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EP0834908
Europäisches Verfahren
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Auszug aus dem europäischen Patentregister
EP Übersicht: EP0834908
| EP0834908 - Verfahren und Vorrichtung zum Trocknen von Substraten [Mit Rechtsklick auf diesen Link können Sie ein Bookmark anlegen.] | Status | Anmeldung zurückgewiesen Status aktualisiert am 29.08.2003 Datenbank zuletzt aktualisiert am 14.09.2024 | Letztes Ereignis Tooltip | 29.08.2003 | Zurückweisung der Anmeldung | veröffentlicht am 15.10.2003 [2003/42] | Anmelder | Für alle benannten Staaten SEZ AG Draubodenweg 29 9500 Villach / AT | [2002/34] |
| Frühere [1999/01] | Für alle benannten Staaten SEZ Semiconductor-Equipment Zubehör für die Halbleiterfertigung AG Draubodenweg 29 9500 Villach / AT | ||
| Frühere [1998/15] | Für alle benannten Staaten SEZ Semiconductor-Equipment Zubehör für die Halbleiterfertigung AG Draubodenweg 29 9500 Villach / AT | Erfinder | 01 /
Kruwinus, Hans-Jürgen, Dipl.-Ing. Herrmann-Findenegg-Weg 5 9500 Villach (AT) / AT | [1998/15] | Vertreter | Beer, Manfred, et al BEER & PARTNER PATENTANWÄLTE KG Lindengasse 8 1070 Wien / AT | [N/P] |
| Frühere [1998/15] | Beer, Manfred, Dipl.-Ing., et al Lindengasse 8 1070 Wien / AT | Anmeldenummer, Anmeldetag | 97890193.2 | 23.09.1997 | [1998/15] | Prioritätsnummer, Prioritätstag | AT19960001734 | 01.10.1996 Ursprünglich veröffentlichtes Format: AT 173496 | [1998/15] | Anmeldesprache | DE | Verfahrenssprache | DE | Veröffentlichung | Art: | A1 Anmeldung mit Recherchenbericht | Nr.: | EP0834908 | Datum: | 08.04.1998 | Sprache: | DE | [1998/15] | Recherchenbericht(e) | (Ergänzender) europäischer Recherchenbericht - versandt am: | EP | 15.12.1997 | Klassifikation | IPC: | H01L21/00, B08B7/00 | [1998/15] | CPC: |
H01L21/67034 (EP,US)
| Benannte Vertragsstaaten | AT, CH, DE, FR, GB, IT, LI, NL [1998/52] |
| Frühere [1998/15] | AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, SE | Bezeichnung der Erfindung | Deutsch: | Verfahren und Vorrichtung zum Trocknen von Substraten | [1998/15] | Englisch: | Method and arrangement for drying substrates | [1998/15] | Französisch: | Procédé et dispositif pour sécher des substrats | [1998/15] | Prüfungsverfahren | 02.02.1998 | Prüfungsantrag gestellt [1998/15] | 26.02.2002 | Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M04) | 28.06.2002 | Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung | 23.12.2002 | Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M04) | 24.12.2002 | Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung | 16.05.2003 | Absendung der Mitteilung über die Zurückweisung der Anmeldung. Grund: Sachprüfung [2003/42] | 26.05.2003 | Anmeldung zurückgewiesen, Datum der Rechtswirksamkeit [2003/42] | Entrichtete Gebühren | Jahresgebühr | 18.09.1999 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 03 | 28.08.2000 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 04 | 14.09.2001 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 05 | 16.08.2002 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 06 |
| Ausschluss der ausschließlichen Tooltip Zuständigkeit des Einheitlichen Patentgerichts | Zu den entsprechenden Daten siehe das Register des Einheitlichen Patentgerichts | ||
| Die Verantwortung für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der unter dem Link angezeigten Daten liegt allein beim Einheitlichen Patentgericht. | Angeführte Dokumente: | Recherche | [X]EP0553967 (SUBMICRON SYSTEMS INC [US]) [X] 1,6,11 * claims 1,4-6,9 *; | [A]US4736758 (KUSUHARA MASAKI [JP]) [A] 1,5,9-11 * column 12, line 10 - line 39; figure 4; claim 1 *; | [A]US4028135 (VIG JOHN R, et al) [A] 1 * claim 1 *; | [A]EP0297506 (IBM DEUTSCHLAND [DE], et al) [A] 1 * claim 1 * |