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Auszug aus dem europäischen Patentregister

EP Übersicht: EP2304769

EP2304769 - VERFAHREN ZUR AUTOMATISCHEN MESSUNG UND MELDUNG VON POSITIONSINFORMATIONEN ÜBER OBJEKTE IN EINEM SUBSTRATVERARBEITUNGSSYSTEM MITHILFE VON SENSORTRÄGERN SOWIE ENTSPRECHENDER SENSORTRÄGER [Mit Rechtsklick auf diesen Link können Sie ein Bookmark anlegen.]
StatusKein Einspruch fristgerecht eingelegt
Status aktualisiert am  03.10.2014
Datenbank zuletzt aktualisiert am 14.09.2024
Letztes Ereignis   Tooltip22.06.2018Erlöschen des Patents in einem Vertragsstaat
Neue Staaten: MK		veröffentlicht am 25.07.2018  [2018/30]
AnmelderFür alle benannten Staaten
Aes Motomation GmbH
Nikolaus-Otto-Strasse 8
40670 Meerbusch / DE
[2011/14]
Erfinder01 / HERTGENS, Andreas
Antoniusstrasse 36
41352 Korschenbroich / DE
02 / MUELLER, Torsten
Doulenweg 37
47647 Kerken / DE
03 / WALTNER, Paul
Camesstrasse 4
40670 Meerbusch / DE
 [2012/08]
Frühere [2011/32]01 / HERTGENS, Andreas
Antoniusstrasse 36
41352 Korschenbroich / DE
02 / MUELLER, Torsten
Eyllerstrasse 91a
47647 Kerken / DE
03 / WALTNER, Paul
Camesstrasse 4
40670 Meerbusch / DE
Frühere [2011/14]01 / HERTGENS, Andreas
Antoniusstrasse 36
41352 Korschenbroich / DE
02 / MUELLER, Torsten
Eyllerstrasse 91a
47647 Kerken / DE
03 / WALTNER, Pau
Camesstrasse 4
40670 Meerbusch / DE
VertreterCohausz Hannig Borkowski Wißgott
Patent- und Rechtsanwaltskanzlei
Schumannstrasse 97-99
40237 Düsseldorf / DE
[2013/48]
Frühere [2011/14]COHAUSZ DAWIDOWICZ HANNIG & SOZIEN
Patent- und Rechtsanwaltskanzlei Schumannstraße 97-99
DE-40237 Düsseldorf / DE
Anmeldenummer, Anmeldetag10714188.909.04.2010
[2011/14]
WO2010EP02213
Prioritätsnummer, PrioritätstagDE2009101681109.04.2009         Ursprünglich veröffentlichtes Format: DE102009016811
[2011/14]
AnmeldespracheEN
VerfahrensspracheEN
VeröffentlichungArt: A1 Anmeldung mit Recherchenbericht
Nr.:WO2010115632
Datum:14.10.2010
Sprache:EN
[2010/41]
Art: A1 Anmeldung mit Recherchenbericht 
Nr.:EP2304769
Datum:06.04.2011
Sprache:EN
Die von der WIPO am 14.10.2010 in einer EPA-Amtssprache veröffentlichte Anmeldung tritt an die Stelle der Veröffentlichung der europäischen Patentanmeldung.
[2011/14]
Art: B1 Patentschrift 
Nr.:EP2304769
Datum:27.11.2013
Sprache:EN
[2013/48]
Recherchenbericht(e)Internationaler Recherchenbericht - veröffentlicht am:EP14.10.2010
KlassifikationIPC:H01L21/67, H01L21/68
[2013/28]
CPC:
H01L21/67259 (EP,US); H01L21/67265 (EP,US); H01L21/681 (EP,US);
H01L21/67778 (US); H01L21/68707 (US)
Frühere IPC [2011/14]H01L21/00, H01L21/68
Benannte VertragsstaatenAT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2011/14]
ErstreckungsstaatenALNoch nicht entrichtet
BANoch nicht entrichtet
MENoch nicht entrichtet
RSNoch nicht entrichtet
Bezeichnung der ErfindungDeutsch:VERFAHREN ZUR AUTOMATISCHEN MESSUNG UND MELDUNG VON POSITIONSINFORMATIONEN ÜBER OBJEKTE IN EINEM SUBSTRATVERARBEITUNGSSYSTEM MITHILFE VON SENSORTRÄGERN SOWIE ENTSPRECHENDER SENSORTRÄGER[2011/14]
Englisch:METHOD FOR AUTOMATIC MEASUREMENT AND FOR TEACHING-IN OF LOCATION POSITIONS OF OBJECTS WITHIN A SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM BY MEANS OF SENSOR CARRIERS AND ASSOCIATED SENSOR CARRIER[2011/14]
Französisch:PROCÉDÉ DE MESURE AUTOMATIQUE ET D'APPRENTISSAGE DE POSITIONS DE LOCALISATION D'OBJETS DANS UN SYSTÈME DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT AU MOYEN DE SUPPORTS DE CAPTEURS ET D'UN SUPPORT DE CAPTEUR ASSOCIÉ[2011/14]
Eintritt in die regionale Phase30.12.2010Nationale Grundgebühr entrichtet 
30.12.2010Benennungsgebühr(en) entrichtet 
30.12.2010Prüfungsgebühr entrichtet 
Prüfungsverfahren30.12.2010Prüfungsantrag gestellt  [2011/14]
29.07.2011Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M04)
07.12.2011Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung
12.07.2013Ankündigung der Patenterteilung
15.10.2013Erteilungsgebühr entrichtet
15.10.2013Veröffentlichungs-/Druckkostengebühr entrichtet
Teilanmeldung(en)Das Datum des ersten Bescheids der Prüfungsabteilung zu der frühesten Anmeldung, zu der ein Bescheid ergangen ist , ist  29.07.2011
Einspruch (Einsprüche)28.08.2014Kein Einspruch fristgerecht eingelegt [2014/45]
Entrichtete GebührenJahresgebühr
28.03.2012Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 03
12.04.2013Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 04
Ausschluss der ausschließlichen  Tooltip
Zuständigkeit des Einheitlichen
Patentgerichts		 Zu den entsprechenden Daten siehe das Register des Einheitlichen Patentgerichts
Die Verantwortung für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der unter dem Link angezeigten Daten liegt allein beim Einheitlichen Patentgericht.
Erlöschen während des Einspruchsverfahrens  TooltipHU09.04.2010
BG27.11.2013
CY27.11.2013
CZ27.11.2013
DK27.11.2013
EE27.11.2013
ES27.11.2013
FI27.11.2013
HR27.11.2013
LT27.11.2013
LV27.11.2013
MC27.11.2013
MK27.11.2013
MT27.11.2013
PL27.11.2013
RO27.11.2013
SE27.11.2013
SI27.11.2013
SK27.11.2013
SM27.11.2013
TR27.11.2013
NO27.02.2014
GR28.02.2014
IS27.03.2014
PT27.03.2014
LU09.04.2014
[2018/30]
Frühere [2016/33]HU09.04.2010
BG27.11.2013
CY27.11.2013
CZ27.11.2013
DK27.11.2013
EE27.11.2013
ES27.11.2013
FI27.11.2013
HR27.11.2013
LT27.11.2013
LV27.11.2013
MC27.11.2013
MT27.11.2013
PL27.11.2013
RO27.11.2013
SE27.11.2013
SI27.11.2013
SK27.11.2013
SM27.11.2013
TR27.11.2013
NO27.02.2014
GR28.02.2014
IS27.03.2014
PT27.03.2014
LU09.04.2014
Frühere [2016/32]HU09.04.2010
BG27.11.2013
CY27.11.2013
CZ27.11.2013
DK27.11.2013
EE27.11.2013
ES27.11.2013
FI27.11.2013
HR27.11.2013
LT27.11.2013
LV27.11.2013
MC27.11.2013
MT27.11.2013
PL27.11.2013
RO27.11.2013
SE27.11.2013
SI27.11.2013
SK27.11.2013
SM27.11.2013
NO27.02.2014
GR28.02.2014
IS27.03.2014
PT27.03.2014
LU09.04.2014
Frühere [2016/28]BG27.11.2013
CY27.11.2013
CZ27.11.2013
DK27.11.2013
EE27.11.2013
ES27.11.2013
FI27.11.2013
HR27.11.2013
LT27.11.2013
LV27.11.2013
MC27.11.2013
MT27.11.2013
PL27.11.2013
RO27.11.2013
SE27.11.2013
SI27.11.2013
SK27.11.2013
SM27.11.2013
NO27.02.2014
GR28.02.2014
IS27.03.2014
PT27.03.2014
LU09.04.2014
Frühere [2016/22]CY27.11.2013
CZ27.11.2013
DK27.11.2013
EE27.11.2013
ES27.11.2013
FI27.11.2013
HR27.11.2013
LT27.11.2013
LV27.11.2013
MC27.11.2013
MT27.11.2013
PL27.11.2013
RO27.11.2013
SE27.11.2013
SI27.11.2013
SK27.11.2013
SM27.11.2013
NO27.02.2014
IS27.03.2014
PT27.03.2014
LU09.04.2014
Frühere [2016/16]CY27.11.2013
CZ27.11.2013
DK27.11.2013
EE27.11.2013
ES27.11.2013
FI27.11.2013
HR27.11.2013
LT27.11.2013
LV27.11.2013
MC27.11.2013
MT27.11.2013
PL27.11.2013
RO27.11.2013
SE27.11.2013
SI27.11.2013
SK27.11.2013
NO27.02.2014
IS27.03.2014
PT27.03.2014
LU09.04.2014
Frühere [2015/14]CY27.11.2013
CZ27.11.2013
DK27.11.2013
EE27.11.2013
ES27.11.2013
FI27.11.2013
HR27.11.2013
LT27.11.2013
LV27.11.2013
MC27.11.2013
PL27.11.2013
RO27.11.2013
SE27.11.2013
SI27.11.2013
SK27.11.2013
NO27.02.2014
IS27.03.2014
PT27.03.2014
LU09.04.2014
Frühere [2015/01]CY27.11.2013
CZ27.11.2013
DK27.11.2013
EE27.11.2013
ES27.11.2013
FI27.11.2013
HR27.11.2013
LT27.11.2013
LV27.11.2013
MC27.11.2013
PL27.11.2013
RO27.11.2013
SE27.11.2013
SK27.11.2013
NO27.02.2014
IS27.03.2014
PT27.03.2014
LU09.04.2014
Frühere [2014/52]CY27.11.2013
CZ27.11.2013
DK27.11.2013
EE27.11.2013
ES27.11.2013
FI27.11.2013
HR27.11.2013
LT27.11.2013
LV27.11.2013
MC27.11.2013
PL27.11.2013
RO27.11.2013
SE27.11.2013
SK27.11.2013
NO27.02.2014
IS27.03.2014
PT27.03.2014
Frühere [2014/41]CY27.11.2013
CZ27.11.2013
DK27.11.2013
EE27.11.2013
ES27.11.2013
FI27.11.2013
HR27.11.2013
LT27.11.2013
LV27.11.2013
PL27.11.2013
RO27.11.2013
SE27.11.2013
SK27.11.2013
NO27.02.2014
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Frühere [2014/37]CY27.11.2013
CZ27.11.2013
EE27.11.2013
ES27.11.2013
FI27.11.2013
HR27.11.2013
LT27.11.2013
LV27.11.2013
PL27.11.2013
RO27.11.2013
SE27.11.2013
SK27.11.2013
NO27.02.2014
IS27.03.2014
PT27.03.2014
Frühere [2014/36]CY27.11.2013
EE27.11.2013
ES27.11.2013
FI27.11.2013
HR27.11.2013
LT27.11.2013
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NO27.02.2014
IS27.03.2014
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Frühere [2014/28]CY27.11.2013
ES27.11.2013
FI27.11.2013
HR27.11.2013
LT27.11.2013
LV27.11.2013
SE27.11.2013
NO27.02.2014
IS27.03.2014
PT27.03.2014
Frühere [2014/26]CY27.11.2013
ES27.11.2013
FI27.11.2013
HR27.11.2013
LT27.11.2013
LV27.11.2013
SE27.11.2013
NO27.02.2014
IS27.03.2014
Frühere [2014/25]ES27.11.2013
FI27.11.2013
HR27.11.2013
LT27.11.2013
LV27.11.2013
SE27.11.2013
NO27.02.2014
IS27.03.2014
Frühere [2014/24]ES27.11.2013
FI27.11.2013
HR27.11.2013
LT27.11.2013
SE27.11.2013
NO27.02.2014
IS27.03.2014
Frühere [2014/23]FI27.11.2013
HR27.11.2013
LT27.11.2013
SE27.11.2013
NO27.02.2014
IS27.03.2014
Frühere [2014/22]FI27.11.2013
LT27.11.2013
SE27.11.2013
NO27.02.2014
Frühere [2014/20]LT27.11.2013
NO27.02.2014
Angeführt inInternationale Recherche[Y]US2005034288  (ADACHI MASARU [JP], et al) [Y] 1-25 * paragraph [0047] - paragraph [0068]; figures 8-10 *;
 [YD]WO03067183  (CYBEROPTICS SEMICONDUCTOR INC [US]) [YD] 1-25 * abstract *;
 [A]JP2000232145  (DAINIPPON SCREEN MFG) [A] 1,12 * abstract *;
 [A]JP2005032913  (DAINIPPON SCREEN MFG) [A] 1,12 * abstract *;
 [A]US2007275486  (HIROKI TSUTOMU [JP]) [A] 1,12 * paragraph [0056] - paragraph [0057]; figures 5A,5B *;
 [A]US5981966  (HONMA MANABU [JP]) [A] 1,12 * column 8, line 44 - column 9, line 30; figures 6-9 *
vom AnmelderWO03067183
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