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EP0148470
Europäisches Verfahren
Auszug aus dem europäischen Patentregister
EP Übersicht: EP0148470
| EP0148470 - Planar-Magnetron-Kathodenzerstaubung mit veränderter Feldgestaltung [Mit Rechtsklick auf diesen Link können Sie ein Bookmark anlegen.] | Status | Kein Einspruch fristgerecht eingelegt Status aktualisiert am 09.01.1992 Datenbank zuletzt aktualisiert am 14.09.2024 | Letztes Ereignis Tooltip | 15.08.2008 | Änderung - Vertreter | veröffentlicht am 17.09.2008 [2008/38] | Anmelder | Für alle benannten Staaten Hitachi, Ltd. 6, Kanda Surugadai 4-chome Chiyoda-ku Tokyo / JP | [N/P] |
| Frühere [1985/29] | Für alle benannten Staaten HITACHI, LTD. 6, Kanda Surugadai 4-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100 / JP | Erfinder | 01 /
Kobayashi, Shigeru 31-3, Hanegi-1-chome Setagaya-ku Tokyo / JP | 02 /
Abe, Katsuo 2-12, Take-5-chome Yokosuka-shi / JP | 03 /
Sakata, Masao Fujimiryo, 1545, Yoshidacho Totsuka-ku Yokohama / JP | 04 /
Kasahara, Osamu 8-9, Higashikoigakubo-3-chome Kokubunji-shi / JP | 05 /
Ogishi, Hidetsugu 1018-16, Inumecho Hachioji-shi / JP | [1985/29] | Vertreter | Beetz & Partner mbB Patentanwälte Prinzregentenstraße 54 80538 München / DE | [N/P] |
| Frühere [2008/38] | Beetz & Partner Patentanwälte Steinsdorfstrasse 10 80538 München / DE | ||
| Frühere [1985/29] | Patentanwälte Beetz - Timpe - Siegfried Schmitt-Fumian - Mayr Steinsdorfstrasse 10 D-80538 München / DE | Anmeldenummer, Anmeldetag | 84115772.0 | 19.12.1984 | [1985/29] | Prioritätsnummer, Prioritätstag | JP19830239884 | 21.12.1983 Ursprünglich veröffentlichtes Format: JP 23988483 | JP19830243843 | 26.12.1983 Ursprünglich veröffentlichtes Format: JP 24384383 | JP19830243844 | 26.12.1983 Ursprünglich veröffentlichtes Format: JP 24384483 | [1985/29] | Anmeldesprache | EN | Verfahrenssprache | EN | Veröffentlichung | Art: | A2 Anmeldung ohne Recherchenbericht | Nr.: | EP0148470 | Datum: | 17.07.1985 | Sprache: | EN | [1985/29] | Art: | A3 Recherchenbericht | Nr.: | EP0148470 | Datum: | 16.07.1986 | Sprache: | EN | [1986/29] | Art: | B1 Patentschrift | Nr.: | EP0148470 | Datum: | 02.08.1989 | Sprache: | EN | [1989/31] | Recherchenbericht(e) | (Ergänzender) europäischer Recherchenbericht - versandt am: | EP | 29.05.1986 | Klassifikation | IPC: | H01J37/34 | [1985/29] | CPC: |
H01J37/3429 (EP,US);
C23C14/34 (KR);
H01J37/3408 (EP,US);
H01J37/3458 (EP,US)
| Benannte Vertragsstaaten | DE, FR, GB [1985/29] | Bezeichnung der Erfindung | Deutsch: | Planar-Magnetron-Kathodenzerstaubung mit veränderter Feldgestaltung | [1985/29] | Englisch: | Planar magnetron sputtering with modified field configuration | [1985/29] | Französisch: | Pulvérisation cathodique à magnétron planaire à configuration de champ modifiée | [1985/29] | Prüfungsverfahren | 21.07.1986 | Prüfungsantrag gestellt [1986/38] | 22.01.1988 | Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M06) | 26.07.1988 | Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung | 31.10.1988 | Absendung der Ankündigung der Erteilung (Einverständnis: Ja) | 27.01.1989 | Ankündigung der Patenterteilung | 03.03.1989 | Erteilungsgebühr entrichtet | 03.03.1989 | Veröffentlichungs-/Druckkostengebühr entrichtet | Einspruch (Einsprüche) | 03.05.1990 | Kein Einspruch fristgerecht eingelegt [1992/09] | Entrichtete Gebühren | Jahresgebühr | 18.12.1986 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 03 | 17.12.1987 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 04 | 27.12.1988 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 05 |
| Ausschluss der ausschließlichen Tooltip Zuständigkeit des Einheitlichen Patentgerichts | Zu den entsprechenden Daten siehe das Register des Einheitlichen Patentgerichts | ||
| Die Verantwortung für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der unter dem Link angezeigten Daten liegt allein beim Einheitlichen Patentgericht. | Angeführte Dokumente: | Recherche | [AD]EP0070574 (HITACHI LTD [JP]); | [A]US4391697 (MORRISON JR CHARLES F) | Prüfung | US4265729 | EP0081176 |