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EP1064527
Europäisches Verfahren
Auszug aus dem europäischen Patentregister
EP Übersicht: EP1064527
| EP1064527 - VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM MESSEN VON SUBSTRATTEMPERATUREN [Mit Rechtsklick auf diesen Link können Sie ein Bookmark anlegen.] | Status | Kein Einspruch fristgerecht eingelegt Status aktualisiert am 11.02.2005 Datenbank zuletzt aktualisiert am 14.09.2024 | Letztes Ereignis Tooltip | 21.03.2008 | Erlöschen des Patents in einem Vertragsstaat Neue Staaten: IT | veröffentlicht am 23.04.2008 [2008/17] | Anmelder | Für alle benannten Staaten Applied Materials, Inc. 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 / US | [N/P] |
| Frühere [2001/01] | Für alle benannten Staaten Applied Materials, Inc. 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 / US | Erfinder | 01 /
PEUSE, Bruce, W. 27 Cobblestone Lane San Carlos, CA 94070 / US | 02 /
MINER, Gary, E. 4974 Hildasue Terrace Fremont, CA 94555 / US | 03 /
YAM, Mark 4977 Adaiz Way San Jose, CA 95124 / US | 04 /
HUNTER, Aaron 430 Emeline Avenue Santa Cruz, CA 95060 / US | 05 /
KNOOT, Peter 158 Northam Avenue San Carlos, CA 94070 / US | 06 /
MERSHON, Jason 660 Monroe Street Santa Clara, CA 94040 / US | [2001/01] | Vertreter | Bayliss, Geoffrey Cyril, et al BOULT WADE TENNANT Verulam Gardens 70 Gray's Inn Road London WC1X 8BT / GB | [N/P] |
| Frühere [2001/01] | Bayliss, Geoffrey Cyril, et al BOULT WADE TENNANT, Verulam Gardens 70 Gray's Inn Road London WC1X 8BT / GB | Anmeldenummer, Anmeldetag | 99908403.1 | 23.02.1999 | [2001/01] | WO1999US03978 | Prioritätsnummer, Prioritätstag | US19980044217 | 18.03.1998 Ursprünglich veröffentlichtes Format: US 44217 | [2001/01] | Anmeldesprache | EN | Verfahrenssprache | EN | Veröffentlichung | Art: | A1 Anmeldung mit Recherchenbericht | Nr.: | WO9947901 | Datum: | 23.09.1999 | Sprache: | EN | [1999/38] | Art: | A1 Anmeldung mit Recherchenbericht | Nr.: | EP1064527 | Datum: | 03.01.2001 | Sprache: | EN | Die von der WIPO am 23.09.1999 in einer EPA-Amtssprache veröffentlichte Anmeldung tritt an die Stelle der Veröffentlichung der europäischen Patentanmeldung. | [2001/01] | Art: | B1 Patentschrift | Nr.: | EP1064527 | Datum: | 07.04.2004 | Sprache: | EN | [2004/15] | Recherchenbericht(e) | Internationaler Recherchenbericht - veröffentlicht am: | EP | 23.09.1999 | Klassifikation | IPC: | G01J5/00, G01J5/04 | [2001/01] | CPC: |
G01J5/08 (EP,US);
G01J5/00 (KR);
G01J5/0003 (EP,US);
G01J5/0007 (EP,US);
G01J5/064 (EP,US);
G01J5/0815 (EP,US);
G01J5/0818 (EP,US);
G01J5/0821 (EP,US);
G01J5/0846 (EP,US);
G01J5/0887 (EP,US);
G01J5/53 (EP,US);
G01J5/80 (EP,US);
| C-Set: |
H01L2924/0002, H01L2924/00 (EP,US)
| Benannte Vertragsstaaten | DE, FR, GB, IT, NL [2001/01] | Bezeichnung der Erfindung | Deutsch: | VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM MESSEN VON SUBSTRATTEMPERATUREN | [2001/01] | Englisch: | METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING SUBSTRATE TEMPERATURES | [2001/01] | Französisch: | PROCEDE ET APPAREIL DE MESURE DE TEMPERATURE DE SUBSTRATS | [2001/01] | Eintritt in die regionale Phase | 06.10.2000 | Nationale Grundgebühr entrichtet | 06.10.2000 | Benennungsgebühr(en) entrichtet | 06.10.2000 | Prüfungsgebühr entrichtet | Prüfungsverfahren | 30.09.1999 | Antrag auf vorläufige Prüfung gestellt mit der internationalen vorläufigen Prüfung beauftragte Behörde: EP | 06.10.2000 | Prüfungsantrag gestellt [2001/01] | 21.11.2001 | Absendung einer Mitteilung der Prüfungsabteilung (Frist: M06) | 31.05.2002 | Erwiderung auf eine Mitteilung der Prüfungsabteilung | 01.08.2003 | Ankündigung der Patenterteilung | 30.01.2004 | Erteilungsgebühr entrichtet | 30.01.2004 | Veröffentlichungs-/Druckkostengebühr entrichtet | Einspruch (Einsprüche) | 10.01.2005 | Kein Einspruch fristgerecht eingelegt [2005/13] | Entrichtete Gebühren | Jahresgebühr | 28.02.2001 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 03 | 15.02.2002 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 04 | 17.02.2003 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 05 | 04.02.2004 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 06 |
| Ausschluss der ausschließlichen Tooltip Zuständigkeit des Einheitlichen Patentgerichts | Zu den entsprechenden Daten siehe das Register des Einheitlichen Patentgerichts | ||
| Die Verantwortung für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der unter dem Link angezeigten Daten liegt allein beim Einheitlichen Patentgericht. | Erlöschen während des Einspruchsverfahrens Tooltip | FR | 07.04.2004 | IT | 07.04.2004 | [2008/17] |
| Frühere [2006/14] | FR | 07.04.2004 | Angeführt in | Internationale Recherche | [A]EP0718610 (APPLIED MATERIALS INC [US]) [A] 1,7,12,13 * page 7, line 35 - page 8, line 6 ** claims 1,13 *; | [A]EP0805342 (APPLIED MATERIALS INC [US]) [A] 1,7,12,13 * page 3, line 38 - line 50 * * page 7, line 6 - line 22 * * figures 3,4 * |