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EP1018088
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Auszug aus dem europäischen Patentregister
EP Übersicht: EP1018088
| EP1018088 - VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ÜBERWACHUNG UND REGELUNG VON GAS PLASMA PROZESSEN [Mit Rechtsklick auf diesen Link können Sie ein Bookmark anlegen.] | Status | Anmeldung gilt als zurückgenommen Status aktualisiert am 20.08.2010 Datenbank zuletzt aktualisiert am 14.06.2024 | Letztes Ereignis Tooltip | 20.08.2010 | Anmeldung gilt als zurückgenommen | veröffentlicht am 22.09.2010 [2010/38] | Anmelder | Für alle benannten Staaten TOKYO ELECTRON LIMITED TBS Broadcast Center, 3-6 Akasaka 5 chome Minato-ku Tokyo 107 / JP | [N/P] |
| Frühere [2000/28] | Für alle benannten Staaten Tokyo Electron Limited TBS Broadcast Center, 3-6 Akasaka 5 chome Minato-ku, Tokyo 107 / JP | Erfinder | 01 /
JOHNSON, Wayne, L. 13658 S. 32nd Street Phoenix, AZ 85044 / US | 02 /
PARSONS, Richard 14853 N. 46th Street Phoenix, AZ 85032 / US | [2000/28] | Vertreter | Crawford, Andrew Birkby A.A. Thornton & Co. 235 High Holborn London WC1V 7LE / GB | [N/P] |
| Frühere [2000/28] | Crawford, Andrew Birkby A.A. Thornton & Co. 235 High Holborn London WC1V 7LE / GB | Anmeldenummer, Anmeldetag | 98950610.0 | 17.09.1998 | [2000/28] | WO1998US18498 | Prioritätsnummer, Prioritätstag | US19970059151P | 17.09.1997 Ursprünglich veröffentlichtes Format: US 59151 P | [2000/28] | Anmeldesprache | EN | Verfahrenssprache | EN | Veröffentlichung | Art: | A1 Anmeldung mit Recherchenbericht | Nr.: | WO9914699 | Datum: | 25.03.1999 | Sprache: | EN | [1999/12] | Art: | A1 Anmeldung mit Recherchenbericht | Nr.: | EP1018088 | Datum: | 12.07.2000 | Sprache: | EN | Die von der WIPO am 25.03.1999 in einer EPA-Amtssprache veröffentlichte Anmeldung tritt an die Stelle der Veröffentlichung der europäischen Patentanmeldung. | [2000/28] | Recherchenbericht(e) | Internationaler Recherchenbericht - veröffentlicht am: | US | 25.03.1999 | (Ergänzender) europäischer Recherchenbericht - versandt am: | EP | 13.07.2006 | Klassifikation | IPC: | G06F19/00, G06G7/64, G06G7/66, H01J37/32 | [2006/33] | CPC: |
H01J37/32082 (EP,KR,US);
H01J37/32137 (EP,KR,US);
H01J37/32146 (EP,KR,US);
H01J37/32155 (EP,KR,US);
H01J37/32165 (EP,KR,US);
H01J37/32174 (EP,KR,US);
H01J37/32935 (EP,KR,US);
H01J37/32963 (EP,KR,US);
H01J37/3299 (EP,KR,US);
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| Frühere IPC [2000/28] | G06F19/00, G06G7/64, G06G7/66 | Benannte Vertragsstaaten | AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, SE [2000/28] | Bezeichnung der Erfindung | Deutsch: | VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR ÜBERWACHUNG UND REGELUNG VON GAS PLASMA PROZESSEN | [2000/28] | Englisch: | SYSTEM AND METHOD FOR MONITORING AND CONTROLLING GAS PLASMA PROCESSES | [2000/28] | Französisch: | SYSTEME ET PROCEDE DE CONTROLE ET DE REGULATION DE TRAITEMENTS AU PLASMA | [2000/28] | Eintritt in die regionale Phase | 06.03.2000 | Nationale Grundgebühr entrichtet | 06.03.2000 | Recherchengebühr entrichtet | 06.03.2000 | Benennungsgebühr(en) entrichtet | 06.03.2000 | Prüfungsgebühr entrichtet | Prüfungsverfahren | 13.04.1999 | Antrag auf vorläufige Prüfung gestellt mit der internationalen vorläufigen Prüfung beauftragte Behörde: US | 06.03.2000 | Prüfungsantrag gestellt [2000/28] | 08.02.2007 | Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M04) | 06.06.2007 | Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung | 01.04.2010 | Anmeldung gilt als zurückgenommen, Datum der Rechtswirksamkeit [2010/38] | 10.05.2010 | Absendung der Mitteilung, wonach die Anmeldung als zurückgenommen gilt. Grund: Jahresgebühr nicht fristgerecht entrichtet [2010/38] | Entrichtete Gebühren | Jahresgebühr | 13.09.2000 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 03 | 12.09.2001 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 04 | 12.09.2002 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 05 | 12.09.2003 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 06 | 14.09.2004 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 07 | 14.09.2005 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 08 | 11.09.2006 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 09 | 12.09.2007 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 10 | 31.03.2008 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 11 | Zuschlagsgebühr | Zuschlagsgebühr zur Jahresgebühr | 30.09.2009 | 12 M06 Noch nicht entrichtet |
| Ausschluss der ausschließlichen Tooltip Zuständigkeit des Einheitlichen Patentgerichts | Zu den entsprechenden Daten siehe das Register des Einheitlichen Patentgerichts | ||
| Die Verantwortung für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der unter dem Link angezeigten Daten liegt allein beim Einheitlichen Patentgericht. | Angeführte Dokumente: | Recherche | [DX]US5474648 (PATRICK ROGER [US], et al) [DX] 1,5,12 * abstract * * column 6, line 54 - column 8, line 27 * * figures 2A,2B,6 *; | [DX]US5472561 (WILLIAMS NORMAN [US], et al) [DX] 1-3,5,12-14 * abstract * * column 1, line 54 - column 2, line 3 * * column 5, lines 44-62 * * column 9, line 50 - column 10, line 4 * * figures 1,5 *; | [AD]US5025135 (GESCHE ROLAND [DE], et al) [AD] 1-18 * abstract * * column 2, lines 46-56 * | Internationale Recherche | [Y]US5347460 (GIFFORD GEORGE G [US], et al); | [Y]US5472561 (WILLIAMS NORMAN [US], et al); | [Y]US5474648 (PATRICK ROGER [US], et al); | [Y]US5556549 (PATRICK ROGER [US], et al); | [Y]US5571366 (ISHII NOBUO [JP], et al); | [Y]US5573595 (DIBLE ROBERT D [US]); | [Y]US5658423 (ANGELL DAVID [US], et al) |