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EP1372191
Europäisches Verfahren
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Auszug aus dem europäischen Patentregister
EP Übersicht: EP1372191
| EP1372191 - Verfahren zur Abscheidung einer Struktur auf einem Substrat [Mit Rechtsklick auf diesen Link können Sie ein Bookmark anlegen.] | Status | Anmeldung gilt als zurückgenommen Status aktualisiert am 03.06.2005 Datenbank zuletzt aktualisiert am 14.09.2024 | Letztes Ereignis Tooltip | 03.06.2005 | Anmeldung gilt als zurückgenommen | veröffentlicht am 20.07.2005 [2005/29] | Anmelder | Für alle benannten Staaten Filtronic Compound Semiconductor Limited Heighington Lane Business Park Newton Ayecliffe Co. Durham, DL5 6JW / GB | [N/P] |
| Frühere [2003/51] | Für alle benannten Staaten Filtronic Compound Semiconductor Limited Heighington Lane Business Park Newton Ayecliffe, Co. Durham, DL5 6JW / GB | Erfinder | 01 /
Phillips, Carl Christopher, Filtronic Compound Semiconductors Ltd, Heighington Lane Business Park Newton Aycliffe, Co. Durham DL5 6JW / GB | [2003/51] | Vertreter | McDonough, Jonathan Urquhart-Dykes & Lord LLP Tower North Central Merrion Way Leeds LS2 8PA / GB | [N/P] |
| Frühere [2003/51] | McDonough, Jonathan Urquhart-Dykes & Lord, Tower House, Merrion Way Leeds LS2 8PA / GB | Anmeldenummer, Anmeldetag | 03253753.2 | 12.06.2003 | [2003/51] | Prioritätsnummer, Prioritätstag | GB20020013695 | 14.06.2002 Ursprünglich veröffentlichtes Format: GB 0213695 | [2003/51] | Anmeldesprache | EN | Verfahrenssprache | EN | Veröffentlichung | Art: | A2 Anmeldung ohne Recherchenbericht | Nr.: | EP1372191 | Datum: | 17.12.2003 | Sprache: | EN | [2003/51] | Art: | A3 Recherchenbericht | Nr.: | EP1372191 | Datum: | 07.04.2004 | [2004/15] | Recherchenbericht(e) | (Ergänzender) europäischer Recherchenbericht - versandt am: | EP | 24.02.2004 | Klassifikation | IPC: | H01L21/027, H01L21/308, G03F7/38 | [2004/14] | CPC: |
H01L21/7688 (EP,US);
G03F7/168 (EP,US);
G03F7/38 (EP,US);
H01L21/0272 (EP,US);
H01L21/0274 (EP,US);
H01L21/76838 (EP,US);
G03F7/095 (EP,US);
H01L21/28587 (EP,US);
H05K3/048 (EP,US);
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| Frühere IPC [2003/51] | H01L21/768, H01L21/027 | Benannte Vertragsstaaten | (deleted) [2005/01] |
| Frühere [2003/51] | AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR | Bezeichnung der Erfindung | Deutsch: | Verfahren zur Abscheidung einer Struktur auf einem Substrat | [2003/51] | Englisch: | Method for depositing a device feature on a substrate | [2003/51] | Französisch: | Technique de dépot d'une structure sur un substrat | [2003/51] | Prüfungsverfahren | 08.10.2004 | Anmeldung gilt als zurückgenommen, Datum der Rechtswirksamkeit [2005/29] | 09.02.2005 | Absendung der Mitteilung, wonach die Anmeldung als zurückgenommen gilt. Grund: Prüfungsgebühr nicht fristgerecht entrichtet [2005/29] | Entrichtete Gebühren | Zuschlagsgebühr | Zuschlagsgebühr/Regel 85a EPÜ 1973 | 16.11.2004 | DE M01 Noch nicht entrichtet | 16.11.2004 | FR M01 Noch nicht entrichtet | 16.11.2004 | GB M01 Noch nicht entrichtet | 16.11.2004 | IT M01 Noch nicht entrichtet | Zuschlagsgebühr/Regel 85b EPÜ 1973 | 16.11.2004 | M01 Noch nicht entrichtet |
| Ausschluss der ausschließlichen Tooltip Zuständigkeit des Einheitlichen Patentgerichts | Zu den entsprechenden Daten siehe das Register des Einheitlichen Patentgerichts | ||
| Die Verantwortung für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der unter dem Link angezeigten Daten liegt allein beim Einheitlichen Patentgericht. | Angeführte Dokumente: | Recherche | [X]JPH03235322 ; | [X]JPS57199222 ; | [X]JPH1197328 ; | [A]JPH03119720 ; | [X]US6372414 (REDD RANDY D [US], et al) [X] 1-9 * column 2, line 45 - column 3, line 12 * * column 4, lines 12-28 *; | [X] - REDD ET AL., "Lithographic Process for High-Resolution Metal Lift-Off", PROCEEDINGS OF THE SPIE CONFERENCE ON ADVANCES IN RESIST TECHNOLOGY AND PROCESSING XVI - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING, Santa Clara, California, (19990315), vol. 3678, pages 641 - 651, XP008027240 [X] 1-9 * abstract * * page 641 - page 643 * * figure 1 * DOI: http://dx.doi.org/10.1117/12.350188 | [X] - REDD ET AL., "Revitalization of Single Layer Lift-off For Finer Resolution and Challenging Topography", GAAS MANTECH CONFERENCE - DIGEST OF PAPERS PROCEEDINGS OF 2001 INTERNATIONAL CONFERENCE ON COMPOUND SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY, Las Vegas, (20010521), pages 99 - 101, XP001188108 [X] 1-9 * the whole document * | [X] - ANONYMOUS, "Single Layer Optical Lift Off Process. October 1975.", IBM TECHNICAL DISCLOSURE BULLETIN, New York, US, (19751001), vol. 18, no. 5, page 1395, XP002269032 [X] 1-4,7-9 * the whole document * | [X] - PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, (19920114), vol. 016, no. 014, Database accession no. (E - 1154), & JP03235322 A 19911021 (NEC CORP) [X] 1-4,7-9 * abstract * | [X] - PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, (19830225), vol. 007, no. 049, Database accession no. (E - 161), & JP57199222 A 19821207 (NIPPON DENSHIN DENWA KOSHA) [X] 1,2,4-9 * abstract * | [X] - PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, (19990730), vol. 1999, no. 09, & JP11097328 A 19990409 (TOSHIBA CORP) [X] 1,2,4-9 * abstract * | [A] - ANONYMOUS, "Single Layer Lift-Off Process. September 1979.", IBM TECHNICAL DISCLOSURE BULLETIN, New York, US, (19790901), vol. 22, no. 4, page 1399, XP002269033 [A] 1-9 * the whole document * | [A] - PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, (19910816), vol. 015, no. 323, Database accession no. (E - 1101), & JP03119720 A 19910522 (NIPPON TELEGR & TELEPH CORP) [A] 1-9 * abstract * |