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Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP1911501

EP1911501 - A regeneration method of etching solution, an etching method and an etching system [Right-click to bookmark this link]
Status	No opposition filed within time limit Status updated on 03.08.2012 Database last updated on 22.08.2024
Most recent event Tooltip	04.10.2013	Lapse of the patent in a contracting state New state(s): HU	published on 06.11.2013 [2013/45]
Applicant(s)	For all designated states Apprecia Technology Inc. 32-2 Honcho 1-chome Nakano-ku Tokyo 164-0012 / JP
	[2009/31]
Former [2008/16]	For all designated states m. FSI Ltd. 32-2, Honcho 1-chome, Nakano-ku Tokyo 164-0012 / JP
Inventor(s)	01 / Izuta, Nobuhiko c/o Okayama Technology Center of m. FSI Ltd. 5311 Haga Okayama-shi Okayama 701-1221 / JP
	02 / Watatsu, Haruru c/o Okayama Technology Center of m. FSI Ltd. 5311 Haga Okayama-shi Okayama 701-1221 / JP
	[2011/39]
Former [2008/16]	01 / Izuta, Nobuhiko c/o Okayama Technology Center of m. FSI Ltd. 5311 Haga Okayama-shi Okayama 701-1221 / JP
	02 / Watatsu, Haruru c/o Okayama Technology Center of m. FSI Ltd. 5311 Haga Okayama-shi Okayama 701-1221 / JP
Representative(s)	Hartz, Nikolai Wächtershäuser & Hartz Patentanwaltspartnerschaft mbB Weinstrasse 8 80333 München / DE
	[N/P]
Former [2011/39]	Hartz, Nikolai Wächtershäuser & Hartz Patentanwaltspartnerschaft Weinstrasse 8 80333 München / DE
Former [2009/39]	Hartz, Nikolai Wächtershäuser & Hartz Patentanwälte Weinstrasse 8 80333 München / DE
Former [2008/16]	Hartz, Nikolai Wächtershauser & Hartz Weinstrasse 8 80333 München / DE
Application number, filing date	07019492.3	04.10.2007
	[2008/16]
Priority number, date	JP20060279098	12.10.2006 Original published format: JP 2006279098
	[2008/16]
Filing language	EN
Procedural language	EN
Publication	Type:	A2 Application without search report
	No.:	EP1911501
	Date:	16.04.2008
	Language:	EN
	[2008/16]
	Type:	A3 Search report
	No.:	EP1911501
	Date:	11.03.2009
	[2009/11]
	Type:	B1 Patent specification
	No.:	EP1911501
	Date:	28.09.2011
	Language:	EN
	[2011/39]
Search report(s)	(Supplementary) European search report - dispatched on:	EP	09.02.2009
Classification	IPC:	B01D29/60, B01D29/56, B01D29/66, C09K13/04	[2009/11]
	CPC:	C09K13/04 (EP,US); H01L21/3063 (KR)
	Former IPC [2008/16]	B01D29/52, B01D29/56, C09K13/04
Designated contracting states	AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR [2008/16]
Title	German:	Regenerierungsverfahren für Ätzlösungen, Ätzverfahren und Ätzsystem	[2008/16]
	English:	A regeneration method of etching solution, an etching method and an etching system	[2008/16]
	French:	Procédé de régénération d'une solution de gravure, procédé de gravure et système de gravure	[2008/16]
Examination procedure	30.07.2008	Examination requested [2008/37]
	24.06.2009	Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M06)
	30.12.2009	Reply to a communication from the examining division
	16.07.2010	Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M06)
	09.12.2010	Reply to a communication from the examining division
	29.04.2011	Communication of intention to grant the patent
	04.08.2011	Fee for grant paid
	04.08.2011	Fee for publishing/printing paid
Divisional application(s)	The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is 24.06.2009
Opposition(s)	29.06.2012	No opposition filed within time limit [2012/36]
Fees paid	Renewal fee
	20.10.2009	Renewal fee patent year 03
	13.10.2010	Renewal fee patent year 04
Opt-out from the exclusive Tooltip competence of the Unified Patent Court	See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
	Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition Tooltip	AT	28.09.2011
	BE	28.09.2011
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	IS	28.01.2012
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	[2013/45]
Former [2013/44]	AT	28.09.2011
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Former [2012/08]	LT	28.09.2011
Documents cited:	Search	[A]EP0675266 (ABB MANAGEMENT AG [CH]) [A] 1* abstract *;
		[Y]JPH09219388 (MITSUBISHI ELECTRIC CORP) [Y] 4 * paragraphs [0004] , [0007] , [0012]; figures 2,7 *;
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24.2.25; 34p