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Auszug aus dem europäischen Patentregister

EP Übersicht: EP2854164

EP2854164 - Substratverarbeitungsvorrichtung und Substratverarbeitungsverfahren [Mit Rechtsklick auf diesen Link können Sie ein Bookmark anlegen.]
Status	Kein Einspruch fristgerecht eingelegt Status aktualisiert am 20.12.2019 Datenbank zuletzt aktualisiert am 17.09.2024
Frühere	Patent erteilt Status aktualisiert am 11.01.2019
Frühere	Erteilung des Patents vorgesehen Status aktualisiert am 11.09.2018
Frühere	Prüfungsverfahren läuft Status aktualisiert am 27.04.2018
Frühere	Erteilung des Patents vorgesehen Status aktualisiert am 15.03.2018
Frühere	Prüfungsverfahren läuft Status aktualisiert am 20.01.2017
Letztes Ereignis Tooltip	01.07.2022	Erlöschen des Patents in einem Vertragsstaat Neue Staaten: MK	veröffentlicht am 03.08.2022 [2022/31]
Anmelder	Für alle benannten Staaten Shibaura Mechatronics Corporation 5-1, Kasama 2-chome Sakae-ku Yokohama-shi Kanagawa / JP
	[2015/14]
Erfinder	01 / Matsushita, Jun c/o Shibaura Mechatronics Corporation 5-1, Kasama 2-chome Sakae-ku, Yokohama-shi Kanagawa / JP
	02 / Nagashima, Yuji c/o Shibaura Mechatronics Corporation 5-1, Kasama 2-chome Sakae-ku, Yokohama-shi Kanagawa / JP
	03 / Hayashi, Konosuke c/o Shibaura Mechatronics Corporation 5-1, Kasama 2-chome Sakae-ku, Yokohama-shi Kanagawa / JP
	04 / Miyazaki, Kunihiro c/o Shibaura Mechatronics Corporation 5-1, Kasama 2-chome Sakae-ku, Yokohama-shi Kanagawa / JP
	[2015/14]
Vertreter	Twelmeier Mommer & Partner Patent- und Rechtsanwälte Westliche Karl-Friedrich-Strasse 56-68 75172 Pforzheim / DE
	[N/P]
Frühere [2015/14]	Twelmeier Mommer & Partner Patent- und Rechtsanwälte Westliche Karl-Friedrich-Strasse 56-68 75172 Pforzheim / DE
Anmeldenummer, Anmeldetag	14187005.5	30.09.2014
	[2015/14]
Prioritätsnummer, Prioritätstag	JP20130205172	30.09.2013 Ursprünglich veröffentlichtes Format: JP 2013205172
	JP20140141828	09.07.2014 Ursprünglich veröffentlichtes Format: JP 2014141828
	[2015/14]
Anmeldesprache	EN
Verfahrenssprache	EN
Veröffentlichung	Art:	A1 Anmeldung mit Recherchenbericht
	Nr.:	EP2854164
	Datum:	01.04.2015
	Sprache:	EN
	[2015/14]
	Art:	B1 Patentschrift
	Nr.:	EP2854164
	Datum:	13.02.2019
	Sprache:	EN
	[2019/07]
Recherchenbericht(e)	(Ergänzender) europäischer Recherchenbericht - versandt am:	EP	16.02.2015
Klassifikation	IPC:	H01L21/67, B08B3/02, B08B3/08	[2018/14]
	CPC:	H01L21/67028 (EP,CN,US); H01L21/02052 (KR); B08B3/08 (US); B08B3/02 (US); H01L21/02307 (KR); H01L21/324 (KR); (+) H01L21/67034 (US); H01L21/6704 (KR); H01L21/67051 (EP,CN,US); H01L21/67098 (KR); H01L21/6715 (KR) (-)
	Frühere IPC [2015/14]	H01L21/67
Benannte Vertragsstaaten	AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR [2015/43]
Frühere [2015/14]	AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR
Bezeichnung der Erfindung	Deutsch:	Substratverarbeitungsvorrichtung und Substratverarbeitungsverfahren	[2015/14]
	Englisch:	Substrate processing device and substrate processing method	[2015/14]
	Französisch:	Dispositif et procédé de traitement de substrats	[2015/14]
Prüfungsverfahren	09.09.2015	Änderung durch den Anmelder (Ansprüche und/oder Beschreibung)
	09.09.2015	Prüfungsantrag gestellt [2015/43]
	20.01.2017	Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M04)
	03.05.2017	Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung
	16.03.2018	Ankündigung der Patenterteilung
	24.04.2018	Nichteinverständnis des Anmelders mit der Mitteilung über die beabsichtigte Erteilung eines Patents oder Wiederaufnahme des Prüfungsverfahrens durch das EPA
	06.06.2018	Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M02)
	16.08.2018	Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung
	12.09.2018	Ankündigung der Patenterteilung
	21.12.2018	Erteilungsgebühr entrichtet
	21.12.2018	Veröffentlichungs-/Druckkostengebühr entrichtet
	21.12.2018	Eingang der Übersetzungen des Patentanspruchs/der Patentansprüche
Einspruch (Einsprüche)	14.11.2019	Kein Einspruch fristgerecht eingelegt [2020/04]
Entrichtete Gebühren	Jahresgebühr
	01.08.2016	Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 03
	30.06.2017	Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 04
	10.07.2018	Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 05
Ausschluss der ausschließlichen Tooltip Zuständigkeit des Einheitlichen Patentgerichts	Zu den entsprechenden Daten siehe das Register des Einheitlichen Patentgerichts
	Die Verantwortung für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der unter dem Link angezeigten Daten liegt allein beim Einheitlichen Patentgericht.
Erlöschen während des Einspruchsverfahrens Tooltip	HU	30.09.2014
	AL	13.02.2019
	CY	13.02.2019
	CZ	13.02.2019
	DK	13.02.2019
	EE	13.02.2019
	ES	13.02.2019
	FI	13.02.2019
	HR	13.02.2019
	IT	13.02.2019
	LT	13.02.2019
	LV	13.02.2019
	MC	13.02.2019
	MK	13.02.2019
	MT	13.02.2019
	NL	13.02.2019
	PL	13.02.2019
	RO	13.02.2019
	RS	13.02.2019
	SE	13.02.2019
	SI	13.02.2019
	SK	13.02.2019
	SM	13.02.2019
	TR	13.02.2019
	BG	13.05.2019
	NO	13.05.2019
	GR	14.05.2019
	IS	13.06.2019
	PT	13.06.2019
	BE	30.09.2019
	CH	30.09.2019
	FR	30.09.2019
	GB	30.09.2019
	IE	30.09.2019
	LI	30.09.2019
	LU	30.09.2019
	[2022/31]
Frühere [2021/34]	HU	30.09.2014
	AL	13.02.2019
	CY	13.02.2019
	CZ	13.02.2019
	DK	13.02.2019
	EE	13.02.2019
	ES	13.02.2019
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	HR	13.02.2019
	IT	13.02.2019
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	MT	13.02.2019
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	NO	13.05.2019
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	FR	30.09.2019
	GB	30.09.2019
	IE	30.09.2019
	LI	30.09.2019
	LU	30.09.2019
Frühere [2021/33]	HU	30.09.2014
	AL	13.02.2019
	CY	13.02.2019
	CZ	13.02.2019
	DK	13.02.2019
	EE	13.02.2019
	ES	13.02.2019
	FI	13.02.2019
	HR	13.02.2019
	IT	13.02.2019
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	RS	13.02.2019
	SE	13.02.2019
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	SK	13.02.2019
	SM	13.02.2019
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	NO	13.05.2019
	GR	14.05.2019
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	GB	30.09.2019
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	LI	30.09.2019
	LU	30.09.2019
Frühere [2021/26]	AL	13.02.2019
	CY	13.02.2019
	CZ	13.02.2019
	DK	13.02.2019
	EE	13.02.2019
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	FI	13.02.2019
	HR	13.02.2019
	IT	13.02.2019
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	MC	13.02.2019
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	RS	13.02.2019
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	NO	13.05.2019
	GR	14.05.2019
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	GB	30.09.2019
	IE	30.09.2019
	LI	30.09.2019
	LU	30.09.2019
Frühere [2020/48]	AL	13.02.2019
	CZ	13.02.2019
	DK	13.02.2019
	EE	13.02.2019
	ES	13.02.2019
	FI	13.02.2019
	HR	13.02.2019
	IT	13.02.2019
	LT	13.02.2019
	LV	13.02.2019
	MC	13.02.2019
	NL	13.02.2019
	PL	13.02.2019
	RO	13.02.2019
	RS	13.02.2019
	SE	13.02.2019
	SI	13.02.2019
	SK	13.02.2019
	SM	13.02.2019
	TR	13.02.2019
	BG	13.05.2019
	NO	13.05.2019
	GR	14.05.2019
	IS	13.06.2019
	PT	13.06.2019
	BE	30.09.2019
	CH	30.09.2019
	FR	30.09.2019
	GB	30.09.2019
	IE	30.09.2019
	LI	30.09.2019
	LU	30.09.2019
Frühere [2020/38]	AL	13.02.2019
	CZ	13.02.2019
	DK	13.02.2019
	EE	13.02.2019
	ES	13.02.2019
	FI	13.02.2019
	HR	13.02.2019
	IT	13.02.2019
	LT	13.02.2019
	LV	13.02.2019
	MC	13.02.2019
	NL	13.02.2019
	PL	13.02.2019
	RO	13.02.2019
	RS	13.02.2019
	SE	13.02.2019
	SI	13.02.2019
	SK	13.02.2019
	SM	13.02.2019
	TR	13.02.2019
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	NO	13.05.2019
	GR	14.05.2019
	IS	13.06.2019
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	IE	30.09.2019
	LI	30.09.2019
	LU	30.09.2019
Frühere [2020/36]	AL	13.02.2019
	CZ	13.02.2019
	DK	13.02.2019
	EE	13.02.2019
	ES	13.02.2019
	FI	13.02.2019
	HR	13.02.2019
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	NL	13.02.2019
	PL	13.02.2019
	RO	13.02.2019
	RS	13.02.2019
	SE	13.02.2019
	SI	13.02.2019
	SK	13.02.2019
	SM	13.02.2019
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	BG	13.05.2019
	NO	13.05.2019
	GR	14.05.2019
	IS	13.06.2019
	PT	13.06.2019
	CH	30.09.2019
	IE	30.09.2019
	LI	30.09.2019
	LU	30.09.2019
Frühere [2020/35]	AL	13.02.2019
	CZ	13.02.2019
	DK	13.02.2019
	EE	13.02.2019
	ES	13.02.2019
	FI	13.02.2019
	HR	13.02.2019
	IT	13.02.2019
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	RO	13.02.2019
	RS	13.02.2019
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	SK	13.02.2019
	SM	13.02.2019
	TR	13.02.2019
	BG	13.05.2019
	NO	13.05.2019
	GR	14.05.2019
	IS	13.06.2019
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	CH	30.09.2019
	LI	30.09.2019
	LU	30.09.2019
Frühere [2020/34]	AL	13.02.2019
	CZ	13.02.2019
	DK	13.02.2019
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	ES	13.02.2019
	FI	13.02.2019
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	SE	13.02.2019
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	NO	13.05.2019
	GR	14.05.2019
	IS	13.06.2019
	PT	13.06.2019
	CH	30.09.2019
	LI	30.09.2019
Frühere [2020/25]	AL	13.02.2019
	CZ	13.02.2019
	DK	13.02.2019
	EE	13.02.2019
	ES	13.02.2019
	FI	13.02.2019
	HR	13.02.2019
	IT	13.02.2019
	LT	13.02.2019
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	MC	13.02.2019
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	PL	13.02.2019
	RO	13.02.2019
	RS	13.02.2019
	SE	13.02.2019
	SI	13.02.2019
	SK	13.02.2019
	SM	13.02.2019
	TR	13.02.2019
	BG	13.05.2019
	NO	13.05.2019
	GR	14.05.2019
	IS	13.06.2019
	PT	13.06.2019
Frühere [2020/17]	AL	13.02.2019
	CZ	13.02.2019
	DK	13.02.2019
	EE	13.02.2019
	ES	13.02.2019
	FI	13.02.2019
	HR	13.02.2019
	IT	13.02.2019
	LT	13.02.2019
	LV	13.02.2019
	NL	13.02.2019
	PL	13.02.2019
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	SE	13.02.2019
	SI	13.02.2019
	SK	13.02.2019
	SM	13.02.2019
	TR	13.02.2019
	BG	13.05.2019
	NO	13.05.2019
	GR	14.05.2019
	IS	13.06.2019
	PT	13.06.2019
Frühere [2020/13]	AL	13.02.2019
	CZ	13.02.2019
	DK	13.02.2019
	EE	13.02.2019
	ES	13.02.2019
	FI	13.02.2019
	HR	13.02.2019
	IT	13.02.2019
	LT	13.02.2019
	LV	13.02.2019
	NL	13.02.2019
	PL	13.02.2019
	RO	13.02.2019
	RS	13.02.2019
	SE	13.02.2019
	SI	13.02.2019
	SK	13.02.2019
	SM	13.02.2019
	BG	13.05.2019
	NO	13.05.2019
	GR	14.05.2019
	IS	13.06.2019
	PT	13.06.2019
Frühere [2019/52]	AL	13.02.2019
	CZ	13.02.2019
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Angeführte Dokumente:	Recherche	[X]US2011143541 (OGAWA YOSHIHIRO [JP], et al) [X] 1-9 * paragraphs [0049] , [0076] , [0087]; figures 1,8 *
	Prüfung	GB2346953
	vom Anmelder	JP2008034779

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