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Neue Version des Europäischen Patentregisters – Angaben zu ESZ-Verfahren im Einheitspatentregister.

2024-07-24

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Auszug aus dem europäischen Patentregister

EP Übersicht: EP3899662

EP3899662 - VERFAHREN ZUR STEUERUNG EINES HERSTELLUNGSVERFAHRENS UND ZUGEHÖRIGE VORRICHTUNGEN [Mit Rechtsklick auf diesen Link können Sie ein Bookmark anlegen.]
StatusKein Einspruch fristgerecht eingelegt
Status aktualisiert am  07.04.2023
Datenbank zuletzt aktualisiert am 07.10.2024
FrüherePatent erteilt
Status aktualisiert am  29.04.2022
FrühereErteilung des Patents vorgesehen
Status aktualisiert am  08.03.2022
FrüherePrüfungsantrag gestellt
Status aktualisiert am  24.09.2021
FrühereVeröffentlichung bereits erfolgt
Status aktualisiert am  02.07.2020
Frühereunbekannt
Status aktualisiert am  18.11.2019
Letztes Ereignis   Tooltip27.09.2024Erlöschen des Patents in einem Vertragsstaat
Neue Staaten: MT
veröffentlicht am 30.10.2024 [2024/44]
AnmelderFür alle benannten Staaten
ASML Netherlands B.V.
P.O. Box 324
5500 AH Veldhoven / NL
[2021/43]
Erfinder01 / BRANTJES, Nicolaas Petrus Marcus
P.O. Box 324
5500 AH Veldhoven / NL
02 / COX, Matthijs
P.O. Box 324
5500 AH Veldhoven / NL
03 / MENCHTCHIKOV, Boris
399 West Trimble Road
San Jose, CA 95131 / US
04 / TABERY, Cyrus, Emil
399 West Trimble Road
San Jose, CA 95131 / US
05 / ZHANG, Youping
399 West Trimble Road
San Jose, CA 95131 / US
06 / ZOU, Yi
399 West Trimble Road
San Jose, CA 95131 / US
07 / LIN, Chenxi
399 West Trimble Road
San Jose, CA 95131 / US
08 / CHENG, Yana
399 West Trimble Road
San Jose, CA 95131 / US
09 / HASTINGS, Simon, Philip, Spencer
399 West Trimble Road
San Jose, CA 95131 / US
10 / GENIN, Maxime, Philippe, Frederic
399 West Trimble Road
San Jose, CA 95131 / US
 [2021/43]
VertreterASML Netherlands B.V.
Corporate Intellectual Property
P.O. Box 324
5500 AH Veldhoven / NL
[2021/43]
Anmeldenummer, Anmeldetag19801044.914.11.2019
[2021/43]
WO2019EP81282
Prioritätsnummer, PrioritätstagEP2018021401319.12.2018         Ursprünglich veröffentlichtes Format: EP 18214013
US201962802866P08.02.2019         Ursprünglich veröffentlichtes Format: US 201962802866 P
[2021/43]
AnmeldespracheEN
VerfahrensspracheEN
VeröffentlichungArt: A1 Anmeldung mit Recherchenbericht
Nr.:WO2020126242
Datum:25.06.2020
Sprache:EN
[2020/26]
Art: A1 Anmeldung mit Recherchenbericht 
Nr.:EP3899662
Datum:27.10.2021
Sprache:EN
Die von der WIPO am 25.06.2020 in einer EPA-Amtssprache veröffentlichte Anmeldung tritt an die Stelle der Veröffentlichung der europäischen Patentanmeldung.
[2021/43]
Art: B1 Patentschrift 
Nr.:EP3899662
Datum:01.06.2022
Sprache:EN
[2022/22]
Recherchenbericht(e)Internationaler Recherchenbericht - veröffentlicht am:EP25.06.2020
KlassifikationIPC:G03F7/20, G03F9/00
[2021/43]
CPC:
G03F7/70633 (EP,KR,US); G03F7/70491 (EP,KR,US); G03F7/706837 (KR);
G03F7/706839 (KR); G03F9/7046 (EP,KR,US)
Benannte VertragsstaatenAL,   AT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   RS,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2021/43]
ErstreckungsstaatenBANoch nicht entrichtet
MENoch nicht entrichtet
Validierungsstaat(en)KHNoch nicht entrichtet
MANoch nicht entrichtet
MDNoch nicht entrichtet
TNNoch nicht entrichtet
Bezeichnung der ErfindungDeutsch:VERFAHREN ZUR STEUERUNG EINES HERSTELLUNGSVERFAHRENS UND ZUGEHÖRIGE VORRICHTUNGEN[2021/43]
Englisch:METHOD FOR CONTROLLING A MANUFACTURING PROCESS AND ASSOCIATED APPARATUSES[2021/43]
Französisch:PROCÉDÉ DE COMMANDE D'UN PROCESSUS DE FABRICATION ET APPAREILS ASSOCIÉS[2022/12]
Frühere [2021/43]PROCÉDÉ DE CONTRÔLE D'UN PROCESSUS DE FABRICATION ET APPAREILS ASSOCIÉS
Eintritt in die regionale Phase19.05.2021Nationale Grundgebühr entrichtet 
19.05.2021Benennungsgebühr(en) entrichtet 
19.05.2021Prüfungsgebühr entrichtet 
Prüfungsverfahren19.05.2021Änderung durch den Anmelder (Ansprüche und/oder Beschreibung)
19.05.2021Prüfungsantrag gestellt  [2021/43]
19.05.2021Datum, an dem die Prüfungsabteilung zuständig geworden ist
09.03.2022Ankündigung der Patenterteilung
25.04.2022Erteilungsgebühr entrichtet
25.04.2022Veröffentlichungs-/Druckkostengebühr entrichtet
25.04.2022Eingang der Übersetzungen des Patentanspruchs/der Patentansprüche
Einspruch (Einsprüche)02.03.2023Kein Einspruch fristgerecht eingelegt [2023/19]
Entrichtete GebührenJahresgebühr
25.11.2021Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 03
Ausschluss der ausschließlichen  Tooltip
Zuständigkeit des Einheitlichen
Patentgerichts
Zu den entsprechenden Daten siehe das Register des Einheitlichen Patentgerichts
Die Verantwortung für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der unter dem Link angezeigten Daten liegt allein beim Einheitlichen Patentgericht.
Erlöschen während des Einspruchsverfahrens  TooltipHU14.11.2019
AL01.06.2022
AT01.06.2022
CY01.06.2022
CZ01.06.2022
DK01.06.2022
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ES01.06.2022
FI01.06.2022
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IT01.06.2022
LT01.06.2022
LV01.06.2022
MC01.06.2022
MK01.06.2022
MT01.06.2022
NL01.06.2022
PL01.06.2022
RO01.06.2022
RS01.06.2022
SE01.06.2022
SK01.06.2022
SM01.06.2022
BG01.09.2022
NO01.09.2022
GR02.09.2022
IS01.10.2022
PT03.10.2022
IE14.11.2022
LU14.11.2022
BE30.11.2022
CH30.11.2022
LI30.11.2022
[2024/44]
Frühere [2024/27]HU14.11.2019
AL01.06.2022
AT01.06.2022
CY01.06.2022
CZ01.06.2022
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EE01.06.2022
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HR01.06.2022
IT01.06.2022
LT01.06.2022
LV01.06.2022
MC01.06.2022
MK01.06.2022
NL01.06.2022
PL01.06.2022
RO01.06.2022
RS01.06.2022
SE01.06.2022
SK01.06.2022
SM01.06.2022
BG01.09.2022
NO01.09.2022
GR02.09.2022
IS01.10.2022
PT03.10.2022
IE14.11.2022
LU14.11.2022
BE30.11.2022
CH30.11.2022
LI30.11.2022
Frühere [2024/25]HU14.11.2019
AL01.06.2022
AT01.06.2022
CY01.06.2022
CZ01.06.2022
DK01.06.2022
EE01.06.2022
ES01.06.2022
FI01.06.2022
HR01.06.2022
IT01.06.2022
LT01.06.2022
LV01.06.2022
MC01.06.2022
NL01.06.2022
PL01.06.2022
RO01.06.2022
RS01.06.2022
SE01.06.2022
SK01.06.2022
SM01.06.2022
BG01.09.2022
NO01.09.2022
GR02.09.2022
IS01.10.2022
PT03.10.2022
IE14.11.2022
LU14.11.2022
BE30.11.2022
CH30.11.2022
LI30.11.2022
Frühere [2024/21]AL01.06.2022
AT01.06.2022
CY01.06.2022
CZ01.06.2022
DK01.06.2022
EE01.06.2022
ES01.06.2022
FI01.06.2022
HR01.06.2022
IT01.06.2022
LT01.06.2022
LV01.06.2022
MC01.06.2022
NL01.06.2022
PL01.06.2022
RO01.06.2022
RS01.06.2022
SE01.06.2022
SK01.06.2022
SM01.06.2022
BG01.09.2022
NO01.09.2022
GR02.09.2022
IS01.10.2022
PT03.10.2022
IE14.11.2022
LU14.11.2022
BE30.11.2022
CH30.11.2022
LI30.11.2022
Frühere [2024/11]AL01.06.2022
AT01.06.2022
CZ01.06.2022
DK01.06.2022
EE01.06.2022
ES01.06.2022
FI01.06.2022
HR01.06.2022
IT01.06.2022
LT01.06.2022
LV01.06.2022
MC01.06.2022
NL01.06.2022
PL01.06.2022
RO01.06.2022
RS01.06.2022
SE01.06.2022
SK01.06.2022
SM01.06.2022
BG01.09.2022
NO01.09.2022
GR02.09.2022
IS01.10.2022
PT03.10.2022
IE14.11.2022
LU14.11.2022
BE30.11.2022
CH30.11.2022
LI30.11.2022
Frühere [2023/49]AL01.06.2022
AT01.06.2022
CZ01.06.2022
DK01.06.2022
EE01.06.2022
ES01.06.2022
FI01.06.2022
HR01.06.2022
LT01.06.2022
LV01.06.2022
MC01.06.2022
NL01.06.2022
PL01.06.2022
RO01.06.2022
RS01.06.2022
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SM01.06.2022
BG01.09.2022
NO01.09.2022
GR02.09.2022
IS01.10.2022
PT03.10.2022
IE14.11.2022
LU14.11.2022
BE30.11.2022
CH30.11.2022
LI30.11.2022
Frühere [2023/48]AL01.06.2022
AT01.06.2022
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DK01.06.2022
EE01.06.2022
ES01.06.2022
FI01.06.2022
HR01.06.2022
LT01.06.2022
LV01.06.2022
MC01.06.2022
NL01.06.2022
PL01.06.2022
RO01.06.2022
RS01.06.2022
SE01.06.2022
SK01.06.2022
SM01.06.2022
BG01.09.2022
NO01.09.2022
GR02.09.2022
IS01.10.2022
PT03.10.2022
IE14.11.2022
LU14.11.2022
CH30.11.2022
LI30.11.2022
Frühere [2023/37]AL01.06.2022
AT01.06.2022
CZ01.06.2022
DK01.06.2022
EE01.06.2022
ES01.06.2022
FI01.06.2022
HR01.06.2022
LT01.06.2022
LV01.06.2022
MC01.06.2022
NL01.06.2022
PL01.06.2022
RO01.06.2022
RS01.06.2022
SE01.06.2022
SK01.06.2022
SM01.06.2022
BG01.09.2022
NO01.09.2022
GR02.09.2022
IS01.10.2022
PT03.10.2022
LU14.11.2022
CH30.11.2022
LI30.11.2022
Frühere [2023/35]AL01.06.2022
AT01.06.2022
CZ01.06.2022
DK01.06.2022
EE01.06.2022
ES01.06.2022
FI01.06.2022
HR01.06.2022
LT01.06.2022
LV01.06.2022
MC01.06.2022
NL01.06.2022
PL01.06.2022
RO01.06.2022
RS01.06.2022
SE01.06.2022
SK01.06.2022
SM01.06.2022
BG01.09.2022
NO01.09.2022
GR02.09.2022
IS01.10.2022
PT03.10.2022
CH30.11.2022
LI30.11.2022
Frühere [2023/31]AL01.06.2022
AT01.06.2022
CZ01.06.2022
DK01.06.2022
EE01.06.2022
ES01.06.2022
FI01.06.2022
HR01.06.2022
LT01.06.2022
LV01.06.2022
MC01.06.2022
NL01.06.2022
PL01.06.2022
RO01.06.2022
RS01.06.2022
SE01.06.2022
SK01.06.2022
SM01.06.2022
BG01.09.2022
NO01.09.2022
GR02.09.2022
IS01.10.2022
PT03.10.2022
Frühere [2023/21]AL01.06.2022
AT01.06.2022
CZ01.06.2022
DK01.06.2022
EE01.06.2022
ES01.06.2022
FI01.06.2022
HR01.06.2022
LT01.06.2022
LV01.06.2022
NL01.06.2022
PL01.06.2022
RO01.06.2022
RS01.06.2022
SE01.06.2022
SK01.06.2022
SM01.06.2022
BG01.09.2022
NO01.09.2022
GR02.09.2022
IS01.10.2022
PT03.10.2022
Frühere [2023/17]AL01.06.2022
AT01.06.2022
CZ01.06.2022
EE01.06.2022
ES01.06.2022
FI01.06.2022
HR01.06.2022
LT01.06.2022
LV01.06.2022
NL01.06.2022
PL01.06.2022
RO01.06.2022
RS01.06.2022
SE01.06.2022
SK01.06.2022
SM01.06.2022
BG01.09.2022
NO01.09.2022
GR02.09.2022
IS01.10.2022
PT03.10.2022
Frühere [2023/12]AT01.06.2022
CZ01.06.2022
EE01.06.2022
ES01.06.2022
FI01.06.2022
HR01.06.2022
LT01.06.2022
LV01.06.2022
NL01.06.2022
PL01.06.2022
RO01.06.2022
RS01.06.2022
SE01.06.2022
SK01.06.2022
SM01.06.2022
BG01.09.2022
NO01.09.2022
GR02.09.2022
IS01.10.2022
PT03.10.2022
Frühere [2023/09]AT01.06.2022
CZ01.06.2022
EE01.06.2022
ES01.06.2022
FI01.06.2022
HR01.06.2022
LT01.06.2022
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SK01.06.2022
SM01.06.2022
BG01.09.2022
NO01.09.2022
GR02.09.2022
PT03.10.2022
Frühere [2023/08]AT01.06.2022
ES01.06.2022
FI01.06.2022
HR01.06.2022
LT01.06.2022
LV01.06.2022
NL01.06.2022
PL01.06.2022
RS01.06.2022
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BG01.09.2022
NO01.09.2022
GR02.09.2022
Frühere [2023/07]AT01.06.2022
FI01.06.2022
HR01.06.2022
LT01.06.2022
LV01.06.2022
NL01.06.2022
PL01.06.2022
RS01.06.2022
SE01.06.2022
BG01.09.2022
NO01.09.2022
GR02.09.2022
Frühere [2023/02]FI01.06.2022
HR01.06.2022
LT01.06.2022
LV01.06.2022
NL01.06.2022
PL01.06.2022
RS01.06.2022
SE01.06.2022
BG01.09.2022
NO01.09.2022
GR02.09.2022
Frühere [2022/50]FI01.06.2022
HR01.06.2022
LT01.06.2022
LV01.06.2022
PL01.06.2022
RS01.06.2022
SE01.06.2022
BG01.09.2022
NO01.09.2022
GR02.09.2022
Frühere [2022/49]FI01.06.2022
HR01.06.2022
LT01.06.2022
LV01.06.2022
SE01.06.2022
BG01.09.2022
NO01.09.2022
GR02.09.2022
Frühere [2022/47]FI01.06.2022
LT01.06.2022
SE01.06.2022
NO01.09.2022
Angeführt inInternationale Recherche[A]US2013035888  (KANDEL DANIEL [IL], et al);
 [A]WO2018072980  (ASML NETHERLANDS BV [NL]);
vom AnmelderUS6952253
 WO2017060080
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