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EP1058156
Europäisches Verfahren
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Auszug aus dem europäischen Patentregister
EP Übersicht: EP1058156
| EP1058156 - Integrierender Wellenleiter zur Verwendung in einem lithographischen Projektionsapparat [Mit Rechtsklick auf diesen Link können Sie ein Bookmark anlegen.] | Status | Anmeldung gilt als zurückgenommen Status aktualisiert am 11.06.2010 Datenbank zuletzt aktualisiert am 07.10.2024 | Letztes Ereignis Tooltip | 11.06.2010 | Anmeldung gilt als zurückgenommen | veröffentlicht am 14.07.2010 [2010/28] | Anmelder | Für alle benannten Staaten ASML Netherlands B.V. De Run 6501 5504 DR Veldhoven / NL | [N/P] |
| Frühere [2004/39] | Für alle benannten Staaten ASML Netherlands B.V. De Run 6501 5504 DR Veldhoven / NL | ||
| Frühere [2002/34] | Für alle benannten Staaten ASML Netherlands B.V. De Run 1110 5503 LA Veldhoven / NL | ||
| Frühere [2000/49] | Für alle benannten Staaten ASM LITHOGRAPHY B.V. De Run 1110 5503 LA Veldhoven / NL | Erfinder | 01 /
Banine, Vadim Yevgenyevich Nierslaan 2 5704 NK Helmond / NL | [2000/49] | Vertreter | Slenders, Petrus Johannes Waltherus, et al ASML Netherlands B.V. Corporate Intellectual Property De Run 6501 P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven / NL | [N/P] |
| Frühere [2009/23] | Slenders, Petrus J. W., et al ASML Netherlands B.V Corporate Intellectual Property P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven / NL | ||
| Frühere [2009/09] | Van den Hooven, Jan, et al ASML Netherlands B.V. Corporate Intellectual Property P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven / NL | ||
| Frühere [2000/49] | Leeming, John Gerard J.A. Kemp & Co., 14 South Square, Gray's Inn London WC1R 5LX / GB | Anmeldenummer, Anmeldetag | 00304664.6 | 01.06.2000 | [2000/49] | Prioritätsnummer, Prioritätstag | EP19990201768 | 04.06.1999 Ursprünglich veröffentlichtes Format: EP 99201768 | [2000/49] | Anmeldesprache | EN | Verfahrenssprache | EN | Veröffentlichung | Art: | A2 Anmeldung ohne Recherchenbericht | Nr.: | EP1058156 | Datum: | 06.12.2000 | Sprache: | EN | [2000/49] | Art: | A3 Recherchenbericht | Nr.: | EP1058156 | Datum: | 25.06.2003 | [2003/26] | Recherchenbericht(e) | (Ergänzender) europäischer Recherchenbericht - versandt am: | EP | 14.05.2003 | Klassifikation | IPC: | G03F7/20 | [2000/49] | CPC: |
B82Y10/00 (EP);
G03F7/70075 (EP);
G03F7/70166 (EP)
| Benannte Vertragsstaaten | DE, FR, GB, IT, NL [2004/12] |
| Frühere [2000/49] | AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, SE | Bezeichnung der Erfindung | Deutsch: | Integrierender Wellenleiter zur Verwendung in einem lithographischen Projektionsapparat | [2000/49] | Englisch: | Integrating waveguide for use in lithographic projection apparatus | [2000/49] | Französisch: | Guide intégrateur d' ondes pour l' utilisation dans un appareil de projection lithographique | [2000/49] | Prüfungsverfahren | 17.12.2003 | Prüfungsantrag gestellt [2004/09] | 18.12.2003 | Änderung durch den Anmelder (Ansprüche und/oder Beschreibung) | 01.03.2004 | Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M04) | 22.06.2004 | Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung | 05.01.2010 | Anmeldung gilt als zurückgenommen, Datum der Rechtswirksamkeit [2010/28] | 17.02.2010 | Absendung der Mitteilung, wonach die Anmeldung als zurückgenommen gilt. Grund: Jahresgebühr nicht fristgerecht entrichtet [2010/28] | Entrichtete Gebühren | Jahresgebühr | 23.05.2002 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 03 | 27.05.2003 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 04 | 01.06.2004 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 05 | 13.06.2005 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 06 | 12.06.2006 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 07 | 14.06.2007 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 08 | 28.03.2008 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 09 | Zuschlagsgebühr | Zuschlagsgebühr zur Jahresgebühr | 30.06.2009 | 10 M06 Noch nicht entrichtet |
| Ausschluss der ausschließlichen Tooltip Zuständigkeit des Einheitlichen Patentgerichts | Zu den entsprechenden Daten siehe das Register des Einheitlichen Patentgerichts | ||
| Die Verantwortung für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der unter dem Link angezeigten Daten liegt allein beim Einheitlichen Patentgericht. | Angeführte Dokumente: | Recherche | [X]US5175755 (KUMAKHOV MURADIN A [SU]) [X] 1-4,6-18 * see parent application published as US 5 192 869 A; column 4, line 61 - line 63 * * column 6, line 10 - line 15 * * column 6, line 28 - line 58 * * figure 7 *; | [A]US5192869 (KUMAKHOV MURADIN A [SU]) [A] 1-4,6-18 * publication of parent application of US 5 175 755 A * * abstract * * column 11, line 49 - line 57 * * column 14, line 45 - line 63 * * column 16, line 36 - line 43 *; | [X]US5276724 (KUMASAKA FUMIAKI [JP], et al) [X] 1-4,6-18 * abstract *; | [X]US5812631 (YAN YIMING [CN], et al) [X] 1-4,6-18 * abstract * * column 9, line 65 - column 10, line 16 * * figure 18 *; | [X]WO9852389 (CYMER INC [US], et al) [X] 1-4,15-18 * abstract * * page 7, line 21 - line 22 *; | [PX]WO9942904 (STICHTING TECH WETENSCHAPP [NL], et al) [PX] 1,2,16-18 * abstract ** page 4, line 32 - page 5, line 3 *; | [X] - "COLLIMATOR FOR X-RAY LITHOGRAPHY", IBM TECHNICAL DISCLOSURE BULLETIN, IBM CORP. NEW YORK, US, (19900901), vol. 33, no. 4, ISSN 0018-8689, pages 278 - 279, XP000106428 [X] 1-4,15-18 * the whole document * |