| EP0396099 - Anordnung zum Abtragen von Material eines Targets [Mit Rechtsklick auf diesen Link können Sie ein Bookmark anlegen.] | Status | Kein Einspruch fristgerecht eingelegt Status aktualisiert am 12.08.1995 Datenbank zuletzt aktualisiert am 08.04.2026 | Letztes Ereignis Tooltip | 12.08.1995 | Kein Einspruch fristgerecht eingelegt | veröffentlicht am 04.10.1995 [1995/40] | Anmelder | Für alle benannten Staaten Forschungszentrum Jülich GmbH 52425 Jülich / DE | [N/P] |
| Frühere [1994/35] | Für alle benannten Staaten FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH Wilhelm-Johnen-Strasse D-52425 Jülich / DE | ||
| Frühere [1990/45] | Für alle benannten Staaten Forschungszentrum Jülich GmbH Wilhelm-Johnen-Strasse D-52425 Jülich / DE | Erfinder | 01 /
Zander, Wilhelm-Mathias Gutenbergstrasse 7 D-5170 Jülich / DE | 02 /
Fröhlingsdorf, Joachim, Dr. Ropenstall 72A D-5090 Leverkusen / DE | 03 /
Stritzker, Bernd, Prof. Dr. Auf der Lache 8 D-5172 Linnich / DE | [1990/45] | Anmeldenummer, Anmeldetag | 90108262.8 | 30.04.1990 | [1990/45] | Prioritätsnummer, Prioritätstag | DE19893914476 | 02.05.1989 Ursprünglich veröffentlichtes Format: DE 3914476 | [1990/45] | Anmeldesprache | DE | Verfahrenssprache | DE | Veröffentlichung | Art: | A1 Anmeldung mit Recherchenbericht | Nr.: | EP0396099 | Datum: | 07.11.1990 | Sprache: | DE | [1990/45] | Art: | B1 Patentschrift | Nr.: | EP0396099 | Datum: | 12.10.1994 | Sprache: | DE | [1994/41] | Recherchenbericht(e) | (Ergänzender) europäischer Recherchenbericht - versandt am: | EP | 22.08.1990 | Klassifikation | IPC: | C23C14/34 | [1990/45] | CPC: |
C23C14/087 (EP,US);
H10N60/0521 (EP,US);
C23C14/28 (EP,US);
Y10S505/732 (EP,US);
Y10S505/786 (EP,US)
| Benannte Vertragsstaaten | CH, DE, FR, GB, IT, LI, NL [1990/45] | Bezeichnung der Erfindung | Deutsch: | Anordnung zum Abtragen von Material eines Targets | [1990/45] | Englisch: | Arrangement for removal of material from a target | [1990/45] | Französisch: | Dispositif pour l'enlèvement de matériau d'une cible | [1990/45] | Prüfungsverfahren | 27.11.1990 | Prüfungsantrag gestellt [1991/04] | 29.01.1993 | Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M04) | 02.06.1993 | Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung | 03.12.1993 | Absendung der Ankündigung der Erteilung (Einverständnis: Ja) | 07.04.1994 | Ankündigung der Patenterteilung | 10.06.1994 | Erteilungsgebühr entrichtet | 10.06.1994 | Veröffentlichungs-/Druckkostengebühr entrichtet | Einspruch (Einsprüche) | 13.07.1995 | Kein Einspruch fristgerecht eingelegt [1995/40] | Entrichtete Gebühren | Jahresgebühr | 31.03.1992 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 03 | 02.04.1993 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 04 | 07.04.1994 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 05 |
| Ausschluss der ausschließlichen Tooltip Zuständigkeit des Einheitlichen Patentgerichts | Zu den entsprechenden Daten siehe das Register des Einheitlichen Patentgerichts | ||
| Die Verantwortung für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der unter dem Link angezeigten Daten liegt allein beim Einheitlichen Patentgericht. | Angeführt in | Prüfung | Zeitschrift fr Metallkunde 75 (1984) November Nr. 11 Stuttgart, Duetschland, Seiten 847-854 ; J. A. Thornton: "Hollow Cathode Magnetron Sputtering of Metallurgical Coatings" |