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Auszug aus dem europäischen Patentregister

EP Übersicht: EP1069599

EP1069599 - Vorrichtung zur Abscheidung von Dünnschichten auf Wafern [Mit Rechtsklick auf diesen Link können Sie ein Bookmark anlegen.]
Status	Kein Einspruch fristgerecht eingelegt Status aktualisiert am 15.10.2010 Datenbank zuletzt aktualisiert am 18.09.2024
Letztes Ereignis Tooltip	15.10.2010	Kein Einspruch fristgerecht eingelegt	veröffentlicht am 17.11.2010 [2010/46]
Anmelder	Für alle benannten Staaten MooHan Co., Ltd 106, Dasankwan Venturetown, 1687-2, Sinil-dong Daeduck-ku Dae Jeun Megacity 306-230 / KR
	[2009/50]
Frühere [2001/03]	Für alle benannten Staaten MooHan Co., Ltd 106, Dasankwan Venturetown, 1687-2, Sinil-dong Daeduck-ku, Dae Jeun Megacity 306-230 / KR
Erfinder	01 / Kim, Yong il 311-204, Songgang Green Apt., 199 Songgang-dong Yousung-ku, Dae Jeun Megacity 305-751 / KR
	02 / Shin, Joong Ho 312-1403, Songgang Green Apt., 199 Songgang-dong Yousung-ku, Dae Jeun Megacity 305-751 / KR
	03 / Yun, Yeo Heung 203-801, Songgang maeul Apt., 10-3 Songgang-dong Yousung-ku, Dae Jeun Megacity 305-802 / KR
	[2001/03]
Vertreter	Merkle, Gebhard Ter Meer Steinmeister & Partner Patentanwälte mbB Mauerkircherstrasse 45 81679 München / DE
	[N/P]
Frühere [2001/03]	Merkle, Gebhard TER MEER STEINMEISTER & PARTNER GbR, Patentanwälte, Mauerkircherstrasse 45 81679 München / DE
Anmeldenummer, Anmeldetag	00115133.1	12.07.2000
	[2001/03]
Prioritätsnummer, Prioritätstag	KR19990028609	15.07.1999 Ursprünglich veröffentlichtes Format: KR 9928609
	[2001/03]
Anmeldesprache	EN
Verfahrenssprache	EN
Veröffentlichung	Art:	A2 Anmeldung ohne Recherchenbericht
	Nr.:	EP1069599
	Datum:	17.01.2001
	Sprache:	EN
	[2001/03]
	Art:	A3 Recherchenbericht
	Nr.:	EP1069599
	Datum:	04.12.2002
	[2002/49]
	Art:	B1 Patentschrift
	Nr.:	EP1069599
	Datum:	09.12.2009
	Sprache:	EN
	[2009/50]
Recherchenbericht(e)	(Ergänzender) europäischer Recherchenbericht - versandt am:	EP	18.10.2002
Klassifikation	IPC:	H01L21/00	[2001/03]
	CPC:	C23C16/45544 (EP,US); H01L21/20 (KR); C23C16/4412 (EP,US); C23C16/45519 (EP,US); C23C16/45561 (EP,US); C23C16/4584 (EP,US); (+) C23C16/481 (EP,US); C30B25/12 (EP,US) (-)
Benannte Vertragsstaaten	DE, FR [2003/35]
Frühere [2001/03]	AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, SE
Bezeichnung der Erfindung	Deutsch:	Vorrichtung zur Abscheidung von Dünnschichten auf Wafern	[2001/03]
	Englisch:	Apparatus for deposition of thin films on wafers	[2001/03]
	Französisch:	Appareil de déposition de films minces sur des plaquettes semiconductrices	[2001/03]
Prüfungsverfahren	04.06.2003	Änderung durch den Anmelder (Ansprüche und/oder Beschreibung)
	04.06.2003	Prüfungsantrag gestellt [2003/32]
	01.07.2003	Teilrechtsverlust, Datum der Rechtswirksamkeit: benannte Vertragsstaat(en)
	24.09.2003	Absendung der Mitteilung über einen Teilrechtsverlusts: benannte Vertragsstaat(en) AT, BE, CH, CY, DK, ES, FI, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE
	26.04.2007	Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M06)
	29.10.2007	Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung
	25.02.2008	Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M04)
	25.06.2008	Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung
	08.07.2009	Ankündigung der Patenterteilung
	28.10.2009	Erteilungsgebühr entrichtet
	28.10.2009	Veröffentlichungs-/Druckkostengebühr entrichtet
Einspruch (Einsprüche)	10.09.2010	Kein Einspruch fristgerecht eingelegt [2010/46]
Entrichtete Gebühren	Jahresgebühr
	17.07.2002	Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 03
	17.07.2003	Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 04
	14.07.2004	Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 05
	28.07.2005	Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 06
	19.07.2006	Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 07
	23.07.2007	Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 08
	30.07.2008	Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 09
	20.07.2009	Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 10
	Zuschlagsgebühr
	Zuschlagsgebühr/Regel 85a EPÜ 1973
	10.07.2003	AT M01 Noch nicht entrichtet
	10.07.2003	BE M01 Noch nicht entrichtet
	10.07.2003	CH M01 Noch nicht entrichtet
	10.07.2003	CY M01 Noch nicht entrichtet
	10.07.2003	DK M01 Noch nicht entrichtet
	10.07.2003	ES M01 Noch nicht entrichtet
	10.07.2003	FI M01 Noch nicht entrichtet
	10.07.2003	GB M01 Noch nicht entrichtet
	10.07.2003	GR M01 Noch nicht entrichtet
	10.07.2003	IE M01 Noch nicht entrichtet
	10.07.2003	IT M01 Noch nicht entrichtet
	10.07.2003	LU M01 Noch nicht entrichtet
	10.07.2003	MC M01 Noch nicht entrichtet
	10.07.2003	NL M01 Noch nicht entrichtet
	10.07.2003	PT M01 Noch nicht entrichtet
	10.07.2003	SE M01 Noch nicht entrichtet
Ausschluss der ausschließlichen Tooltip Zuständigkeit des Einheitlichen Patentgerichts	Zu den entsprechenden Daten siehe das Register des Einheitlichen Patentgerichts
	Die Verantwortung für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der unter dem Link angezeigten Daten liegt allein beim Einheitlichen Patentgericht.
Angeführte Dokumente:	Recherche	[A]JPH05179428 ;
		[A]JPH0982593 ;
		[A]JPH01140712 ;
		[X]US3437043 (SANDERS DAVID H, et al) [X] 20* the whole document *;
		[A]US4513021 (PURDES ANDREW J [US], et al) [A] 19 * the whole document *;
		[A]US4820106 (WALDE MICHAEL [DE], et al) [A] 1-6 * figures 3,5 *;
		[X]US4911101 (BALLINGALL III JAMES M [US], et al) [X] 7-11,13,14 * figure 3 * * the whole document *;
		[X]US5522934 (SUZUKI AKIRA [JP], et al) [X] 19 * the whole document * * figure 2 *;
		[A]US5575854 (JINNOUCHI SHIMPEI [JP], et al) [A] 7-14 * the whole document *;
		[X]WO9714180 (SEMITOOL INC [US], et al) [X] 7-14 * the whole document * * claims 1-140 *;
		[X]US5647945 (MATSUSE KIMIHIRO [JP], et al) [X] 7-11,13,14,19 * column 1, line 30 - line 67 * * column 16, line 35 - line 45 * * column 20, line 42 - line 62 * * claims 1,2 * * figures 4,5,7,8 *;
		[X]US5683518 (MOORE GARY M [US], et al) [X] 1-6,15-18 * column 19, line 65 - column 20, line 14 * * figures 2B,14 * * claims 1-51 *;
		[XA]WO9744820 (C V RESEARCH CORP [JP], et al) [X] 1-6 [A] 15-18;
		[A]EP0833374 (KOKUSAI ELECTRIC CO LTD [JP]) [A] 1-6 * figures 7-10 *;
		US6030459 [ ] (KAWAURA HIROSHI [JP]) [ ] * the whole document *;
		[PX]US6048798 (GADGIL PRASHANT [US], et al) [PX] 19 * column 4, line 40 - column 5, line 36 *
		[A] - PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, (19931102), vol. 017, no. 597, Database accession no. (C - 1127), & JP05179428 A 19930720 (MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD) [A] 1-6 * abstract *
		[A] - PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, (19970731), vol. 1997, no. 07, & JP09082593 A 19970328 (NIPPON STEEL CORP) [A] 1-6 * abstract *
		[A] - PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, (19890904), vol. 013, no. 396, Database accession no. (E - 815), & JP01140712 A 19890601 (FUJITSU LTD) [A] 7-14 * abstract * * figures 1,2 *
	Prüfung	EP0445596
	vom Anmelder	US5683518

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