EP0465515 - VERFAHREN ZUR ÜBERWACHUNG VON IONEN-UNTERSTÜTZTEN BEARBEITUNGSVORGÄNGEN AN WAFERN UND VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS [Mit Rechtsklick auf diesen Link können Sie ein Bookmark anlegen.] | Status | Kein Einspruch fristgerecht eingelegt Status aktualisiert am 20.06.1997 Datenbank zuletzt aktualisiert am 29.10.2024 | Letztes Ereignis Tooltip | 20.06.1997 | Kein Einspruch fristgerecht eingelegt | veröffentlicht am 06.08.1997 [1997/32] | Anmelder | Für alle benannten Staaten Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Leonrodstrasse 54 80636 München / DE | [N/P] |
Frühere [1992/03] | Für alle benannten Staaten FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. Leonrodstrasse 54 D-80636 München / DE | Erfinder | 01 /
HEINRICH, Friedhelm Rheingaustr. 25 D-1000 Berlin 41 / DE | [1992/03] | Vertreter | Münich, Wilhelm, et al Dr. Münich & Kollegen Anwaltskanzlei Wilhelm-Mayr-Strasse 11 80689 München / DE | [N/P] |
Frühere [1994/08] | Münich, Wilhelm, Dr., et al Kanzlei Münich, Steinmann, Schiller Wilhelm-Mayr-Str. 11 D-80689 München / DE | ||
Frühere [1992/03] | Münich, Wilhelm, Dr. Kanzlei Münich, Steinmann, Schiller Wilhelm-Mayr-Str. 11 D-80689 München / DE | Anmeldenummer, Anmeldetag | 90905183.1 | 31.03.1990 | [1992/03] | WO1990DE00255 | Prioritätsnummer, Prioritätstag | DE19893910491 | 31.03.1989 Ursprünglich veröffentlichtes Format: DE 3910491 | [1992/03] | Anmeldesprache | DE | Verfahrenssprache | DE | Veröffentlichung | Art: | A1 Anmeldung mit Recherchenbericht | Nr.: | WO9012415 | Datum: | 18.10.1990 | Sprache: | DE | [1990/24] | Art: | A1 Anmeldung mit Recherchenbericht | Nr.: | EP0465515 | Datum: | 15.01.1992 | Sprache: | DE | Die von der WIPO am 18.10.1990 in einer EPA-Amtssprache veröffentlichte Anmeldung tritt an die Stelle der Veröffentlichung der europäischen Patentanmeldung. | [1992/03] | Art: | B1 Patentschrift | Nr.: | EP0465515 | Datum: | 14.08.1996 | Sprache: | DE | [1996/33] | Recherchenbericht(e) | Internationaler Recherchenbericht - veröffentlicht am: | EP | 18.10.1990 | Klassifikation | IPC: | H01J37/32, H01J37/304, G01N21/62, H01J37/305 | [1992/03] | CPC: |
H01J37/32935 (EP,US)
| Benannte Vertragsstaaten | AT, BE, CH, DE, FR, GB, IT, LI, LU, NL, SE [1992/09] |
Frühere [1992/03] | AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, IT, LI, LU, NL, SE | Bezeichnung der Erfindung | Deutsch: | VERFAHREN ZUR ÜBERWACHUNG VON IONEN-UNTERSTÜTZTEN BEARBEITUNGSVORGÄNGEN AN WAFERN UND VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS | [1992/03] | Englisch: | PROCESS AND DEVICE FOR MONITORING ION ASSISTED MACHINING PROCESSES ON WAFERS | [1996/33] | Französisch: | PROCEDE ET DISPOSITIF POUR CONTROLER DES PROCESSUS D'USINAGE ASSISTES PAR VOIE IONIQUE SUR DES TRANCHES | [1992/03] |
Frühere [1992/03] | PROCESS AND DEVICE FOR MONITORING ASSISTED ION MACHINING PROCESSES ON WAFERS | Eintritt in die regionale Phase | 11.09.1991 | Nationale Grundgebühr entrichtet | 11.09.1991 | Benennungsgebühr(en) entrichtet | 11.09.1991 | Prüfungsgebühr entrichtet | Prüfungsverfahren | 01.06.1990 | Teilrechtsverlust, Datum der Rechtswirksamkeit: benannte Vertragsstaat(en) | 03.08.1990 | Antrag auf vorläufige Prüfung gestellt mit der internationalen vorläufigen Prüfung beauftragte Behörde: DE | 11.09.1991 | Prüfungsantrag gestellt [1992/03] | 01.04.1992 | Absendung der Mitteilung über einen Teilrechtsverlusts: benannte Vertragsstaat(en) DK | 01.04.1992 | Absendung der Mitteilung über einen Teilrechtsverlusts: benannte Vertragsstaat(en) ES | 01.06.1992 | Teilrechtsverlust, Datum der Rechtswirksamkeit: benannte Vertragsstaat(en) | 29.12.1993 | Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M04) | 03.05.1994 | Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung | 14.06.1994 | Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M06) | 30.01.1995 | Absendung der Mitteilung, wonach die Anmeldung als zurückgenommen gilt. Grund: Erwiderung auf die Mitteilung der Prüfungsabteilung nicht fristgerecht eingegangen | 08.03.1995 | Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung | 25.04.1995 | Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M02) | 20.05.1995 | Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung | 29.06.1995 | Absendung der Ankündigung der Erteilung (Einverständnis: Ja) | 13.10.1995 | Ankündigung der Patenterteilung | 27.11.1995 | Erteilungsgebühr entrichtet | 27.11.1995 | Veröffentlichungs-/Druckkostengebühr entrichtet | Einspruch (Einsprüche) | 15.05.1997 | Kein Einspruch fristgerecht eingelegt [1997/32] | Antrag auf Weiterbehandlung für: | 08.03.1995 | Antrag auf Weiterbehandlung gestellt | 08.03.1995 | Komplette Zahlung eingegangen (Datum des Zahlungseingangs) Antrag stattgegeben | 28.03.1995 | Entscheidung abgesandt | Entrichtete Gebühren | Jahresgebühr | 31.03.1992 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 03 | 31.03.1993 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 04 | 31.03.1994 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 05 | 31.03.1995 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 06 | 26.03.1996 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 07 | Zuschlagsgebühr | Zuschlagsgebühr/Regel 85a EPÜ 1973 | 10.01.1992 | DK   M01   Noch nicht entrichtet | 10.01.1992 | ES   M01   Noch nicht entrichtet |
Ausschluss der ausschließlichen Tooltip Zuständigkeit des Einheitlichen Patentgerichts | Zu den entsprechenden Daten siehe das Register des Einheitlichen Patentgerichts | ||
Die Verantwortung für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der unter dem Link angezeigten Daten liegt allein beim Einheitlichen Patentgericht. | Erlöschen während des Einspruchsverfahrens Tooltip | SE | 14.11.1996 | [1997/18] | Angeführt in | Internationale Recherche | [XP] - APPLIED PHYSICS LETTERS. vol. 55, no. 14, 02 Oktober 1989, NEW YORK US Seiten 1474 - 1476; Heinrich et al.: "New and simple optical method for in-situ etch rate determination and endpoint detection" siehe das ganze Dokument | [Y] - REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS. vol. 51, no. 11, November 1980, NEW YORK US Seiten 1451 - 1462; Burrell et al.: "Doppler shift spectroscopy of powerful neutral beams" siehe Zusammenfassung siehe Seite 1453, linke Spalte, Absatz 2-Ende rechter Spalte | [Y] - JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. vol. 53, no. 6, Juni 1982, NEW YORK US Seiten 4389 - 4394; Dzioba et al.: "Optical spectroscopy during reactive ion beam etching of Si and Al targets" siehe Seiten 4389 - 4390 | [A] - JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY: PART B. vol. 3, no. 5, September 1985, NEW YORK US Seiten 1543 - 1545; Husinsky et al.: "Doppler shift laser fluorescence spectroscopy of sputtered and evaporatedatoms under Ar+ bombardment" siehe das ganze Dokument |