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Auszug aus dem europäischen Patentregister

EP Übersicht: EP3878804

EP3878804 - MEMS-WANDLER ZUM INTERAGIEREN MIT EINEM VOLUMENSTROM EINES FLUIDS UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DESSELBEN [Mit Rechtsklick auf diesen Link können Sie ein Bookmark anlegen.]
Status	Prüfungsantrag gestellt Status aktualisiert am 11.03.2022 Datenbank zuletzt aktualisiert am 17.09.2024
Frühere	Anmeldung veröffentlicht Status aktualisiert am 13.08.2021
Letztes Ereignis Tooltip	01.06.2024	Neuer Eintrag: Jahresgebühr entrichtet
Anmelder	Für alle benannten Staaten Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Hansastr. 27c 80686 München / DE
	[2022/16]
Frühere [2021/37]	Für alle benannten Staaten FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Hansastraße 27c 80686 München / DE
Erfinder	01 / SCHENK, Harald c/o Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS, Maria-Reiche-Str. 2 01109 Dresden / DE
	02 / CONRAD, Holger c/o Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS, Maria-Reiche-Str. 2 01109 Dresden / DE
	03 / GAUDET, Matthieu c/o Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS, Maria-Reiche-Str. 2 01109 Dresden / DE
	04 / SCHIMMANZ, Klaus c/o Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS, Maria-Reiche-Str. 2 01109 Dresden / DE
	05 / LANGA, Sergiu c/o Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS, Maria-Reiche-Str. 2 01109 Dresden / DE
	06 / KAISER, Bert c/o Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS, Maria-Reiche-Str. 2 01109 Dresden / DE
	[2021/37]
Vertreter	König, Andreas Rudolf, et al Schoppe, Zimmermann, Stöckeler Zinkler, Schenk & Partner mbB Patentanwälte Radlkoferstraße 2 81373 München / DE
	[2021/37]
Anmeldenummer, Anmeldetag	21168756.1	14.06.2016
	[2021/37]
Prioritätsnummer, Prioritätstag	DE201510210919	15.06.2015 Ursprünglich veröffentlichtes Format: DE102015210919
	[2021/37]
Anmeldesprache	DE
Verfahrenssprache	DE
Veröffentlichung	Art:	A1 Anmeldung mit Recherchenbericht
	Nr.:	EP3878804
	Datum:	15.09.2021
	Sprache:	DE
	[2021/37]
Recherchenbericht(e)	(Ergänzender) europäischer Recherchenbericht - versandt am:	EP	11.08.2021
Klassifikation	IPC:	B81C1/00, H04R9/02, H04R15/00, H04R17/00, H04R19/00, H04R23/00, B81B3/00	[2021/37]
	CPC:	B81C1/00182 (EP); H04R19/005 (EP,KR,US); B81B3/0021 (EP,US); B81C1/00142 (US); B81C1/0015 (US); B81C1/00158 (KR,US); (+) H04R15/00 (EP,US); H04R17/00 (EP,US); H04R23/002 (EP,US); H04R9/02 (EP,US); B81B2201/0257 (EP,KR,US); B81B2201/032 (EP); B81B2201/036 (US); B81B2201/054 (EP); B81B2203/0109 (US); B81B2203/0118 (US); B81B2203/0127 (US); B81B2203/0136 (US); B81B2203/0172 (EP); B81B2203/019 (US); B81B2203/051 (EP,KR,US); H04R1/023 (EP,US); H04R1/08 (EP,US); H04R2201/003 (EP,KR,US); H04R2499/11 (EP,US) (-)
Benannte Vertragsstaaten	AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR [2022/15]
Frühere [2021/37]	AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR
Validierungsstaat(en)	MA	Noch nicht entrichtet
	MD	Noch nicht entrichtet
Bezeichnung der Erfindung	Deutsch:	MEMS-WANDLER ZUM INTERAGIEREN MIT EINEM VOLUMENSTROM EINES FLUIDS UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DESSELBEN	[2021/37]
	Englisch:	MEMS TRANSDUCER FOR INTERACTING WITH A VOLUME FLOW OF A FLUID AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME	[2021/37]
	Französisch:	CONVERTISSEUR MEMS PERMETTANT D'INTERAGIR AVEC UN DÉBIT VOLUMIQUE D'UN FLUIDE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION	[2021/37]
Prüfungsverfahren	08.03.2022	Änderung durch den Anmelder (Ansprüche und/oder Beschreibung)
	08.03.2022	Prüfungsantrag gestellt [2022/15]
	08.03.2022	Datum, an dem die Prüfungsabteilung zuständig geworden ist
Stammanmeldung(en) Tooltip	EP16729884.3 / EP3308555
Entrichtete Gebühren	Jahresgebühr
	16.04.2021	Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 03
	16.04.2021	Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 04
	16.04.2021	Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 05
	16.04.2021	Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 06
	31.03.2022	Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 07
	31.03.2023	Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 08
	31.05.2024	Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 09
Ausschluss der ausschließlichen Tooltip Zuständigkeit des Einheitlichen Patentgerichts	Zu den entsprechenden Daten siehe das Register des Einheitlichen Patentgerichts
	Die Verantwortung für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der unter dem Link angezeigten Daten liegt allein beim Einheitlichen Patentgericht.
Angeführte Dokumente:	Recherche	[A]US2012018244 (ROBERT PHILIPPE [FR]) [A] 1-15 * figures 2A-2C, 6 * * paragraph [0076] - paragraph [0157] *;
		[A]WO03056691 (ABB RESEARCH LTD [CH], et al) [A] 1-15 * figures 1-4 * * page 5, line 9 - page 6, line 30 *;
		[A]DE102012223605 (BOSCH GMBH ROBERT [DE]) [A] 1-15 * figures 1a, 1b,3a, 3b * * paragraphs [0025] , [0 26] , [0 30] *;
		[A]US2007190680 (FUKUDA HIROSHI [GB], et al) [A] 1 * figure 1A * * paragraphs [0031] , [0 32] *;
		[A]WO2011158708 (MURATA MANUFACTURING CO [JP], et al) [A] 1 * figures Fig. 3A-3C *
	vom Anmelder	US7803281
		EP2264058
		- "Bi-directional Electrostatic Microspeaker with Two Large-Deflection Flexible Membranes Actuated by Single/Dual Electrodes", ROBERTS, ROBERT C. et al., Sensors, IEEE, (20050000), vol. 2005, pages 284 - 287
		- REHDER, J.ROMBACH, P.HANSEN, O., "Magnetic flux generator for balanced membrane loudspeaker", Sensors and Actuators A: Physical, (20020000), vol. 97, no. 8, doi:10.1016/S0924-4247(01)00828-7, pages 61 - 67, XP004361583 DOI: http://dx.doi.org/10.1016/S0924-4247(01)00828-7
		- "A novel micromachined loudspeaker topology", NERI, F.DI FAZIO, F.CRESCENZI, R.BALUCANI, M., 61 st Conf. on Electronic Components and Technology, IEEE, (20110000), vol. 2011, pages 1221 - 1227
		- "CMOS-MEMS Acoustic Devices", NEUMANN, J. J.GABRIEL, K. J. et al., Advanced Micro and Nanosystems, Wiley-VCH Verlag, (20050000), vol. 2
		- SCHENK, H. et al., "A resonantly excited 2D-micro-scanning-mirror with large deflection", Sensors and Actuators A, (20010000), vol. 89, doi:10.1016/S0924-4247(00)00529-X, pages 104 - 111, XP004317252 DOI: http://dx.doi.org/10.1016/S0924-4247(00)00529-X
		- ROSA, M. A. et al., "A novel external electrode configuration for the electrostatic actuation of MEMS based devices", J. Micromech. Microeng., (20040000), doi:10.1088/0960-1317/14/4/003, pages 446 - 451, XP020069645 DOI: http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/14/4/003
		- KUMAR, V.SHARMA, N. N., "Design and Validation of Silicon-on-Insulator Based U Shaped thermal Microactuator", Int. J. Materials, Mechanics and Manufacturing, (20140000), vol. 2, no. 1, pages 86 - 91
		- CHENG, MING-CHENG et al., "A lilicon microspeaker for hearing instruments", J. Micromech. Microeng., (20040000), vol. 14, doi:10.1088/0960-1317/14/7/004, pages 859 - 866, XP020069702 DOI: http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/14/7/004

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