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Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP2115535

EP2115535 - METHOD AND DEVICE FOR MONITORING MULTIPLE MIRROR ARRAYS IN AN ILLUMINATION SYSTEM OF A MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE APPARATUS [Right-click to bookmark this link]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  05.07.2013
Database last updated on 22.08.2024
Most recent event   Tooltip17.07.2015Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): HU, LU		published on 19.08.2015  [2015/34]
Applicant(s)For all designated states
Carl Zeiss SMT GmbH
Rudolf-Eber-Strasse 2
73447 Oberkochen / DE
[2011/10]
Former [2009/46]For all designated states
Carl Zeiss SMT AG
Rudof-Eber-Str. 2
73447 Oberkochen / DE
Inventor(s)01 / XALTER, Stefan
Frühlingstr. 7
73447 Oberkochen / DE
02 / KWAN, Yim-Bun-Patrick
Warthelandstr. 68
73431 Aalen / DE
03 / MAJOR, András, G.
Adolph-Kolping-Str. 49
73447 Oberkochen / DE
04 / MAUL, Manfred
Elchweg 29
73434 Aalen / DE
05 / EISENMENGER, Johannes
Johannes-Mynsinger-Weg 18
89075 Ulm / DE
06 / FIOLKA, Damian
Heckenrosenweg 36
73447 Oberkochen / DE
07 / HORN, Jan
Heilmeyersteige 158/4
89075 Ulm / DE
08 / DEGÜNTHER, Markus
Langäckerweg 20
73432 Aalen / DE
09 / BACH, Florian
Jenaer Str. 31
73447 Oberkochen / DE
10 / PATRA, Michael
Schubartweg 41
73447 Oberkochen / DE
11 / WANGLER, Johannes
An der Reute 15
89551 Königsbronn / DE
12 / LAYH, Michael
Himmlinger Weg 33
73432 Aalen / DE
 [2009/46]
Representative(s)Schwanhäußer, Gernot, et al
Ostertag & Partner
Patentanwälte mbB
Epplestraße 14
70597 Stuttgart / DE
[N/P]
Former [2012/35]Schwanhäußer, Gernot, et al
Ostertag & Partner
Patentanwälte
Epplestr. 14
70597 Stuttgart / DE
Former [2009/46]Schwanhäusser, Gernot, et al
Ostertag & Partner Patentanwälte Epplestr. 14
70597 Stuttgart / DE
Application number, filing date08715697.206.02.2008
[2009/46]
WO2008EP00920
Priority number, dateDE2007100587506.02.2007         Original published format: DE102007005875
DE2007103624502.08.2007         Original published format: DE102007036245
US20070954150P06.08.2007         Original published format: US 954150 P
US20070015999P21.12.2007         Original published format: US 15999 P
[2009/46]
Filing languageDE
Procedural languageDE
PublicationType: A2 Application without search report
No.:WO2008095695
Date:14.08.2008
Language:DE
[2008/33]
Type: A2 Application without search report 
No.:EP2115535
Date:11.11.2009
Language:DE
The application published by WIPO in one of the EPO official languages on 14.08.2008 takes the place of the publication of the European patent application.
[2009/46]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP2115535
Date:29.08.2012
Language:DE
[2012/35]
Type: B9 Corrected patent specification 
No.:EP2115535
Date:09.01.2013
[2013/02]
Search report(s)International search report - published on:EP30.10.2008
ClassificationIPC:G03F7/20, G02B26/08
[2009/46]
CPC:
G02B26/0833 (EP,US); G03F7/20 (KR); G03F7/70258 (US);
G01B11/002 (US); G01B11/272 (US); G01M11/30 (US);
G01N21/55 (US); G02B26/08 (KR); G03F7/70058 (US);
G03F7/70116 (EP,US); G03F7/70133 (US); G03F7/702 (US);
G03F7/70291 (US); G03F7/70516 (US); G03F7/7085 (EP,US);
G05B13/048 (US); Y10S359/904 (EP,US) (-)
Designated contracting statesAT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   SE,   SI,   SK,   TR [2009/46]
TitleGerman:VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ÜBERWACHUNG VON MEHRFACHSPIEGELANORDNUNGEN IN EINEM BELEUCHTUNGSSYSTEM EINER MIKROLITHOGRAPHISCHEN PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE[2009/46]
English:METHOD AND DEVICE FOR MONITORING MULTIPLE MIRROR ARRAYS IN AN ILLUMINATION SYSTEM OF A MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE APPARATUS[2009/46]
French:PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR SURVEILLER DES SYSTÈMES À MIROIRS MULTIPLES DANS UNE INSTALLATION D'ÉCLAIRAGE D'UN APPAREIL DE PROJECTION MICROLITHOGRAPHIQUE[2012/12]
Former [2009/46]PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR SURVEILLER DES SYSTÈMES À MIROIRS MULTIPLES DANS UNE INSTALLATION D'ÉCLAIRAGE D'INSTALLATION D'ÉCLAIRAGE DE PROJECTION MICROLITHOGRAPHIQUE
Entry into regional phase24.07.2009National basic fee paid 
24.07.2009Designation fee(s) paid 
24.07.2009Examination fee paid 
Examination procedure24.07.2009Amendment by applicant (claims and/or description)
24.07.2009Examination requested  [2009/46]
01.03.2012Communication of intention to grant the patent
13.06.2012Fee for grant paid
13.06.2012Fee for publishing/printing paid
Divisional application(s)EP12005054.7  / EP2511765
The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is  01.03.2012
Opposition(s)30.05.2013No opposition filed within time limit [2013/32]
Fees paidRenewal fee
24.02.2010Renewal fee patent year 03
22.02.2011Renewal fee patent year 04
22.02.2012Renewal fee patent year 05
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU06.02.2008
CY29.08.2012
CZ29.08.2012
DK29.08.2012
EE29.08.2012
FI29.08.2012
HR29.08.2012
IT29.08.2012
LT29.08.2012
LV29.08.2012
MT29.08.2012
PL29.08.2012
RO29.08.2012
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TR29.08.2012
BG29.11.2012
NO29.11.2012
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IS29.12.2012
PT31.12.2012
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IE06.02.2013
LU06.02.2013
BE28.02.2013
CH28.02.2013
FR28.02.2013
LI28.02.2013
MC28.02.2013
[2015/34]
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SE29.08.2012
SI29.08.2012
SK29.08.2012
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LT29.08.2012
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NO29.11.2012
Cited inInternational search[A]EP1426826  (ASML NETHERLANDS BV [NL]) [A] 1-32,56 * paragraphs [0037] - [0054]; figures 2,2a *;
 [DA]US6965119  (SANDSTROEM TORBJOERN [SE], et al) [DA] 1-32,56 * column 3, line 46 - column 7, line 7; figure 3 *;
 [A]US2004057034  (ZINN SHUN YONG [KR], et al) [A] 1-32,56 * paragraphs [0034] - [0044]; figure 3 *;
 [A]US2006050261  (BROTSACK MARKUS [DE]) [A] 1-32,56 * paragraphs [0049] - [0058]; figure 1 *;
 [A]US2004207386  (DURR PETER [DE]) [A] 1-32,56 * paragraphs [0064] - [0087]; figure 1 *
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