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Auszug aus dem europäischen Patentregister

EP Übersicht: EP0599276

EP0599276 - Verfahren zum Enfernen von Teilchen von einer Substratoberfläche [Mit Rechtsklick auf diesen Link können Sie ein Bookmark anlegen.]
Status	Anmeldung gilt als zurückgenommen Status aktualisiert am 17.10.1997 Datenbank zuletzt aktualisiert am 18.11.2024
Letztes Ereignis Tooltip	17.10.1997	Anmeldung gilt als zurückgenommen	veröffentlicht am 03.12.1997 [1997/49]
Anmelder	Für alle benannten Staaten Applied Materials, Inc. 3050 Bowers Avenue M/S 2061 Santa Clara, California 95054-3299 / US
	[N/P]
Frühere [1994/22]	Für alle benannten Staaten APPLIED MATERIALS, INC. 3050 Bowers Avenue Santa Clara California 95054-3299 / US
Erfinder	01 / Gupta, Anand 1270 Briarcreek Ct. San Jose, CA 95131 / US
	[1994/22]
Vertreter	Diehl, Hermann O. Th., et al Diehl & Partner GbR Augustenstrasse 46 80333 München / DE
	[N/P]
Frühere [1994/22]	Diehl, Hermann, Dr. Dipl.-Phys., et al DIEHL, GLÄSER, HILTL & PARTNER Patentanwälte Flüggenstrasse 13 D-80639 München / DE
Anmeldenummer, Anmeldetag	93118840.3	23.11.1993
	[1994/22]
Prioritätsnummer, Prioritätstag	US19920980828	24.11.1992 Ursprünglich veröffentlichtes Format: US 980828
	[1994/22]
Anmeldesprache	EN
Verfahrenssprache	EN
Veröffentlichung	Art:	A2 Anmeldung ohne Recherchenbericht
	Nr.:	EP0599276
	Datum:	01.06.1994
	Sprache:	EN
	[1994/22]
	Art:	A3 Recherchenbericht
	Nr.:	EP0599276
	Datum:	22.06.1994
	Sprache:	EN
	[1994/25]
Recherchenbericht(e)	(Ergänzender) europäischer Recherchenbericht - versandt am:	EP	06.05.1994
Klassifikation	IPC:	H01L21/306, H01L21/00	[1994/22]
	CPC:	H01L21/02046 (EP,US); H01L21/304 (KR); Y10S438/906 (EP,US)
Benannte Vertragsstaaten	BE, DE, ES, FR, GB, NL [1994/22]
Bezeichnung der Erfindung	Deutsch:	Verfahren zum Enfernen von Teilchen von einer Substratoberfläche	[1994/22]
	Englisch:	Method of removing particles from the surface of a substrate	[1994/22]
	Französisch:	Procédé pour enlever les particules de la surface d'un substrat	[1994/22]
Prüfungsverfahren	19.09.1994	Prüfungsantrag gestellt [1994/46]
	24.10.1994	Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M06)
	11.04.1995	Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung
	10.10.1995	Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M04)
	14.02.1996	Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung
	01.03.1996	Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M04)
	05.07.1996	Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung
	03.06.1997	Anmeldung gilt als zurückgenommen, Datum der Rechtswirksamkeit [1997/49]
	07.07.1997	Absendung der Mitteilung, wonach die Anmeldung als zurückgenommen gilt. Grund: Jahresgebühr nicht fristgerecht entrichtet [1997/49]
Entrichtete Gebühren	Jahresgebühr
	29.11.1995	Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 03
	Zuschlagsgebühr
	Zuschlagsgebühr zur Jahresgebühr
	30.11.1996	04 M06 Noch nicht entrichtet
Ausschluss der ausschließlichen Tooltip Zuständigkeit des Einheitlichen Patentgerichts	Zu den entsprechenden Daten siehe das Register des Einheitlichen Patentgerichts
	Die Verantwortung für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der unter dem Link angezeigten Daten liegt allein beim Einheitlichen Patentgericht.
Angeführte Dokumente:	Recherche	[E]EP0574859 (APPLIED MATERIALS INC [US]) [E] 1-3,5-7 * the whole document *;
		[A]EP0291786 (IBM [US]) [A] 1-3,5-7 * page 8, line 16 - page 9, line 34 *;
		[A]JPS60154621 ;
		[A]JPH04228573
		[A] - PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, (19851217), vol. 9, no. 321, Database accession no. (E - 367), & JP60154621 A 19850814 (HITACHI SEISAKUSHO) [A] 1-7 * abstract *
		[A] - ANONYMOUS, "Pump/purge procedure using neon feedstock", IBM TECHNICAL DISCLOSURE BULLETIN., NEW YORK US, (199204), vol. 34, no. 11, pages 237 - 238 [A] 4 * the whole document *
		[A] - PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, (19921221), vol. 16, no. 581, Database accession no. (C - 1012), & JP04228573 A 19920818 (MATSUSHITA ELECTRIC) [A] 1-7 * abstract *

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