0048]; claim 1 * | [Y] JPH07245265 (FUJITSU LTD et al.) [Y] 6 * paragraph [0028]; figure 2 * | [Y] JP2020174153 (SHINETSU CHEMICAL CO et al.) [Y] 8 * paragraphs [0049] , [0050] * | Recherche internationale | [YX] JP6925548 (信越化学工業株式会社) [Y] 2-6, 8, 10 * paragraphs [0034]-[0059], fig. 1 *[X] 1, 7, 9 | [Y] JP2004158554 (RORZE CORP et al.) [Y] 2-5 * paragraphs [0009]-[0019], fig. 3 * | [Y] JPH07245265 (FUJITSU LTD et al.) [Y] 6 * paragraphs [0013]-[0015], fig. 1 * | [Y] JP2020174153 (SHINETSU CHEMICAL CO et al.) [Y] 8 * paragraph [0070] * | [Y] JP2012119591 (FUJI ELECTRIC CO LTD et al.) [Y] 10 * paragraph [0168] * | par le demandeur | JP2013028480 | JP2020107636 | JP2020188170 |