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EP About this file: EP2201435

EP2201435 - DEVICE FOR CONTROLLING TEMPERATURE OF AN OPTICAL ELEMENT [Right-click to bookmark this link]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  20.12.2013
Database last updated on 02.11.2024
Most recent event   Tooltip04.09.2015Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): MT		published on 07.10.2015  [2015/41]
Applicant(s)For all designated states
Carl Zeiss SMT GmbH
Rudolf-Eber-Strasse 2
73447 Oberkochen / DE
[2011/10]
Former [2010/26]For all designated states
Carl Zeiss SMT AG
Rudolf-Eber-Strasse 2
73447 Oberkochen / DE
Inventor(s)01 / HAUF, Markus
Hafenberg 4
89075 Ulm / DE
 [2010/26]
Representative(s)Hofmann, Matthias, et al
Rau, Schneck & Hübner
Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB
Königstrasse 2
90402 Nürnberg / DE
[N/P]
Former [2010/26]Hofmann, Matthias, et al
Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Königstrasse 2
90402 Nürnberg / DE
Application number, filing date08837986.207.10.2008
[2010/26]
WO2008EP08428
Priority number, dateUS20070978565P09.10.2007         Original published format: US 978565 P
[2010/26]
Filing languageEN
Procedural languageEN
PublicationType: A2 Application without search report
No.:WO2009046955
Date:16.04.2009
Language:EN
[2009/16]
Type: A2 Application without search report 
No.:EP2201435
Date:30.06.2010
Language:EN
The application published by WIPO in one of the EPO official languages on 16.04.2009 takes the place of the publication of the European patent application.
[2010/26]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP2201435
Date:13.02.2013
Language:EN
[2013/07]
Search report(s)International search report - published on:EP02.12.2010
ClassificationIPC:G02B7/18, G05D23/19
[2012/23]
CPC:
G03F7/70891 (EP,US); G05D23/19 (KR); G02B5/08 (EP,US);
G02B5/0891 (US); G02B7/008 (US); G02B7/1815 (EP,US);
G03B27/26 (EP,US); G03F7/70008 (US); G03F7/70825 (EP,US);
G05D23/1919 (EP,US); G21K1/067 (US); H01L2924/0002 (EP,US) (-)
C-Set:
H01L2924/0002, H01L2924/00 (EP,US)
Former IPC [2010/26]G05D23/19
Designated contracting statesAT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   SE,   SI,   SK,   TR [2010/26]
TitleGerman:VORRICHTUNG ZUR STEUERUNG DER TEMPERATUR EINES OPTISCHEN ELEMENTS[2010/26]
English:DEVICE FOR CONTROLLING TEMPERATURE OF AN OPTICAL ELEMENT[2010/26]
French:DISPOSITIF SERVANT À CONTRÔLER LA TEMPÉRATURE D'UN ÉLÉMENT OPTIQUE[2010/26]
Entry into regional phase30.03.2010National basic fee paid 
30.03.2010Designation fee(s) paid 
30.03.2010Examination fee paid 
Examination procedure30.03.2010Examination requested  [2010/26]
30.12.2010Amendment by applicant (claims and/or description)
23.08.2012Communication of intention to grant the patent
18.12.2012Fee for grant paid
18.12.2012Fee for publishing/printing paid
Divisional application(s)The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is  23.08.2012
Opposition(s)14.11.2013No opposition filed within time limit [2014/04]
Fees paidRenewal fee
25.10.2010Renewal fee patent year 03
20.10.2011Renewal fee patent year 04
23.10.2012Renewal fee patent year 05
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU07.10.2008
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LU07.10.2013
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[2015/41]
Former [2015/34]HU07.10.2008
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IS13.06.2013
Former [2013/36]AT13.02.2013
LT13.02.2013
PL13.02.2013
SE13.02.2013
BG13.05.2013
NO13.05.2013
ES24.05.2013
IS13.06.2013
Former [2013/34]LT13.02.2013
SE13.02.2013
BG13.05.2013
NO13.05.2013
IS13.06.2013
Former [2013/33]LT13.02.2013
NO13.05.2013
Cited inInternational search[A]US2005151954  (BARTRAY PETRUS R [NL], et al) [A] 1-20 * paragraphs [0073] - [0075]; figure 5 *;
 [A]JP2004039851  (NIKON CORP) [A] 1-20 * abstract *;
 [A]EP1477853  (CANON KK [JP]) [A] 1-20 * paragraph [0024] * * paragraphs [0032] - [0034] *;
 [AP]EP1921505  (ASML NETHERLANDS BV [NL], et al) [AP] 1-20 * paragraphs [0070] - [0071]; figure 6 *
by applicantUS2004035570
 US2004051984
 US2005151954
 JP2004039851
 EP1477853
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