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EP0406434
Europäisches Verfahren
Auszug aus dem europäischen Patentregister
EP Übersicht: EP0406434
| EP0406434 - TROCKENÄTZVERFAHREN [Mit Rechtsklick auf diesen Link können Sie ein Bookmark anlegen.] | Status | Kein Einspruch fristgerecht eingelegt Status aktualisiert am 23.05.1997 Datenbank zuletzt aktualisiert am 04.11.2024 | Letztes Ereignis Tooltip | 23.05.1997 | Kein Einspruch fristgerecht eingelegt | veröffentlicht am 09.07.1997 [1997/28] | Anmelder | Für alle benannten Staaten KABUSHIKI KAISHA SHIBAURA SEISAKUSHO 1-12, Akasaka 1-Chome Minato-Ku Tokio-To / JP | [N/P] |
| Frühere [1994/07] | Für alle benannten Staaten KABUSHIKI KAISHA SHIBAURA SEISAKUSHO 1-12, Akasaka 1-Chome Minato-Ku Tokio-To / JP | ||
| Frühere [1991/02] | Für alle benannten Staaten KABUSHIKI KAISHA TOKUDA SEISAKUSHO 25-22, Sagamigaoka 6-chome Zama-shi Kanagawa 228 / JP | Erfinder | 01 /
NONAKA, Mikio, Kabushiki Kaiha Tokuda Seisakusho 25-22, Sagamigaoka 6-chome Zama-shi, Kanagawa 228 / JP | 02 /
HARA, Hiroyuki, Kabushiki Kaisha Tokuda Seisakusho 25-22, Sagamigaoka 6-chome Zama-shi, Kanagawa 228 / JP | [1991/14] |
| Frühere [1991/02] | 01 /
NONAKA, Mikio Kabushiki Kaisha Tokuda Seisakusho 25-22, Sagamigaoka 6-chome Zama-shi Kanagawa 228 / JP | ||
| 02 /
HARA, Hiroyuki Kabushiki Kaisha Tokuda Seisakusho 25-22, Sagamigaoka 6-chome Zama-shi Kanagawa 228 / JP | Vertreter | Liesegang, Roland, et al Boehmert & Boehmert Anwaltspartnerschaft mbB Pettenkoferstrasse 22 80336 München / DE | [N/P] |
| Frühere [1994/07] | Liesegang, Roland, Dr.-Ing., et al FORRESTER & BOEHMERT Franz-Joseph-Strasse 38 D-80801 München / DE | ||
| Frühere [1991/02] | Münzhuber, Robert, Dipl.-Phys. c/o BOEHMERT & BOEHMERT Rumfordstrasse 10 D-8000 München 5 / DE | Anmeldenummer, Anmeldetag | 89912656.9 | 17.11.1989 | [1991/02] | WO1989JP01174 | Prioritätsnummer, Prioritätstag | JP19880291736 | 18.11.1988 Ursprünglich veröffentlichtes Format: JP 29173688 | JP19890002461 | 09.01.1989 Ursprünglich veröffentlichtes Format: JP 246189 | JP19890135189 | 29.05.1989 Ursprünglich veröffentlichtes Format: JP 13518989 | [1991/14] |
| Frühere [1991/02] | JP19880291736 | 18.11.1988 | Anmeldesprache | JA | Verfahrenssprache | EN | Veröffentlichung | Art: | A1 Anmeldung mit Recherchenbericht | Nr.: | WO9005994 | Datum: | 31.05.1990 | Sprache: | EN | [1990/12] | Art: | A1 Anmeldung mit Recherchenbericht | Nr.: | EP0406434 | Datum: | 09.01.1991 | Sprache: | EN | Die von der WIPO am 31.05.1990 in einer EPA-Amtssprache veröffentlichte Anmeldung tritt an die Stelle der Veröffentlichung der europäischen Patentanmeldung. | [1991/02] | Art: | B1 Patentschrift | Nr.: | EP0406434 | Datum: | 17.07.1996 | Sprache: | EN | [1996/29] | Recherchenbericht(e) | Internationaler Recherchenbericht - veröffentlicht am: | JP | 31.05.1990 | (Ergänzender) europäischer Recherchenbericht - versandt am: | EP | 28.03.1991 | Klassifikation | IPC: | H01L21/302 | [1991/02] | CPC: |
H01L21/31116 (EP,US);
H01L21/302 (KR);
H01L21/32137 (EP,US)
| Benannte Vertragsstaaten | DE, FR, GB, IT [1991/02] | Bezeichnung der Erfindung | Deutsch: | TROCKENÄTZVERFAHREN | [1991/02] | Englisch: | DRY-ETCHING METHOD | [1991/02] | Französisch: | PROCEDE DE GRAVURE PAR LA VOIE SECHE | [1991/02] | Eintritt in die regionale Phase | 17.07.1990 | Übersetzung eingereicht | 27.07.1990 | Nationale Grundgebühr entrichtet | 27.07.1990 | Recherchengebühr entrichtet | 27.07.1990 | Benennungsgebühr(en) entrichtet | 27.07.1990 | Prüfungsgebühr entrichtet | Prüfungsverfahren | 27.07.1990 | Prüfungsantrag gestellt [1991/02] | 05.07.1993 | Absendung der Mitteilung, wonach die Anmeldung als zurückgenommen gilt. Grund: Jahresgebühr nicht fristgerecht entrichtet | 26.11.1993 | Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M06) | 03.06.1994 | Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung | 14.10.1994 | Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M06) | 24.04.1995 | Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung | 04.10.1995 | Absendung der Ankündigung der Erteilung (Einverständnis: Ja) | 18.01.1996 | Ankündigung der Patenterteilung | 10.04.1996 | Erteilungsgebühr entrichtet | 10.04.1996 | Veröffentlichungs-/Druckkostengebühr entrichtet | Einspruch (Einsprüche) | 18.04.1997 | Kein Einspruch fristgerecht eingelegt [1997/28] | Antrag auf Wiedereinsetzung: | 03.09.1993 | Datum des Antrags | 05.10.1993 | Antrag stattgegeben | Entrichtete Gebühren | Jahresgebühr | 30.10.1991 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 03 | 03.09.1993 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 04 | 08.11.1993 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 05 | 15.11.1994 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 06 | 09.11.1995 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 07 | Zuschlagsgebühr | Zuschlagsgebühr zur Jahresgebühr | 30.11.1992 | 04 M06 Gebühr entrichtet am 03.09.1993 |
| Ausschluss der ausschließlichen Tooltip Zuständigkeit des Einheitlichen Patentgerichts | Zu den entsprechenden Daten siehe das Register des Einheitlichen Patentgerichts | ||
| Die Verantwortung für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der unter dem Link angezeigten Daten liegt allein beim Einheitlichen Patentgericht. | Angeführte Dokumente: | Recherche | [X]EP0001538 (IBM [US]); | [X]US4615764 (BOBBIO STEPHEN M [US], et al); | [X]EP0174249 (FUJITSU LTD [JP]); | [X]EP0106174 (HITACHI LTD [JP]) | [X] - IBM TECHNICAL DISCLOSURE BULLETIN, vol. 20, no. 2, July 1977, page 757, New York, US; J.W. COBURN: "Increasing the selectivity of the plasma etch rate of SiO2 relative to Si" | Internationale Recherche | [X]JPH05675573 ; | [Y]JPH05621330 ; | [Y]JPS61123142 (MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD); | [Y]JPS57139927 (NIPPON ELECTRIC CO); | [Y]JPS61266584 (TOKUDA SEISAKUSHO); | [Y]JPS58150429 (HITACHI LTD) |