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EP1001455
Europäisches Verfahren
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Auszug aus dem europäischen Patentregister
EP Übersicht: EP1001455
| EP1001455 - Schutz für eine substrattragende Oberfläche und Verfahren zur Herstellung desselben [Mit Rechtsklick auf diesen Link können Sie ein Bookmark anlegen.] | Status | Anmeldung gilt als zurückgenommen Status aktualisiert am 17.10.2003 Datenbank zuletzt aktualisiert am 26.07.2024 | Letztes Ereignis Tooltip | 17.10.2003 | Anmeldung gilt als zurückgenommen | veröffentlicht am 03.12.2003 [2003/49] | Anmelder | Für alle benannten Staaten Applied Materials, Inc. 3050 Bowers Avenue M/S 2061 Santa Clara, California 95054-3299 / US | [N/P] |
| Frühere [2000/20] | Für alle benannten Staaten APPLIED MATERIALS, INC. 3050 Bowers Avenue, M/S 2061 Santa Clara, California 95054-3299 / US | Erfinder | 01 /
Xu, Zheng 279 Hudson Bay Street Foster City, CA 94404 / US | 02 /
Parkhe, Vijay 4054 Bouquet Park Lane San Jose, CA 95135 / US | 03 /
Tzou, Eugene 860 Shirley Avenue Sunnyvale, CA 94086 / US | [2000/20] | Vertreter | Käck, Jürgen, et al Patentanwälte Kahler Käck Mollekopf Vorderer Anger 239 86899 Landsberg/Lech / DE | [N/P] |
| Frühere [2002/40] | Käck, Jürgen, et al Kahler Käck Mollekopf Vorderer Anger 239 86899 Landsberg / DE | ||
| Frühere [2000/20] | Kahler, Kurt, Dipl.-Ing. Patentanwälte Kahler, Käck, Fiener et col., Vorderer Anger 268 86899 Landsberg/Lech / DE | Anmeldenummer, Anmeldetag | 99122017.9 | 12.11.1999 | [2000/20] | Prioritätsnummer, Prioritätstag | US19980191252 | 12.11.1998 Ursprünglich veröffentlichtes Format: US 191252 | [2000/20] | Anmeldesprache | EN | Verfahrenssprache | EN | Veröffentlichung | Art: | A1 Anmeldung mit Recherchenbericht | Nr.: | EP1001455 | Datum: | 17.05.2000 | Sprache: | EN | [2000/20] | Recherchenbericht(e) | (Ergänzender) europäischer Recherchenbericht - versandt am: | EP | 02.03.2000 | Klassifikation | IPC: | H01L21/00, H01L21/68 | [2000/20] | CPC: |
H01L21/68 (KR);
H01L21/6831 (EP);
H01L21/6833 (EP)
| Benannte Vertragsstaaten | BE, DE, GB, NL [2001/05] |
| Frühere [2000/20] | AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, SE | Bezeichnung der Erfindung | Deutsch: | Schutz für eine substrattragende Oberfläche und Verfahren zur Herstellung desselben | [2000/20] | Englisch: | Apparatus for protecting a substrate support surface and method of fabricating same | [2000/20] | Französisch: | Dispositif pour protéger une surface supportant un substrat et méthode de formation dudit dispositif | [2000/20] | Prüfungsverfahren | 17.11.2000 | Prüfungsantrag gestellt [2001/03] | 03.06.2003 | Anmeldung gilt als zurückgenommen, Datum der Rechtswirksamkeit [2003/49] | 04.07.2003 | Absendung der Mitteilung, wonach die Anmeldung als zurückgenommen gilt. Grund: Jahresgebühr nicht fristgerecht entrichtet [2003/49] | Entrichtete Gebühren | Jahresgebühr | 30.11.2001 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 03 | Zuschlagsgebühr | Zuschlagsgebühr zur Jahresgebühr | 30.11.2002 | 04 M06 Noch nicht entrichtet |
| Ausschluss der ausschließlichen Tooltip Zuständigkeit des Einheitlichen Patentgerichts | Zu den entsprechenden Daten siehe das Register des Einheitlichen Patentgerichts | ||
| Die Verantwortung für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der unter dem Link angezeigten Daten liegt allein beim Einheitlichen Patentgericht. | Angeführte Dokumente: | Recherche | [Y]EP0856882 (APPLIED MATERIALS INC [US]) [Y] 1-21 * column 1, line 3 - column 6, line 42; figures 1-3 *; | [Y]EP0806798 (APPLIED MATERIALS INC [US]) [Y] 1-21 * column 1, line 3 - column 5, line 2; figures 1,2 *; | [YA]US5583736 (ANDERSON ROBERT A [US], et al) [Y] 5,12,18 * column 3, line 65 - column 5, line 5; figures 1-3 * [A] 1-4,8-12,15-17; | [Y]WO9847176 (MORGAN CRUCIBLE CO [GB], et al) [Y] 6,13,19 * page 15, lines 16-29; figure 4 * |