blank Quick help
blank Maintenance news

Scheduled maintenance

Regular maintenance outages:
between 05.00 and 05.15 hrs CET (Monday to Sunday).

Other outages
Availability

2022.02.11

More...
blank News flashes

News Flashes

New version of the European Patent Register – SPC proceedings information in the Unitary Patent Register.

2024-07-24

More...
blank Related links

Release notes
European Patent Register Assistant
European Patent Register Resource Book
European Patent Register – pocket guide
FAQ - European Patent Register
Federated Register (Flyer)
Global Dossier (Flyer)
Register events
Deep link coverage
Federated Register content
The Patent Information Tour
Fair use charter

Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP2031644

EP2031644 - Method for improving germanide growth [Right-click to bookmark this link]
Former [2009/10]Method for improving germanide growth and devices obtained thereof
[2017/49]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  08.03.2019
Database last updated on 02.11.2024
FormerThe patent has been granted
Status updated on  30.03.2018
FormerGrant of patent is intended
Status updated on  24.11.2017
Most recent event   Tooltip10.07.2020Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): CY, IS		published on 12.08.2020  [2020/33]
Applicant(s)For all designated states
IMEC VZW
Kapeldreef 75
3001 Leuven / BE
[2017/52]
Former [2009/33]For all designated states
IMEC
Kapeldreef 75
3001 Leuven / BE
Former [2009/10]For all designated states
Interuniversitair Microelectronica Centrum vzw (IMEC)
Kapeldreef 75
3001 Leuven / BE
Inventor(s)01 / Brunco, David
210 Rosilie St
San Mateo 94403 / US
02 / Meuris, Marc
D. Liekenslaan 27
3140 Keerbergen / BE
 [2009/10]
Representative(s)Vénite-Aurore, Olessia, et al
pronovem - Office Van Malderen
Avenue Josse Goffin 158
1082 Bruxelles / BE
[2018/18]
Former [2009/10]Venite-Aurore, Olessia, et al
pronovem - Office Van Malderen Avenue Josse Goffin 158
1082 Bruxelles / BE
Application number, filing date08163442.001.09.2008
[2009/10]
Priority number, dateEP2007011548231.08.2007         Original published format: EP 07115482
[2009/10]
Filing languageEN
Procedural languageEN
PublicationType: A2 Application without search report 
No.:EP2031644
Date:04.03.2009
Language:EN
[2009/10]
Type: A3 Search report 
No.:EP2031644
Date:25.01.2012
Language:EN
[2012/04]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP2031644
Date:02.05.2018
Language:EN
[2018/18]
Search report(s)(Supplementary) European search report - dispatched on:EP27.12.2011
ClassificationIPC:H01L21/285
[2009/10]
CPC:
H01L21/28512 (EP); H01L21/28518 (EP)
Designated contracting statesAT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   SE,   SI,   SK,   TR [2018/18]
Former [2009/10]AT,  BE,  BG,  CH,  CY,  CZ,  DE,  DK,  EE,  ES,  FI,  FR,  GB,  GR,  HR,  HU,  IE,  IS,  IT,  LI,  LT,  LU,  LV,  MC,  MT,  NL,  NO,  PL,  PT,  RO,  SE,  SI,  SK,  TR 
TitleGerman:Verfahren zur Verbesserung des Germanidwachstums[2017/49]
English:Method for improving germanide growth[2017/49]
French:Procédé pour améliorer la croissance de germaniure[2017/49]
Former [2009/10]Verfahren zur Verbesserung des Germanidwachstums und damit erhaltene Vorrichtungen
Former [2009/10]Method for improving germanide growth and devices obtained thereof
Former [2009/10]Procédé pour améliorer la croissance de germaniure et dispositifs obtenus selon ce procédé
Examination procedure19.07.2012Amendment by applicant (claims and/or description)
19.07.2012Examination requested  [2012/35]
23.11.2017Communication of intention to grant the patent
20.03.2018Fee for grant paid
20.03.2018Fee for publishing/printing paid
20.03.2018Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is  23.11.2017
Opposition(s)05.02.2019No opposition filed within time limit [2019/15]
Fees paidRenewal fee
28.09.2010Renewal fee patent year 03
29.09.2011Renewal fee patent year 04
24.09.2012Renewal fee patent year 05
23.09.2013Renewal fee patent year 06
24.09.2014Renewal fee patent year 07
28.09.2015Renewal fee patent year 08
23.09.2016Renewal fee patent year 09
22.09.2017Renewal fee patent year 10
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU01.09.2008
AT02.05.2018
CY02.05.2018
CZ02.05.2018
DK02.05.2018
EE02.05.2018
ES02.05.2018
FI02.05.2018
HR02.05.2018
IT02.05.2018
LT02.05.2018
LV02.05.2018
MC02.05.2018
NL02.05.2018
PL02.05.2018
RO02.05.2018
SE02.05.2018
SI02.05.2018
SK02.05.2018
TR02.05.2018
BG02.08.2018
NO02.08.2018
GR03.08.2018
GB01.09.2018
IE01.09.2018
LU01.09.2018
MT01.09.2018
IS02.09.2018
PT03.09.2018
BE30.09.2018
CH30.09.2018
LI30.09.2018
[2020/32]
Former [2020/28]HU01.09.2008
AT02.05.2018
CZ02.05.2018
DK02.05.2018
EE02.05.2018
ES02.05.2018
FI02.05.2018
HR02.05.2018
IT02.05.2018
LT02.05.2018
LV02.05.2018
MC02.05.2018
NL02.05.2018
PL02.05.2018
RO02.05.2018
SE02.05.2018
SI02.05.2018
SK02.05.2018
TR02.05.2018
BG02.08.2018
NO02.08.2018
GR03.08.2018
GB01.09.2018
IE01.09.2018
LU01.09.2018
MT01.09.2018
PT03.09.2018
BE30.09.2018
CH30.09.2018
LI30.09.2018
Former [2020/16]AT02.05.2018
CZ02.05.2018
DK02.05.2018
EE02.05.2018
ES02.05.2018
FI02.05.2018
HR02.05.2018
IT02.05.2018
LT02.05.2018
LV02.05.2018
MC02.05.2018
NL02.05.2018
PL02.05.2018
RO02.05.2018
SE02.05.2018
SI02.05.2018
SK02.05.2018
TR02.05.2018
BG02.08.2018
NO02.08.2018
GR03.08.2018
GB01.09.2018
IE01.09.2018
LU01.09.2018
MT01.09.2018
PT03.09.2018
BE30.09.2018
CH30.09.2018
LI30.09.2018
Former [2020/08]AT02.05.2018
CZ02.05.2018
DK02.05.2018
EE02.05.2018
ES02.05.2018
FI02.05.2018
HR02.05.2018
IT02.05.2018
LT02.05.2018
LV02.05.2018
MC02.05.2018
NL02.05.2018
PL02.05.2018
RO02.05.2018
SE02.05.2018
SI02.05.2018
SK02.05.2018
BG02.08.2018
NO02.08.2018
GR03.08.2018
GB01.09.2018
IE01.09.2018
LU01.09.2018
MT01.09.2018
PT03.09.2018
BE30.09.2018
CH30.09.2018
LI30.09.2018
Former [2019/47]AT02.05.2018
CZ02.05.2018
DK02.05.2018
EE02.05.2018
ES02.05.2018
FI02.05.2018
HR02.05.2018
IT02.05.2018
LT02.05.2018
LV02.05.2018
MC02.05.2018
NL02.05.2018
PL02.05.2018
RO02.05.2018
SE02.05.2018
SI02.05.2018
SK02.05.2018
BG02.08.2018
NO02.08.2018
GR03.08.2018
GB01.09.2018
IE01.09.2018
LU01.09.2018
PT03.09.2018
BE30.09.2018
CH30.09.2018
LI30.09.2018
Former [2019/40]AT02.05.2018
CZ02.05.2018
DK02.05.2018
EE02.05.2018
ES02.05.2018
FI02.05.2018
HR02.05.2018
IT02.05.2018
LT02.05.2018
LV02.05.2018
MC02.05.2018
NL02.05.2018
PL02.05.2018
RO02.05.2018
SE02.05.2018
SI02.05.2018
SK02.05.2018
BG02.08.2018
NO02.08.2018
GR03.08.2018
IE01.09.2018
LU01.09.2018
PT03.09.2018
BE30.09.2018
CH30.09.2018
LI30.09.2018
Former [2019/38]AT02.05.2018
CZ02.05.2018
DK02.05.2018
EE02.05.2018
ES02.05.2018
FI02.05.2018
HR02.05.2018
IT02.05.2018
LT02.05.2018
LV02.05.2018
MC02.05.2018
NL02.05.2018
PL02.05.2018
RO02.05.2018
SE02.05.2018
SI02.05.2018
SK02.05.2018
BG02.08.2018
NO02.08.2018
GR03.08.2018
IE01.09.2018
LU01.09.2018
PT03.09.2018
BE30.09.2018
Former [2019/33]AT02.05.2018
CZ02.05.2018
DK02.05.2018
EE02.05.2018
ES02.05.2018
FI02.05.2018
HR02.05.2018
IT02.05.2018
LT02.05.2018
LV02.05.2018
MC02.05.2018
NL02.05.2018
PL02.05.2018
RO02.05.2018
SE02.05.2018
SI02.05.2018
SK02.05.2018
BG02.08.2018
NO02.08.2018
GR03.08.2018
IE01.09.2018
LU01.09.2018
PT03.09.2018
Former [2019/30]AT02.05.2018
CZ02.05.2018
DK02.05.2018
EE02.05.2018
ES02.05.2018
FI02.05.2018
HR02.05.2018
IT02.05.2018
LT02.05.2018
LV02.05.2018
MC02.05.2018
NL02.05.2018
PL02.05.2018
RO02.05.2018
SE02.05.2018
SI02.05.2018
SK02.05.2018
BG02.08.2018
NO02.08.2018
GR03.08.2018
LU01.09.2018
PT03.09.2018
Former [2019/26]AT02.05.2018
CZ02.05.2018
DK02.05.2018
EE02.05.2018
ES02.05.2018
FI02.05.2018
HR02.05.2018
IT02.05.2018
LT02.05.2018
LV02.05.2018
MC02.05.2018
NL02.05.2018
PL02.05.2018
RO02.05.2018
SE02.05.2018
SI02.05.2018
SK02.05.2018
BG02.08.2018
NO02.08.2018
GR03.08.2018
PT03.09.2018
Former [2019/24]AT02.05.2018
CZ02.05.2018
DK02.05.2018
EE02.05.2018
ES02.05.2018
FI02.05.2018
HR02.05.2018
IT02.05.2018
LT02.05.2018
LV02.05.2018
MC02.05.2018
NL02.05.2018
PL02.05.2018
RO02.05.2018
SE02.05.2018
SK02.05.2018
BG02.08.2018
NO02.08.2018
GR03.08.2018
PT03.09.2018
Former [2019/11]AT02.05.2018
CZ02.05.2018
DK02.05.2018
EE02.05.2018
ES02.05.2018
FI02.05.2018
HR02.05.2018
IT02.05.2018
LT02.05.2018
LV02.05.2018
NL02.05.2018
PL02.05.2018
RO02.05.2018
SE02.05.2018
SK02.05.2018
BG02.08.2018
NO02.08.2018
GR03.08.2018
PT03.09.2018
Former [2019/10]AT02.05.2018
CZ02.05.2018
DK02.05.2018
EE02.05.2018
ES02.05.2018
FI02.05.2018
HR02.05.2018
LT02.05.2018
LV02.05.2018
NL02.05.2018
PL02.05.2018
RO02.05.2018
SE02.05.2018
SK02.05.2018
BG02.08.2018
NO02.08.2018
GR03.08.2018
PT03.09.2018
Former [2019/09]DK02.05.2018
EE02.05.2018
ES02.05.2018
FI02.05.2018
HR02.05.2018
LT02.05.2018
LV02.05.2018
NL02.05.2018
SE02.05.2018
BG02.08.2018
NO02.08.2018
GR03.08.2018
PT03.09.2018
Former [2019/08]DK02.05.2018
ES02.05.2018
FI02.05.2018
HR02.05.2018
LT02.05.2018
LV02.05.2018
NL02.05.2018
SE02.05.2018
BG02.08.2018
NO02.08.2018
GR03.08.2018
PT03.09.2018
Former [2019/03]ES02.05.2018
FI02.05.2018
HR02.05.2018
LT02.05.2018
LV02.05.2018
NL02.05.2018
SE02.05.2018
BG02.08.2018
NO02.08.2018
GR03.08.2018
PT03.09.2018
Former [2018/52]ES02.05.2018
FI02.05.2018
HR02.05.2018
LT02.05.2018
LV02.05.2018
NL02.05.2018
SE02.05.2018
BG02.08.2018
NO02.08.2018
GR03.08.2018
Former [2018/51]ES02.05.2018
FI02.05.2018
HR02.05.2018
LT02.05.2018
LV02.05.2018
SE02.05.2018
BG02.08.2018
NO02.08.2018
Former [2018/50]ES02.05.2018
FI02.05.2018
HR02.05.2018
LT02.05.2018
SE02.05.2018
BG02.08.2018
NO02.08.2018
Former [2018/49]ES02.05.2018
FI02.05.2018
LT02.05.2018
SE02.05.2018
BG02.08.2018
NO02.08.2018
Former [2018/47]ES02.05.2018
FI02.05.2018
LT02.05.2018
NO02.08.2018
Documents cited:Search[XYI]WO2006011851  (AGENCY SCIENCE TECH & RES [SG], et al) [X] 1,3-7,9,12-18,20-23 * page 1, line 6 - line 7 * * page 2, line 6 - line 25 * * page 3, line 22 - page 7, line 27 * * page 9, line 4 - line 10; figures 2-6 * [Y] 2,19 [I] 8,10,11;
 [X]EP1763084  (FUJITSU LTD [JP]) [X] 1,3-7,9,16-18,20-23 * paragraph [0025] - paragraph [0028] * * paragraph [0052] - paragraph [0053] * * paragraph [0063] * * paragraph [0078] * * paragraph [0080] * * paragraph [0090] * * paragraph [0147] - paragraph [0149]; figure 3 *;
 [XY]US2007123042  (RIM KERN [US], et al) [X] 23 * paragraph [0020] - paragraph [0036]; figure 1AB * [Y] 2,19;
 [A]  - ZHU SHIYANG ET AL, "Enhanced thermal stability of nickel germanide on thin epitaxial germanium by adding an ultrathin titanium layer", APPLIED PHYSICS LETTERS, AIP, AMERICAN INSTITUTE OF PHYSICS, MELVILLE, NY, US, (20070731), vol. 91, no. 5, doi:10.1063/1.2768203, ISSN 0003-6951, pages 51905 - 51905, XP012100326 [A] 1-23 * the whole document *

DOI:   http://dx.doi.org/10.1063/1.2768203
by applicant   - D. BRUNCO ET AL., "Germanium MOSFET Devices: Advances in Material Understanding, Process Development, and Electrical Performance", JOURNAL OF ELECTROCHEMICAL SOCIETY, (2008), vol. 155, no. 7, doi:doi:10.1149/1.2919115, pages H552 - H561, XP055016494

DOI:   http://dx.doi.org/10.1149/1.2919115
The EPO accepts no responsibility for the accuracy of data originating from other authorities; in particular, it does not guarantee that it is complete, up to date or fit for specific purposes.