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Auszug aus dem europäischen Patentregister

EP Übersicht: EP2945184

EP2945184 - BELICHTUNGSVORRICHTUNG, BELICHTUNGSVERFAHREN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DER VORRICHTUNG [Mit Rechtsklick auf diesen Link können Sie ein Bookmark anlegen.]
StatusKein Einspruch fristgerecht eingelegt
Status aktualisiert am  04.05.2018
Datenbank zuletzt aktualisiert am 14.09.2024
FrüherePatent erteilt
Status aktualisiert am  26.05.2017
FrühereErteilung des Patents vorgesehen
Status aktualisiert am  24.01.2017
Letztes Ereignis   Tooltip26.06.2020Erlöschen des Patents in einem Vertragsstaat
Neue Staaten: CY		veröffentlicht am 29.07.2020  [2020/31]
AnmelderFür alle benannten Staaten
Nikon Corporation
15-3, Konan 2-chome
Minato-ku
Tokyo 108-6290 / JP
[2015/47]
Erfinder01 / Nagasaka, Hiroyuki
c/o NIKON CORPORATION
2-3, Marunouchi 3-chome
Chiyoda-ku
Tokyo, 100-8331 / JP
02 / Nishii, Yasufumi
c/o NIKON CORPORATION
2-3, Marunouchi 3-chome
Chiyoda-ku
Tokyo, 100-8331 / JP
 [2015/47]
VertreterHoffmann Eitle
Patent- und Rechtsanwälte PartmbB
Arabellastraße 30
81925 München / DE
[2015/47]
Anmeldenummer, Anmeldetag15158780.526.02.2004
[2015/47]
Prioritätsnummer, PrioritätstagJP2003004936526.02.2003         Ursprünglich veröffentlichtes Format: JP 2003049365
JP2003011074815.04.2003         Ursprünglich veröffentlichtes Format: JP 2003110748
JP2003032010011.09.2003         Ursprünglich veröffentlichtes Format: JP 2003320100
[2015/47]
AnmeldespracheEN
VerfahrensspracheEN
VeröffentlichungArt: A2 Anmeldung ohne Recherchenbericht 
Nr.:EP2945184
Datum:18.11.2015
Sprache:EN
[2015/47]
Art: A3 Recherchenbericht 
Nr.:EP2945184
Datum:23.03.2016
Sprache:EN
[2016/12]
Art: B1 Patentschrift 
Nr.:EP2945184
Datum:28.06.2017
Sprache:EN
[2017/26]
Recherchenbericht(e)(Ergänzender) europäischer Recherchenbericht - versandt am:EP24.02.2016
KlassifikationIPC:H01L21/027, G03F7/20
[2015/47]
CPC:
G03F7/70341 (EP,KR,US); G03F7/2041 (KR); G03F7/70733 (US);
G03F7/708 (EP,KR,US); G03F7/7095 (EP,KR,US); H01L21/0273 (KR)
Benannte VertragsstaatenAT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HU,   IE,   IT,   LI,   LU,   MC,   NL,   PT,   RO,   SE,   SI,   SK,   TR [2016/32]
Frühere [2015/47]AT,  BE,  BG,  CH,  CY,  CZ,  DE,  DK,  EE,  ES,  FI,  FR,  GB,  GR,  HU,  IE,  IT,  LI,  LU,  MC,  NL,  PT,  RO,  SE,  SI,  SK,  TR 
Bezeichnung der ErfindungDeutsch:BELICHTUNGSVORRICHTUNG, BELICHTUNGSVERFAHREN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DER VORRICHTUNG[2015/47]
Englisch:EXPOSURE APPARATUS, EXPOSURE METHOD, AND METHOD FOR PRODUCING DEVICE[2017/08]
Französisch:APPAREIL D'EXPOSITION, PROCÉDÉ D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DU DISPOSITIF[2015/47]
Frühere [2015/47]Exposure apparatus, exposure method, and method for producing device
Prüfungsverfahren28.06.2016Änderung durch den Anmelder (Ansprüche und/oder Beschreibung)
30.06.2016Prüfungsantrag gestellt  [2016/32]
25.01.2017Ankündigung der Patenterteilung
12.05.2017Erteilungsgebühr entrichtet
12.05.2017Veröffentlichungs-/Druckkostengebühr entrichtet
12.05.2017Eingang der Übersetzungen des Patentanspruchs/der Patentansprüche
Stammanmeldung(en)   TooltipEP04714910.9  / EP1598855
Einspruch (Einsprüche)29.03.2018Kein Einspruch fristgerecht eingelegt [2018/23]
Entrichtete GebührenJahresgebühr
07.04.2015Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 03
07.04.2015Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 04
07.04.2015Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 05
07.04.2015Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 06
07.04.2015Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 07
07.04.2015Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 08
07.04.2015Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 09
07.04.2015Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 10
07.04.2015Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 11
07.04.2015Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 12
24.02.2016Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 13
10.02.2017Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 14
Ausschluss der ausschließlichen  Tooltip
Zuständigkeit des Einheitlichen
Patentgerichts		 Zu den entsprechenden Daten siehe das Register des Einheitlichen Patentgerichts
Die Verantwortung für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der unter dem Link angezeigten Daten liegt allein beim Einheitlichen Patentgericht.
Erlöschen während des Einspruchsverfahrens  TooltipHU26.02.2004
AT28.06.2017
CY28.06.2017
CZ28.06.2017
DK28.06.2017
EE28.06.2017
ES28.06.2017
FI28.06.2017
IT28.06.2017
MC28.06.2017
PT28.06.2017
RO28.06.2017
SE28.06.2017
SI28.06.2017
SK28.06.2017
TR28.06.2017
BG28.09.2017
GR29.09.2017
GB26.02.2018
LU26.02.2018
BE28.02.2018
CH28.02.2018
FR28.02.2018
LI28.02.2018
[2020/31]
Frühere [2020/30]HU26.02.2004
AT28.06.2017
CZ28.06.2017
DK28.06.2017
EE28.06.2017
ES28.06.2017
FI28.06.2017
IT28.06.2017
MC28.06.2017
PT28.06.2017
RO28.06.2017
SE28.06.2017
SI28.06.2017
SK28.06.2017
TR28.06.2017
BG28.09.2017
GR29.09.2017
GB26.02.2018
LU26.02.2018
BE28.02.2018
CH28.02.2018
FR28.02.2018
LI28.02.2018
Frühere [2020/28]AT28.06.2017
CZ28.06.2017
DK28.06.2017
EE28.06.2017
ES28.06.2017
FI28.06.2017
IT28.06.2017
MC28.06.2017
PT28.06.2017
RO28.06.2017
SE28.06.2017
SI28.06.2017
SK28.06.2017
TR28.06.2017
BG28.09.2017
GR29.09.2017
GB26.02.2018
LU26.02.2018
BE28.02.2018
CH28.02.2018
FR28.02.2018
LI28.02.2018
Frühere [2020/15]AT28.06.2017
CZ28.06.2017
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FI28.06.2017
IT28.06.2017
MC28.06.2017
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TR28.06.2017
BG28.09.2017
GR29.09.2017
GB26.02.2018
LU26.02.2018
BE28.02.2018
CH28.02.2018
FR28.02.2018
LI28.02.2018
Frühere [2019/12]AT28.06.2017
CZ28.06.2017
DK28.06.2017
EE28.06.2017
ES28.06.2017
FI28.06.2017
IT28.06.2017
MC28.06.2017
RO28.06.2017
SE28.06.2017
SI28.06.2017
SK28.06.2017
BG28.09.2017
GR29.09.2017
GB26.02.2018
LU26.02.2018
BE28.02.2018
CH28.02.2018
FR28.02.2018
LI28.02.2018
Frühere [2018/52]AT28.06.2017
CZ28.06.2017
DK28.06.2017
EE28.06.2017
ES28.06.2017
FI28.06.2017
IT28.06.2017
MC28.06.2017
RO28.06.2017
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GR29.09.2017
LU26.02.2018
CH28.02.2018
LI28.02.2018
Frühere [2018/44]AT28.06.2017
CZ28.06.2017
DK28.06.2017
EE28.06.2017
ES28.06.2017
FI28.06.2017
IT28.06.2017
MC28.06.2017
RO28.06.2017
SE28.06.2017
SI28.06.2017
SK28.06.2017
BG28.09.2017
GR29.09.2017
Frühere [2018/40]AT28.06.2017
CZ28.06.2017
DK28.06.2017
EE28.06.2017
ES28.06.2017
FI28.06.2017
IT28.06.2017
RO28.06.2017
SE28.06.2017
SI28.06.2017
SK28.06.2017
BG28.09.2017
GR29.09.2017
Frühere [2018/21]AT28.06.2017
CZ28.06.2017
DK28.06.2017
EE28.06.2017
ES28.06.2017
FI28.06.2017
IT28.06.2017
RO28.06.2017
SE28.06.2017
SK28.06.2017
BG28.09.2017
GR29.09.2017
Frühere [2018/11]AT28.06.2017
CZ28.06.2017
EE28.06.2017
ES28.06.2017
FI28.06.2017
IT28.06.2017
RO28.06.2017
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SK28.06.2017
BG28.09.2017
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Frühere [2018/10]AT28.06.2017
CZ28.06.2017
EE28.06.2017
FI28.06.2017
RO28.06.2017
SE28.06.2017
SK28.06.2017
BG28.09.2017
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Frühere [2018/09]EE28.06.2017
FI28.06.2017
SE28.06.2017
BG28.09.2017
GR29.09.2017
Frühere [2017/50]FI28.06.2017
SE28.06.2017
BG28.09.2017
GR29.09.2017
Angeführte Dokumente:Recherche[AD]WO9949504  (NIKON CORP [JP], et al) [AD] 1-20 * abstract *;
 [A]US2002149754  (AUER FRANK [NL], et al) [A] 1-20 * paragraphs [0013] , [0 81]; figures 6, 7 *;
 [A]US5900354  (BATCHELDER JOHN SAMUEL [US]) [A] 1-20 * column 5, line 40 - column 6, line 30; figure 2 *
vom AnmelderWO9949504
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