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EP1039502
Europäisches Verfahren
Auszug aus dem europäischen Patentregister
EP Übersicht: EP1039502
| EP1039502 - Wärmeschutzvorrichtung für Dichtungsringe in einem Plasmaerzeugungsgerät [Mit Rechtsklick auf diesen Link können Sie ein Bookmark anlegen.] | Status | Kein Einspruch fristgerecht eingelegt Status aktualisiert am 27.02.2009 Datenbank zuletzt aktualisiert am 20.09.2024 | Letztes Ereignis Tooltip | 27.02.2009 | Kein Einspruch fristgerecht eingelegt | veröffentlicht am 01.04.2009 [2009/14] | Anmelder | Für alle benannten Staaten Applied Materials, Inc. 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 / US | [N/P] |
| Frühere [2008/17] | Für alle benannten Staaten APPLIED MATERIALS, INC. 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 / US | ||
| Frühere [2000/39] | Für alle benannten Staaten Applied Materials, Inc. 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 / US | Erfinder | 01 /
Tanaka, Tsutomu 3301 Monroe Street, No.5 Santa Clara, California 95051 / US | 02 /
Nowak, Thomas 880 E. Fremont Av.222 Sunnyvale, California 94087 / US | 03 /
Nguyen, Chau 1748 Morill Ave. San Jose, California 95132 / US | 04 /
Ponnekanti, Hari 3407 Fitzsimmons Common Fremont, California 94538 / US | 05 /
Fairbairn, Kevin 106 Kennedy Court Los Gatos, California 95032 / US | [2008/17] |
| Frühere [2000/39] | 01 /
Tanaka, Tsutomu 3301 Monroe Street, No.5 Santa Clara, California 94087 / US | ||
| 02 /
Nowak, Thomas 880 E. Fremont Av.222 Sunnyvale, California 94087 / US | |||
| 03 /
Nguyen, Chau 1748 Morill Ave. San Jose, California 95132 / US | |||
| 04 /
Ponnekanti, Hari 3407 Fitzsimmons Common Fremont, California 95032 / US | |||
| 05 /
Fairbairn, Kevin 106 Kennedy Court Los Gatos, California 95032 / US | Vertreter | Bayliss, Geoffrey Cyril, et al BOULT WADE TENNANT Verulam Gardens 70 Gray's Inn Road London WC1X 8BT / GB | [N/P] |
| Frühere [2000/39] | Bayliss, Geoffrey Cyril, et al BOULT WADE TENNANT, Verulam Gardens 70 Gray's Inn Road London WC1X 8BT / GB | Anmeldenummer, Anmeldetag | 00302146.6 | 16.03.2000 | [2000/39] | Prioritätsnummer, Prioritätstag | US19990272898 | 19.03.1999 Ursprünglich veröffentlichtes Format: US 272898 | [2000/39] | Anmeldesprache | EN | Verfahrenssprache | EN | Veröffentlichung | Art: | A2 Anmeldung ohne Recherchenbericht | Nr.: | EP1039502 | Datum: | 27.09.2000 | Sprache: | EN | [2000/39] | Art: | A3 Recherchenbericht | Nr.: | EP1039502 | Datum: | 30.05.2001 | [2001/22] | Art: | B1 Patentschrift | Nr.: | EP1039502 | Datum: | 23.04.2008 | Sprache: | EN | [2008/17] | Recherchenbericht(e) | (Ergänzender) europäischer Recherchenbericht - versandt am: | EP | 12.04.2001 | Klassifikation | IPC: | H01J37/32 | [2000/39] | CPC: |
H01J37/32458 (EP,KR,US);
H01J37/32192 (EP,KR,US);
H01J2237/166 (EP,KR,US)
| Benannte Vertragsstaaten | DE, GB [2002/08] |
| Frühere [2000/39] | AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, SE | Bezeichnung der Erfindung | Deutsch: | Wärmeschutzvorrichtung für Dichtungsringe in einem Plasmaerzeugungsgerät | [2000/39] | Englisch: | Heat protection of sealing o-rings in a microwave plasma generating apparatus | [2000/39] | Französisch: | Dispositif de protection thermique pour joints d'étanchéité dans un appareil générateur de plasma | [2000/39] | Prüfungsverfahren | 30.11.2001 | Prüfungsantrag gestellt [2002/05] | 04.08.2006 | Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M04) | 11.12.2006 | Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung | 25.09.2007 | Ankündigung der Patenterteilung | 05.02.2008 | Erteilungsgebühr entrichtet | 05.02.2008 | Veröffentlichungs-/Druckkostengebühr entrichtet | Einspruch (Einsprüche) | 26.01.2009 | Kein Einspruch fristgerecht eingelegt [2009/14] | Entrichtete Gebühren | Jahresgebühr | 11.03.2002 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 03 | 10.03.2003 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 04 | 04.03.2004 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 05 | 04.03.2005 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 06 | 06.03.2006 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 07 | 05.03.2007 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 08 | 10.03.2008 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 09 |
| Ausschluss der ausschließlichen Tooltip Zuständigkeit des Einheitlichen Patentgerichts | Zu den entsprechenden Daten siehe das Register des Einheitlichen Patentgerichts | ||
| Die Verantwortung für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der unter dem Link angezeigten Daten liegt allein beim Einheitlichen Patentgericht. | Angeführte Dokumente: | Recherche | [A]US5082517 (MOSLEHI MEHRDAD M [US]) [A] 1,8,13,16,19 * column 7, line 67 - column 8, line 14 *; | [A]US5423942 (ROBBINS ROGER A [US], et al) [A] 1,8,13,16,19 * column 1, line 64 - column 2, line 23 * * column 3, line 3 - line 28 * * column 4, line 3 - line 25 *; | [A]EP0680071 (APPLIED MATERIALS INC [US]) [A] 1,8,13,16,19 * column 6, line 24 - column 7, line 16 ** figure 3 * |