blank Quick help
blank Maintenance news

Scheduled maintenance

Regular maintenance outages:
between 05.00 and 05.15 hrs CET (Monday to Sunday).

Other outages
Availability

2022.02.11

More...
blank News flashes

News Flashes

New version of the European Patent Register – SPC proceedings information in the Unitary Patent Register.

2024-07-24

More...
blank Related links

Release notes
European Patent Register Assistant
European Patent Register Resource Book
European Patent Register – pocket guide
FAQ - European Patent Register
Federated Register (Flyer)
Global Dossier (Flyer)
Register events
Deep link coverage
Federated Register content
The Patent Information Tour
Fair use charter

Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP2300877

EP2300877 - ACTUATOR AND PROJECTION EXPOSURE SYSTEM [Right-click to bookmark this link]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  25.04.2014
Database last updated on 04.11.2024
Most recent event   Tooltip17.07.2015Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): HU, LU		published on 19.08.2015  [2015/34]
Applicant(s)For all designated states
Carl Zeiss SMT GmbH
Rudolf-Eber-Strasse 2
73447 Oberkochen / DE
[2011/13]
Inventor(s)01 / WEBER, Ulrich
Rosensteinweg 43
89075 Ulm / DE
02 / HEMBACHER, Stefan
Bussardweg 7
86399 Bobingen / DE
03 / SCHÖPPACH, Armin
Schlehenweg 50
73431 Aalen / DE
 [2011/25]
Former [2011/13]01 / WEBER, Ulrich
Lichtensteinstrasse 1
89075 Ulm / DE
02 / HEMBACHER, Stefan
Bussardweg 7
86399 Bobingen / DE
03 / SCHÖPPACH, Armin
Schlehenweg 50
73431 Aalen / DE
Representative(s)Raunecker, Klaus Peter
Lorenz & Kollegen
Patentanwälte Partnerschaftsgesellschaft mbB
Alte Ulmer Strasse 2
89522 Heidenheim / DE
[N/P]
Former [2013/25]Raunecker, Klaus Peter
Lorenz & Kollegen Patentanwälte Partnerschaftsgesellschaft Alte Ulmer Strasse 2
89522 Heidenheim / DE
Former [2011/13]Raunecker, Klaus Peter
Lorenz & Kollegen Patentanwälte Partnerschaftsgesellschaft Alte Ulmer Strasse 2
89522 Heidenheim / DE
Application number, filing date09776995.407.07.2009
[2011/13]
WO2009EP04892
Priority number, dateDE2008103428522.07.2008         Original published format: DE102008034285
[2011/13]
Filing languageDE
Procedural languageDE
PublicationType: A1 Application with search report
No.:WO2010009807
Date:28.01.2010
Language:DE
[2010/04]
Type: A1 Application with search report 
No.:EP2300877
Date:30.03.2011
Language:DE
The application published by WIPO in one of the EPO official languages on 28.01.2010 takes the place of the publication of the European patent application.
[2011/13]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP2300877
Date:19.06.2013
Language:DE
[2013/25]
Search report(s)International search report - published on:EP28.01.2010
ClassificationIPC:G03F7/20, H01L41/09
[2011/13]
CPC:
G03F7/70258 (EP,KR,US); H10N30/20 (KR); G03F7/70141 (US);
F16H21/44 (US); G03F7/2022 (KR); G03F7/70825 (EP,KR,US);
H01L21/0274 (KR); H02N1/002 (EP,KR,US); H02N2/023 (EP,KR,US);
Y10T74/18992 (EP,US) (-)
Designated contracting statesAT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2011/13]
TitleGerman:AKTUATOR UND PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE[2011/13]
English:ACTUATOR AND PROJECTION EXPOSURE SYSTEM[2011/13]
French:ACTIONNEUR ET INSTALLATION D'EXPOSITION PAR PROJECTION[2011/13]
Entry into regional phase01.02.2011National basic fee paid 
01.02.2011Designation fee(s) paid 
01.02.2011Examination fee paid 
Examination procedure01.02.2011Examination requested  [2011/13]
11.02.2013Communication of intention to grant the patent
06.05.2013Fee for grant paid
06.05.2013Fee for publishing/printing paid
Divisional application(s)The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is  11.02.2013
Opposition(s)20.03.2014No opposition filed within time limit [2014/22]
Fees paidRenewal fee
25.07.2011Renewal fee patent year 03
23.07.2012Renewal fee patent year 04
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU07.07.2009
CY19.06.2013
CZ19.06.2013
DK19.06.2013
EE19.06.2013
FI19.06.2013
HR19.06.2013
IT19.06.2013
LT19.06.2013
LV19.06.2013
MC19.06.2013
MK19.06.2013
MT19.06.2013
PL19.06.2013
RO19.06.2013
SE19.06.2013
SI19.06.2013
SK19.06.2013
SM19.06.2013
TR19.06.2013
IE07.07.2013
LU07.07.2013
BE31.07.2013
CH31.07.2013
LI31.07.2013
FR19.08.2013
BG19.09.2013
GB19.09.2013
NO19.09.2013
GR20.09.2013
ES30.09.2013
IS19.10.2013
PT21.10.2013
[2015/34]
Former [2015/32]CY19.06.2013
CZ19.06.2013
DK19.06.2013
EE19.06.2013
FI19.06.2013
HR19.06.2013
IT19.06.2013
LT19.06.2013
LV19.06.2013
MC19.06.2013
MK19.06.2013
MT19.06.2013
PL19.06.2013
RO19.06.2013
SE19.06.2013
SI19.06.2013
SK19.06.2013
SM19.06.2013
TR19.06.2013
IE07.07.2013
BE31.07.2013
CH31.07.2013
LI31.07.2013
FR19.08.2013
BG19.09.2013
GB19.09.2013
NO19.09.2013
GR20.09.2013
ES30.09.2013
IS19.10.2013
PT21.10.2013
Former [2015/24]CY19.06.2013
CZ19.06.2013
DK19.06.2013
EE19.06.2013
FI19.06.2013
HR19.06.2013
IT19.06.2013
LT19.06.2013
LV19.06.2013
MC19.06.2013
PL19.06.2013
RO19.06.2013
SE19.06.2013
SI19.06.2013
SK19.06.2013
SM19.06.2013
IE07.07.2013
BE31.07.2013
CH31.07.2013
LI31.07.2013
FR19.08.2013
BG19.09.2013
GB19.09.2013
NO19.09.2013
GR20.09.2013
ES30.09.2013
IS19.10.2013
PT21.10.2013
Former [2014/34]CY19.06.2013
CZ19.06.2013
DK19.06.2013
EE19.06.2013
FI19.06.2013
HR19.06.2013
IT19.06.2013
LT19.06.2013
LV19.06.2013
MC19.06.2013
PL19.06.2013
RO19.06.2013
SE19.06.2013
SI19.06.2013
SK19.06.2013
IE07.07.2013
BE31.07.2013
CH31.07.2013
LI31.07.2013
FR19.08.2013
BG19.09.2013
GB19.09.2013
NO19.09.2013
GR20.09.2013
ES30.09.2013
IS19.10.2013
PT21.10.2013
Former [2014/33]CY19.06.2013
CZ19.06.2013
DK19.06.2013
EE19.06.2013
FI19.06.2013
HR19.06.2013
IT19.06.2013
LT19.06.2013
LV19.06.2013
MC19.06.2013
PL19.06.2013
RO19.06.2013
SE19.06.2013
SI19.06.2013
SK19.06.2013
IE07.07.2013
BE31.07.2013
CH31.07.2013
LI31.07.2013
FR19.08.2013
BG19.09.2013
NO19.09.2013
GR20.09.2013
ES30.09.2013
IS19.10.2013
PT21.10.2013
Former [2014/24]CY19.06.2013
CZ19.06.2013
DK19.06.2013
EE19.06.2013
FI19.06.2013
HR19.06.2013
IT19.06.2013
LT19.06.2013
LV19.06.2013
MC19.06.2013
PL19.06.2013
RO19.06.2013
SE19.06.2013
SI19.06.2013
SK19.06.2013
BE31.07.2013
CH31.07.2013
LI31.07.2013
FR19.08.2013
BG19.09.2013
NO19.09.2013
GR20.09.2013
ES30.09.2013
IS19.10.2013
PT21.10.2013
Former [2014/23]CY19.06.2013
CZ19.06.2013
DK19.06.2013
EE19.06.2013
FI19.06.2013
HR19.06.2013
LT19.06.2013
LV19.06.2013
MC19.06.2013
PL19.06.2013
RO19.06.2013
SE19.06.2013
SI19.06.2013
SK19.06.2013
BE31.07.2013
CH31.07.2013
LI31.07.2013
BG19.09.2013
NO19.09.2013
GR20.09.2013
ES30.09.2013
IS19.10.2013
PT21.10.2013
Former [2014/21]CY19.06.2013
CZ19.06.2013
DK19.06.2013
EE19.06.2013
FI19.06.2013
HR19.06.2013
LT19.06.2013
LV19.06.2013
MC19.06.2013
PL19.06.2013
RO19.06.2013
SE19.06.2013
SI19.06.2013
SK19.06.2013
CH31.07.2013
LI31.07.2013
BG19.09.2013
NO19.09.2013
GR20.09.2013
ES30.09.2013
IS19.10.2013
PT21.10.2013
Former [2014/20]CY19.06.2013
CZ19.06.2013
EE19.06.2013
FI19.06.2013
HR19.06.2013
LT19.06.2013
LV19.06.2013
MC19.06.2013
PL19.06.2013
RO19.06.2013
SE19.06.2013
SI19.06.2013
SK19.06.2013
CH31.07.2013
LI31.07.2013
BG19.09.2013
NO19.09.2013
GR20.09.2013
ES30.09.2013
IS19.10.2013
PT21.10.2013
Former [2014/18]CY19.06.2013
CZ19.06.2013
EE19.06.2013
FI19.06.2013
HR19.06.2013
LT19.06.2013
LV19.06.2013
MC19.06.2013
PL19.06.2013
RO19.06.2013
SE19.06.2013
SI19.06.2013
SK19.06.2013
BG19.09.2013
NO19.09.2013
GR20.09.2013
ES30.09.2013
IS19.10.2013
PT21.10.2013
Former [2014/16]CZ19.06.2013
EE19.06.2013
FI19.06.2013
HR19.06.2013
LT19.06.2013
LV19.06.2013
MC19.06.2013
PL19.06.2013
RO19.06.2013
SE19.06.2013
SI19.06.2013
SK19.06.2013
CY10.07.2013
BG19.09.2013
NO19.09.2013
GR20.09.2013
ES30.09.2013
IS19.10.2013
PT21.10.2013
Former [2014/11]CZ19.06.2013
EE19.06.2013
FI19.06.2013
HR19.06.2013
LT19.06.2013
LV19.06.2013
PL19.06.2013
RO19.06.2013
SE19.06.2013
SI19.06.2013
SK19.06.2013
CY10.07.2013
BG19.09.2013
NO19.09.2013
GR20.09.2013
ES30.09.2013
IS19.10.2013
PT21.10.2013
Former [2014/10]CZ19.06.2013
EE19.06.2013
FI19.06.2013
HR19.06.2013
LT19.06.2013
LV19.06.2013
SE19.06.2013
SI19.06.2013
SK19.06.2013
CY10.07.2013
BG19.09.2013
NO19.09.2013
GR20.09.2013
ES30.09.2013
IS19.10.2013
PT21.10.2013
Former [2014/08]FI19.06.2013
HR19.06.2013
LT19.06.2013
LV19.06.2013
SE19.06.2013
SI19.06.2013
BG19.09.2013
NO19.09.2013
GR20.09.2013
ES30.09.2013
PT21.10.2013
Former [2014/02]FI19.06.2013
HR19.06.2013
LT19.06.2013
LV19.06.2013
SE19.06.2013
SI19.06.2013
BG19.09.2013
NO19.09.2013
GR20.09.2013
ES30.09.2013
Former [2013/51]FI19.06.2013
HR19.06.2013
LT19.06.2013
SE19.06.2013
SI19.06.2013
BG19.09.2013
NO19.09.2013
GR20.09.2013
ES30.09.2013
Former [2013/50]FI19.06.2013
LT19.06.2013
SE19.06.2013
SI19.06.2013
BG19.09.2013
NO19.09.2013
GR20.09.2013
ES30.09.2013
Former [2013/49]FI19.06.2013
LT19.06.2013
SE19.06.2013
SI19.06.2013
NO19.09.2013
GR20.09.2013
ES30.09.2013
Former [2013/48]LT19.06.2013
NO19.09.2013
ES30.09.2013
Former [2013/47]LT19.06.2013
NO19.09.2013
Cited inInternational search[A]DE1933205  (SIEMENS AG);
 [A]JPS5576559  (CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI);
 [A]JPH0993961  (SUZUKI KAZUMA)
The EPO accepts no responsibility for the accuracy of data originating from other authorities; in particular, it does not guarantee that it is complete, up to date or fit for specific purposes.