blank Kurzhilfe
blank Wartungsmeldungen

Geplante Wartungsarbeiten

Regelmäßige Unterbrechungen:
zwischen 5.00 und 5.15 Uhr MEZ (Montag bis Sonntag).

Andere Unterbrechungen
Verfügbarkeit

2022.02.11

Mehr...
blank Kurzmeldungen

Kurzmeldungen

Neue Version des Europäischen Patentregisters – Angaben zu ESZ-Verfahren im Einheitspatentregister.

2024-07-24

Mehr...
blank Themenbezogene Links

Notizen zu Neuerungen
Assistent zum Europäischen Patentregister
Handbuch zum Europäischen Patentregister
Europäisches Patentregister – Kurzanleitung
FAQ - Europäisches Patentregister
Vereinigtes Register (Flyer)
Globale Akte (Flyer)
Ereignisse im Register
Datenverfügbarkeit für Deep Links
Inhalt des Vereinigten Registers
Tour Patentinformation
Leitfaden zur fairen Nutzung

Auszug aus dem europäischen Patentregister

EP Übersicht: EP2594992

EP2594992 - Beurteilung der Ätzbedingungen für strukturbildende Folien [Mit Rechtsklick auf diesen Link können Sie ein Bookmark anlegen.]
StatusKein Einspruch fristgerecht eingelegt
Status aktualisiert am  10.02.2017
Datenbank zuletzt aktualisiert am 07.10.2024
Letztes Ereignis   Tooltip12.10.2018Erlöschen des Patents in einem Vertragsstaat
Neue Staaten: AL		veröffentlicht am 14.11.2018  [2018/46]
AnmelderFür alle benannten Staaten
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
6-1, Otemachi 2-chome Chiyoda-ku
Tokyo / JP
[2013/21]
Erfinder01 / Igarashi, Shinichi
c/o New Functional Materials Research Center
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
28-1, Nishi Fukushima
Kubiki-ku
Joetsu-shi, Niigata / JP
02 / Yoshikawa, Hiroki
c/o New Functional Materials Research Center
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
28-1, Nishi Fukushima
Kubiki-ku
Joetsu-shi, Niigata / JP
03 / Inazuki, Yukio
c/o New Functional Materials Research Center
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
28-1, Nishi Fukushima
Kubiki-ku
Joetsu-shi, Niigata / JP
04 / Kaneko, Hideo
c/o New Functional Materials Research Center
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
28-1, Nishi Fukushima
Kubiki-ku
Joetsu-shi, Niigata / JP
 [2013/21]
VertreterTer Meer Steinmeister & Partner
Patentanwälte mbB
Nymphenburger Straße 4
80335 München / DE
[2016/14]
Frühere [2013/21]Ter Meer Steinmeister & Partner
Me/bk
Mauerkircherstrasse 45
81679 München / DE
Anmeldenummer, Anmeldetag12192907.916.11.2012
[2013/21]
Prioritätsnummer, PrioritätstagJP2011025297018.11.2011         Ursprünglich veröffentlichtes Format: JP 2011252970
[2013/21]
AnmeldespracheEN
VerfahrensspracheEN
VeröffentlichungArt: A2 Anmeldung ohne Recherchenbericht 
Nr.:EP2594992
Datum:22.05.2013
Sprache:EN
[2013/21]
Art: A3 Recherchenbericht 
Nr.:EP2594992
Datum:19.11.2014
Sprache:EN
[2014/47]
Art: B1 Patentschrift 
Nr.:EP2594992
Datum:06.04.2016
Sprache:EN
[2016/14]
Recherchenbericht(e)(Ergänzender) europäischer Recherchenbericht - versandt am:EP21.10.2014
KlassifikationIPC:G03F1/00, G03F1/26, G03F1/80, G06F19/00
[2014/47]
CPC:
G03F1/80 (EP,KR,US); H01L21/0274 (KR); G16Z99/00 (EP,KR,US);
G03F1/26 (KR,US); G03F1/44 (KR); H01L22/26 (KR);
H01L22/30 (KR) (-)
Frühere IPC [2013/21]G03F1/00, G03F1/26, G03F1/80
Benannte VertragsstaatenAL,   AT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   RS,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2016/14]
Frühere [2013/21]AL,  AT,  BE,  BG,  CH,  CY,  CZ,  DE,  DK,  EE,  ES,  FI,  FR,  GB,  GR,  HR,  HU,  IE,  IS,  IT,  LI,  LT,  LU,  LV,  MC,  MK,  MT,  NL,  NO,  PL,  PT,  RO,  RS,  SE,  SI,  SK,  SM,  TR 
Bezeichnung der ErfindungDeutsch:Beurteilung der Ätzbedingungen für strukturbildende Folien[2013/21]
Englisch:Evaluation of etching conditions for pattern-forming film[2013/21]
Französisch:Évaluation des conditions de gravure pour film de formation de motif[2013/21]
Prüfungsverfahren28.04.2014Prüfungsantrag gestellt  [2014/24]
29.04.2015Änderung durch den Anmelder (Ansprüche und/oder Beschreibung)
26.10.2015Ankündigung der Patenterteilung
09.02.2016Erteilungsgebühr entrichtet
09.02.2016Veröffentlichungs-/Druckkostengebühr entrichtet
09.02.2016Eingang der Übersetzungen des Patentanspruchs/der Patentansprüche
Teilanmeldung(en)Das Datum des ersten Bescheids der Prüfungsabteilung zu der frühesten Anmeldung, zu der ein Bescheid ergangen ist , ist  26.10.2015
Einspruch (Einsprüche)10.01.2017Kein Einspruch fristgerecht eingelegt [2017/11]
Entrichtete GebührenJahresgebühr
10.11.2014Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 03
10.11.2015Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 04
Ausschluss der ausschließlichen  Tooltip
Zuständigkeit des Einheitlichen
Patentgerichts		 Zu den entsprechenden Daten siehe das Register des Einheitlichen Patentgerichts
Die Verantwortung für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der unter dem Link angezeigten Daten liegt allein beim Einheitlichen Patentgericht.
Erlöschen während des Einspruchsverfahrens  TooltipHU16.11.2012
AL06.04.2016
AT06.04.2016
BE06.04.2016
BG06.04.2016
CY06.04.2016
CZ06.04.2016
DK06.04.2016
EE06.04.2016
ES06.04.2016
FI06.04.2016
HR06.04.2016
LT06.04.2016
LV06.04.2016
MC06.04.2016
MK06.04.2016
NL06.04.2016
PL06.04.2016
RO06.04.2016
RS06.04.2016
SE06.04.2016
SI06.04.2016
SK06.04.2016
SM06.04.2016
TR06.04.2016
NO06.07.2016
GR07.07.2016
IS06.08.2016
PT08.08.2016
GB16.11.2016
IE16.11.2016
MT16.11.2016
CH30.11.2016
LI30.11.2016
LU30.11.2016
[2018/46]
Frühere [2018/43]HU16.11.2012
AT06.04.2016
BE06.04.2016
BG06.04.2016
CY06.04.2016
CZ06.04.2016
DK06.04.2016
EE06.04.2016
ES06.04.2016
FI06.04.2016
HR06.04.2016
LT06.04.2016
LV06.04.2016
MC06.04.2016
MK06.04.2016
NL06.04.2016
PL06.04.2016
RO06.04.2016
RS06.04.2016
SE06.04.2016
SI06.04.2016
SK06.04.2016
SM06.04.2016
TR06.04.2016
NO06.07.2016
GR07.07.2016
IS06.08.2016
PT08.08.2016
GB16.11.2016
IE16.11.2016
MT16.11.2016
CH30.11.2016
LI30.11.2016
LU30.11.2016
Frühere [2018/38]HU16.11.2012
AT06.04.2016
BE06.04.2016
BG06.04.2016
CY06.04.2016
CZ06.04.2016
DK06.04.2016
EE06.04.2016
ES06.04.2016
FI06.04.2016
HR06.04.2016
LT06.04.2016
LV06.04.2016
MC06.04.2016
MK06.04.2016
NL06.04.2016
PL06.04.2016
RO06.04.2016
RS06.04.2016
SE06.04.2016
SI06.04.2016
SK06.04.2016
SM06.04.2016
TR06.04.2016
NO06.07.2016
GR07.07.2016
IS06.08.2016
PT08.08.2016
GB16.11.2016
IE16.11.2016
CH30.11.2016
LI30.11.2016
LU30.11.2016
Frühere [2018/29]HU16.11.2012
AT06.04.2016
BE06.04.2016
CY06.04.2016
CZ06.04.2016
DK06.04.2016
EE06.04.2016
ES06.04.2016
FI06.04.2016
HR06.04.2016
LT06.04.2016
LV06.04.2016
MC06.04.2016
MK06.04.2016
NL06.04.2016
PL06.04.2016
RO06.04.2016
RS06.04.2016
SE06.04.2016
SI06.04.2016
SK06.04.2016
SM06.04.2016
TR06.04.2016
NO06.07.2016
GR07.07.2016
IS06.08.2016
PT08.08.2016
GB16.11.2016
IE16.11.2016
CH30.11.2016
LI30.11.2016
LU30.11.2016
Frühere [2018/28]HU16.11.2012
AT06.04.2016
BE06.04.2016
CY06.04.2016
CZ06.04.2016
DK06.04.2016
EE06.04.2016
ES06.04.2016
FI06.04.2016
HR06.04.2016
LT06.04.2016
LV06.04.2016
MC06.04.2016
MK06.04.2016
NL06.04.2016
PL06.04.2016
RO06.04.2016
RS06.04.2016
SE06.04.2016
SI06.04.2016
SK06.04.2016
SM06.04.2016
NO06.07.2016
GR07.07.2016
IS06.08.2016
PT08.08.2016
GB16.11.2016
IE16.11.2016
CH30.11.2016
LI30.11.2016
LU30.11.2016
Frühere [2017/51]AT06.04.2016
BE06.04.2016
CZ06.04.2016
DK06.04.2016
EE06.04.2016
ES06.04.2016
FI06.04.2016
HR06.04.2016
LT06.04.2016
LV06.04.2016
NL06.04.2016
PL06.04.2016
RO06.04.2016
RS06.04.2016
SE06.04.2016
SI06.04.2016
SK06.04.2016
SM06.04.2016
NO06.07.2016
GR07.07.2016
IS06.08.2016
PT08.08.2016
GB16.11.2016
IE16.11.2016
CH30.11.2016
LI30.11.2016
LU30.11.2016
Frühere [2017/43]AT06.04.2016
BE06.04.2016
CZ06.04.2016
DK06.04.2016
EE06.04.2016
ES06.04.2016
FI06.04.2016
HR06.04.2016
LT06.04.2016
LV06.04.2016
NL06.04.2016
PL06.04.2016
RO06.04.2016
RS06.04.2016
SE06.04.2016
SI06.04.2016
SK06.04.2016
SM06.04.2016
NO06.07.2016
GR07.07.2016
IS06.08.2016
PT08.08.2016
CH30.11.2016
LI30.11.2016
LU30.11.2016
Frühere [2017/37]AT06.04.2016
BE06.04.2016
CZ06.04.2016
DK06.04.2016
EE06.04.2016
ES06.04.2016
FI06.04.2016
HR06.04.2016
LT06.04.2016
LV06.04.2016
NL06.04.2016
PL06.04.2016
RO06.04.2016
RS06.04.2016
SE06.04.2016
SI06.04.2016
SK06.04.2016
SM06.04.2016
NO06.07.2016
GR07.07.2016
IS06.08.2016
PT08.08.2016
CH30.11.2016
LI30.11.2016
Frühere [2017/11]AT06.04.2016
BE06.04.2016
CZ06.04.2016
DK06.04.2016
EE06.04.2016
ES06.04.2016
FI06.04.2016
HR06.04.2016
LT06.04.2016
LV06.04.2016
NL06.04.2016
PL06.04.2016
RO06.04.2016
RS06.04.2016
SE06.04.2016
SK06.04.2016
SM06.04.2016
NO06.07.2016
GR07.07.2016
IS06.08.2016
PT08.08.2016
Frühere [2017/10]AT06.04.2016
BE06.04.2016
CZ06.04.2016
DK06.04.2016
EE06.04.2016
ES06.04.2016
FI06.04.2016
HR06.04.2016
LT06.04.2016
LV06.04.2016
NL06.04.2016
PL06.04.2016
RO06.04.2016
RS06.04.2016
SE06.04.2016
SK06.04.2016
NO06.07.2016
GR07.07.2016
IS06.08.2016
PT08.08.2016
Frühere [2017/09]AT06.04.2016
BE06.04.2016
CZ06.04.2016
DK06.04.2016
EE06.04.2016
ES06.04.2016
FI06.04.2016
HR06.04.2016
LT06.04.2016
LV06.04.2016
NL06.04.2016
PL06.04.2016
RO06.04.2016
RS06.04.2016
SE06.04.2016
NO06.07.2016
GR07.07.2016
IS06.08.2016
PT08.08.2016
Frühere [2017/07]AT06.04.2016
BE06.04.2016
DK06.04.2016
ES06.04.2016
FI06.04.2016
HR06.04.2016
LT06.04.2016
LV06.04.2016
NL06.04.2016
PL06.04.2016
RS06.04.2016
SE06.04.2016
NO06.07.2016
GR07.07.2016
IS06.08.2016
PT08.08.2016
Frühere [2017/03]AT06.04.2016
BE06.04.2016
ES06.04.2016
FI06.04.2016
HR06.04.2016
LT06.04.2016
LV06.04.2016
NL06.04.2016
PL06.04.2016
RS06.04.2016
SE06.04.2016
NO06.07.2016
GR07.07.2016
IS06.08.2016
PT08.08.2016
Frühere [2016/52]AT06.04.2016
ES06.04.2016
FI06.04.2016
HR06.04.2016
LT06.04.2016
LV06.04.2016
NL06.04.2016
PL06.04.2016
RS06.04.2016
SE06.04.2016
NO06.07.2016
GR07.07.2016
IS06.08.2016
PT08.08.2016
Frühere [2016/51]AT06.04.2016
ES06.04.2016
FI06.04.2016
HR06.04.2016
LT06.04.2016
LV06.04.2016
NL06.04.2016
PL06.04.2016
RS06.04.2016
NO06.07.2016
GR07.07.2016
IS06.08.2016
PT08.08.2016
Frühere [2016/50]AT06.04.2016
ES06.04.2016
FI06.04.2016
HR06.04.2016
LT06.04.2016
LV06.04.2016
NL06.04.2016
PL06.04.2016
RS06.04.2016
NO06.07.2016
IS06.08.2016
Frühere [2016/49]FI06.04.2016
LT06.04.2016
NL06.04.2016
PL06.04.2016
NO06.07.2016
IS06.08.2016
Frühere [2016/48]LT06.04.2016
NL06.04.2016
NO06.07.2016
IS06.08.2016
Frühere [2016/46]LT06.04.2016
NL06.04.2016
NO06.07.2016
Frühere [2016/44]NL06.04.2016
Angeführte Dokumente:Recherche[I]EP1650600  (SHINETSU CHEMICAL CO [JP], et al) [I] 1-3 * claims 1, 16, 19, 25 * * figure 6; example 4 * * paragraph [0015] - paragraph [0026] * * paragraph [0031] - paragraph [0032] * * paragraph [0037] - paragraph [0039] * * paragraph [0050] - paragraph [0058] * * paragraph [0094] - paragraph [0100] *;
 [A]US2009253054  (KOMINATO ATSUSHI [JP], et al) [A] 1-3 * the whole document *;
 [A]WO2010147172  (HOYA CORP [JP], et al) [A] 1-3 * the whole document *;
 [AP]US2012100470  (NOZAWA OSAMU [JP], et al) [AP] 1-3* the whole document *
vom AnmelderJP2003195479
 EP1832926
 US2007212619
 JP2007241065
 JP2007241060
Das EPA übernimmt keine Gewähr für die Richtigkeit von Daten, die aus anderen Behörden stammen, und schließt insbesondere jegliche Garantie dafür aus, dass solche Daten vollständig, aktuell oder für bestimmte Zwecke geeignet sind.