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Auszug aus dem europäischen Patentregister

EP Übersicht: EP2764408

EP2764408 - HALTEVORRICHTUNG, LITHOGRAPHIEVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DER HALTEVORRICHTUNG [Mit Rechtsklick auf diesen Link können Sie ein Bookmark anlegen.]
Frühere [2014/33]SPANNFUTTER, LITHOGRAPHIEVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DES SPANNFUTTERS
[2019/19]
StatusKein Einspruch fristgerecht eingelegt
Status aktualisiert am  10.07.2020
Datenbank zuletzt aktualisiert am 04.11.2024
FrüherePatent erteilt
Status aktualisiert am  19.07.2019
FrühereErteilung des Patents vorgesehen
Status aktualisiert am  02.05.2019
FrüherePrüfungsverfahren läuft
Status aktualisiert am  13.07.2018
Letztes Ereignis   Tooltip01.07.2022Erlöschen des Patents in einem Vertragsstaat
Neue Staaten: MK		veröffentlicht am 03.08.2022  [2022/31]
AnmelderFür alle benannten Staaten
ASML Netherlands B.V.
P.O. Box 324
5500 AH Veldhoven / NL
[2014/33]
Erfinder01 / GILISSEN, Noud
Wagenaarhof 6
NL-2692 BK 's-Gravenzande / NL
02 / SIJBEN, Anko
Tijmveld 63B
NL-5467 NA Veghel / NL
03 / CORNELISSEN, Bas
Eimerick 54
NL-5653 RN Eindhoven / NL
04 / NOTENBOOM, Arnoud
De Dauwkade 9
NL-5247 MV Rosmalen / NL
05 / VAN DER WILK, Ronald
Het Groen 23
NL-5511 AC Knegsel / NL
06 / SCHMITZ, Roger, Wilhelmus, Antonius, Henricus
Leeuwenborchweide 26
5709 SC Helmond / NL
07 / WILL, Manon, Elise
Snoekstraat 19
5615 SZ Eindhoven / NL
 [2014/33]
VertreterSlenders, Petrus Johannes Waltherus
ASML Netherlands B.V.
Corporate Intellectual Property
De Run 6501
P.O. Box 324
5500 AH Veldhoven / NL
[N/P]
Frühere [2014/33]Slenders, Petrus J. W.
ASML Netherlands B.V.
Corporate Intellectual Property
P.O. Box 324
5500 AH Veldhoven / NL
Anmeldenummer, Anmeldetag12766409.219.09.2012
[2019/34]
WO2012EP68386
Prioritätsnummer, PrioritätstagUS201161544039P06.10.2011         Ursprünglich veröffentlichtes Format: US 201161544039 P
[2014/33]
AnmeldespracheEN
VerfahrensspracheEN
VeröffentlichungArt: A1 Anmeldung mit Recherchenbericht
Nr.:WO2013050243
Datum:11.04.2013
Sprache:EN
[2013/15]
Art: A1 Anmeldung mit Recherchenbericht 
Nr.:EP2764408
Datum:13.08.2014
Sprache:EN
Die von der WIPO am 11.04.2013 in einer EPA-Amtssprache veröffentlichte Anmeldung tritt an die Stelle der Veröffentlichung der europäischen Patentanmeldung.
[2014/33]
Art: B1 Patentschrift 
Nr.:EP2764408
Datum:21.08.2019
Sprache:EN
[2019/34]
Recherchenbericht(e)Internationaler Recherchenbericht - veröffentlicht am:EP11.04.2013
KlassifikationIPC:G03F7/20
[2014/33]
CPC:
G03F7/70708 (EP,US); G03F7/707 (US); G03F7/70875 (EP,US);
G03F7/70908 (US); G10L15/08 (EP,US); H01L21/6831 (EP,US);
G10L2015/223 (EP,US) (-)
Benannte VertragsstaatenAL,   AT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   RS,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2014/33]
ErstreckungsstaatenBANoch nicht entrichtet
MENoch nicht entrichtet
Bezeichnung der ErfindungDeutsch:HALTEVORRICHTUNG, LITHOGRAPHIEVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DER HALTEVORRICHTUNG[2019/19]
Englisch:CHUCK, LITHOGRAPHY APPARATUS AND METHOD OF USING A CHUCK[2014/33]
Französisch:PORTE-SUBSTRAT, APPAREIL DE LITHOGRAPHIE ET PROCÉDÉ D'UTILISATION D'UN PORTE-SUBSTRAT[2014/33]
Frühere [2014/33]SPANNFUTTER, LITHOGRAPHIEVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DES SPANNFUTTERS
Eintritt in die regionale Phase06.03.2014Nationale Grundgebühr entrichtet 
06.03.2014Benennungsgebühr(en) entrichtet 
06.03.2014Prüfungsgebühr entrichtet 
Prüfungsverfahren06.03.2014Prüfungsantrag gestellt  [2014/33]
25.09.2014Änderung durch den Anmelder (Ansprüche und/oder Beschreibung)
12.07.2018Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M04)
09.11.2018Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung
03.05.2019Ankündigung der Patenterteilung
09.07.2019Erteilungsgebühr entrichtet
09.07.2019Veröffentlichungs-/Druckkostengebühr entrichtet
09.07.2019Eingang der Übersetzungen des Patentanspruchs/der Patentansprüche
Teilanmeldung(en)Das Datum des ersten Bescheids der Prüfungsabteilung zu der frühesten Anmeldung, zu der ein Bescheid ergangen ist , ist  12.07.2018
Einspruch (Einsprüche)03.06.2020Kein Einspruch fristgerecht eingelegt [2020/33]
Entrichtete GebührenJahresgebühr
26.09.2014Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 03
25.09.2015Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 04
22.09.2016Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 05
26.09.2017Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 06
25.09.2018Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 07
Ausschluss der ausschließlichen  Tooltip
Zuständigkeit des Einheitlichen
Patentgerichts		 Zu den entsprechenden Daten siehe das Register des Einheitlichen Patentgerichts
Die Verantwortung für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der unter dem Link angezeigten Daten liegt allein beim Einheitlichen Patentgericht.
Erlöschen während des Einspruchsverfahrens  TooltipHU19.09.2012
AL21.08.2019
AT21.08.2019
CY21.08.2019
CZ21.08.2019
DK21.08.2019
EE21.08.2019
ES21.08.2019
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HR21.08.2019
IT21.08.2019
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MK21.08.2019
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[2022/31]
Frühere [2021/34]HU19.09.2012
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Frühere [2021/33]HU19.09.2012
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