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EP1286217
Europäisches Verfahren
Auszug aus dem europäischen Patentregister
EP Übersicht: EP1286217
| EP1286217 - Rohling für Phasenschiebermaske, deren Herstellung und Gebrauch [Mit Rechtsklick auf diesen Link können Sie ein Bookmark anlegen.] | Status | Kein Einspruch fristgerecht eingelegt Status aktualisiert am 01.06.2012 Datenbank zuletzt aktualisiert am 14.09.2024 | Letztes Ereignis Tooltip | 01.06.2012 | Kein Einspruch fristgerecht eingelegt | veröffentlicht am 04.07.2012 [2012/27] | Anmelder | Für alle benannten Staaten Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 6-1, Otemachi 2-chome Chiyoda-ku Tokyo / JP | [2011/30] |
| Frühere [2003/09] | Für alle benannten Staaten SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 6-1, Ohtemachi 2-chome Chiyoda-ku Tokyo / JP | Erfinder | 01 /
Kaneko, Hideo c/o New Functional Mat. Research Ctr. Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 28-1 Oaza Nishifukushima, Kubiki-mura Nakakubiki-gun, Niigata-ken / JP | 02 /
Inazuki, Yukio c/o New Functional Mat. Research Ctr. Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 28-1 Oaza Nishifukushima, Kubiki-mura Nakakubiki-gun, Niigata-ken / JP | 03 /
Tsukamoto, Tetsushi c/o New Functional Mat. Research Ctr. Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 28-1 Oaza Nishifukushima, Kubiki-mura Nakakubiki-gun, Niigata-ken / JP | 04 /
Okazaki, Satoshi c/o New Functional Mat. Research Ctr. Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 28-1 Oaza Nishifukushima, Kubiki-mura Nakakubiki-gun, Niigata-ken / JP | [2011/09] |
| Frühere [2011/08] | 01 /
Kaneko, Hideo, c/o Shin-Ezsu Chemical Co., Ltd. 28-1 Oaza Nishikushima, Kubiki-mura Nakakubiki-gun, Niigata-ken / JP | ||
| 02 /
Inazuki, Yukio, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 28-1, Oaza Nishifukushima, Kubiki-mura Nakakubiki-gun, Niigata-ken / JP | |||
| 03 /
Tsukamoto, Tetsuhi, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 28-1, Oaza Nishifukushima, Kubiki-mura Nakakubiki-gun, Niigata-ken / JP | |||
| 04 /
Okazaki, Satoshi, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 28-1, Oaza Nishifukushima, Kubiki-mura Nakakubiki-gun, Niigata-ken / JP | |||
| Frühere [2003/09] | 01 /
Kaneko, Hideo, c/o Shin-Ezsu Chemical Co., Ltd 28-1 Oaza Nishikushima, Kubiki-mura Nakakubiki-gun, Niigata-ken / JP | ||
| 02 /
Inazuki, Yukio, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 28-1, Oaza Nishifukushima, Kubiki-mura Nakakubiki-gun, Niigata-ken / JP | |||
| 03 /
Tsukamoto, Tetsuhi, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 28-1, Oaza Nishifukushima, Kubiki-mura Nakakubiki-gun, Niigata-ken / JP | |||
| 04 /
Okazaki, Satoshi, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd 28-1, Oaza Nishifukushima, Kubiki-mura Nakakubiki-gun, Niigata-ken / JP | Vertreter | Stoner, Gerard Patrick, et al Mewburn Ellis LLP City Tower 40 Basinghall Street London EC2V 5DE / GB | [N/P] |
| Frühere [2003/09] | Stoner, Gerard Patrick, et al MEWBURN ELLIS York House 23 Kingsway London WC2B 6HP / GB | Anmeldenummer, Anmeldetag | 02254507.3 | 26.06.2002 | [2003/09] | Prioritätsnummer, Prioritätstag | JP20010192958 | 26.06.2001 Ursprünglich veröffentlichtes Format: JP 2001192958 | [2003/09] | Anmeldesprache | EN | Verfahrenssprache | EN | Veröffentlichung | Art: | A2 Anmeldung ohne Recherchenbericht | Nr.: | EP1286217 | Datum: | 26.02.2003 | Sprache: | EN | [2003/09] | Art: | A3 Recherchenbericht | Nr.: | EP1286217 | Datum: | 07.05.2003 | [2003/19] | Art: | B1 Patentschrift | Nr.: | EP1286217 | Datum: | 27.07.2011 | Sprache: | EN | [2011/30] | Recherchenbericht(e) | (Ergänzender) europäischer Recherchenbericht - versandt am: | EP | 21.03.2003 | Klassifikation | IPC: | G03F1/00, G03F1/08 | [2003/19] | CPC: |
G03F1/58 (EP,US);
G03F1/30 (KR);
B32B18/00 (EP,US);
C04B35/16 (EP,US);
C04B35/58007 (EP,US);
C04B35/58042 (EP,US);
C04B35/597 (EP,US);
G03F1/26 (KR);
G03F1/32 (EP,US);
C04B2235/9653 (EP,US);
C04B2237/34 (EP,US);
C04B2237/36 (EP,US);
C04B2237/704 (EP,US)
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| Frühere IPC [2003/09] | G03F1/00 | Benannte Vertragsstaaten | DE, FR, GB [2004/05] |
| Frühere [2003/09] | AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, SE, SK, TR | Bezeichnung der Erfindung | Deutsch: | Rohling für Phasenschiebermaske, deren Herstellung und Gebrauch | [2003/09] | Englisch: | Phase shift mask blanks, their manufacture and use | [2003/09] | Französisch: | Précurseur de masque à décalage de phase, sa fabrication et son usage | [2003/09] | Prüfungsverfahren | 16.07.2003 | Prüfungsantrag gestellt [2003/38] | 05.06.2009 | Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M04) | 25.08.2009 | Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung | 02.02.2011 | Ankündigung der Patenterteilung | 27.05.2011 | Erteilungsgebühr entrichtet | 27.05.2011 | Veröffentlichungs-/Druckkostengebühr entrichtet | Teilanmeldung(en) | Das Datum des ersten Bescheids der Prüfungsabteilung zu der frühesten Anmeldung, zu der ein Bescheid ergangen ist , ist 05.06.2009 | Einspruch (Einsprüche) | 02.05.2012 | Kein Einspruch fristgerecht eingelegt [2012/27] | Entrichtete Gebühren | Jahresgebühr | 14.06.2004 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 03 | 14.06.2005 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 04 | 14.06.2006 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 05 | 14.06.2007 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 06 | 28.03.2008 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 07 | 16.06.2009 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 08 | 11.06.2010 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 09 | 13.06.2011 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 10 |
| Ausschluss der ausschließlichen Tooltip Zuständigkeit des Einheitlichen Patentgerichts | Zu den entsprechenden Daten siehe das Register des Einheitlichen Patentgerichts | ||
| Die Verantwortung für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der unter dem Link angezeigten Daten liegt allein beim Einheitlichen Patentgericht. | Angeführte Dokumente: | Recherche | [X]US5514499 (IWAMATSU TAKAYUKI [JP], et al) [X] 1 * claim 1 *; | [X]US5605776 (ISAO AKIHIKO [JP], et al) [X] 1-4,6-8 * claims 2,4,5,16; table 1 *; | [X]US5939227 (SMITH BRUCE W [US]) [X] 1,3 * column 2, line 25 - line 37; figure 1 *; | [X]US6051345 (HUANG CHIEN-CHAO [TW]) [X] 1 * figure 8A *; | [X]WO0120400 (DAINIPPON PRINTING CO LTD [JP], et al) [X] 1* paragraph [0043] *; | [X]KR20010051529 (MITSUBISHI ELECTRIC CORP, et al); | [PX]EP1117000 (SHINETSU CHEMICAL CO [JP]) [PX] 1,3 * claim 2 *; | [PX]DE10055280 (ULVAC COATING CORP [JP]) [PX] 1-4,6-8 * example - *; | [PX]EP1176466 (DAINIPPON PRINTING CO LTD [JP]) [PX] 1; | [E]US2002119378 (ANGELOPOULOS MARIE [US], et al) [E] 1 * claims 1,27 * | vom Anmelder | US5514499 | US5605776 | US5939227 | US6051345 | WO0120400 | KR20010051529 |