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EP About this file: EP2331649

EP2331649 - METHODS AND COMPOSITIONS FOR POLISHING SILICON-CONTAINING SUBSTRATES [Right-click to bookmark this link]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  19.04.2019
Database last updated on 14.11.2024
FormerThe patent has been granted
Status updated on  11.05.2018
FormerGrant of patent is intended
Status updated on  07.01.2018
FormerExamination is in progress
Status updated on  11.03.2017
Most recent event   Tooltip26.06.2020Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): MK		published on 29.07.2020  [2020/31]
Applicant(s)For all designated states
Cabot Microelectronics Corporation
Legal Department 870 North Commons Drive
Aurora, Illinois 60504 / US
[2011/24]
Inventor(s)01 / DE REGE THESAURO, Francesco
c/o Legal Department
Cabot Microelectronics Corporation
870 North Commons Drive
Aurora, IL 60504 / US
02 / CHEN, Zhan
c/o Legal Department
Cabot Microelectronics Corporation
870 North Commons Drive
Aurora, IL 60504 / US
 [2018/24]
Former [2011/24]01 / DE REGE THESAURO, Francesco
c/o Legal Department Cabot Microelectronics Corporation 870 North Commons Drive
Aurora, IL 60504 / US
02 / CHEN, Zhan
c/o Legal Department Cabot Microelectronics Corporation 870 North Commons Drive
Aurora, IL 60504 / US
Representative(s)Barker Brettell LLP
100 Hagley Road
Edgbaston
Birmingham B16 8QQ / GB
[2018/24]
Former [2011/24]Trueman, Lucy Petra
Barker Brettell LLP 100 Hagley Road Edgbaston Birmingham
B16 8QQ / GB
Application number, filing date09803244.423.07.2009
[2011/24]
WO2009US04281
Priority number, dateUS2008022102330.07.2008         Original published format: US 221023
[2011/24]
Filing languageEN
Procedural languageEN
PublicationType: A2 Application without search report
No.:WO2010014180
Date:04.02.2010
Language:EN
[2010/05]
Type: A2 Application without search report 
No.:EP2331649
Date:15.06.2011
Language:EN
The application published by WIPO in one of the EPO official languages on 04.02.2010 takes the place of the publication of the European patent application.
[2011/24]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP2331649
Date:13.06.2018
Language:EN
[2018/24]
Search report(s)International search report - published on:KR22.04.2010
(Supplementary) European search report - dispatched on:EP31.05.2013
ClassificationIPC:C09K3/14, H01L21/321, B24B37/04, C09G1/02, H01L21/3105
[2018/03]
CPC:
C09K3/1463 (EP,US); B24B1/00 (KR); B24B37/044 (EP,US);
C09G1/02 (EP,US); C09K3/14 (KR); H01L21/31053 (EP,US);
H01L21/3212 (EP,US) (-)
Former IPC [2013/27]C09K3/14, H01L21/321, B24B37/04, C09G1/02
Former IPC [2011/24]C09K3/14, B24B1/00
Designated contracting statesAT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2018/24]
Former [2011/24]AT,  BE,  BG,  CH,  CY,  CZ,  DE,  DK,  EE,  ES,  FI,  FR,  GB,  GR,  HR,  HU,  IE,  IS,  IT,  LI,  LT,  LU,  LV,  MC,  MK,  MT,  NL,  NO,  PL,  PT,  RO,  SE,  SI,  SK,  SM,  TR 
TitleGerman:POLIERVERFAHREN UND POLIERZUSAMMENSETZUNGEN FÜR SILIZIUMHALTIGE SUBSTRATE[2011/24]
English:METHODS AND COMPOSITIONS FOR POLISHING SILICON-CONTAINING SUBSTRATES[2011/24]
French:PROCÉDÉS ET COMPOSITIONS POUR LE POLISSAGE DE SUBSTRATS CONTENANT DU SILICIUM[2011/24]
Entry into regional phase07.02.2011National basic fee paid 
07.02.2011Search fee paid 
07.02.2011Designation fee(s) paid 
07.02.2011Examination fee paid 
Examination procedure07.02.2011Examination requested  [2011/24]
23.12.2013Amendment by applicant (claims and/or description)
18.03.2014Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M06)
26.09.2014Reply to a communication from the examining division
01.03.2017Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M04)
19.06.2017Reply to a communication from the examining division
08.01.2018Communication of intention to grant the patent
03.05.2018Fee for grant paid
03.05.2018Fee for publishing/printing paid
03.05.2018Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is  18.03.2014
Opposition(s)14.03.2019No opposition filed within time limit [2019/21]
Fees paidRenewal fee
16.07.2011Renewal fee patent year 03
10.07.2012Renewal fee patent year 04
08.07.2013Renewal fee patent year 05
08.07.2014Renewal fee patent year 06
09.07.2015Renewal fee patent year 07
11.07.2016Renewal fee patent year 08
10.07.2017Renewal fee patent year 09
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU23.07.2009
AT13.06.2018
CY13.06.2018
CZ13.06.2018
DK13.06.2018
EE13.06.2018
ES13.06.2018
FI13.06.2018
HR13.06.2018
IT13.06.2018
LT13.06.2018
LV13.06.2018
MC13.06.2018
MK13.06.2018
NL13.06.2018
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[2020/31]
Former [2020/28]HU23.07.2009
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IS13.10.2018
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Former [2018/50]CY13.06.2018
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Former [2018/49]CY13.06.2018
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Former [2018/47]ES13.06.2018
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Documents cited:Search[X]EP1369906  (HITACHI CHEMICAL CO LTD [JP]) [X] 1-14 * claims 1,3-5,9-14 * * paragraphs [0052] - [0054] - [0062] - [0064] - [0080] - [0082] - [0095] *;
 [A]US2003228763  (SCHROEDER DAVID J [US], et al) [A] 1-14 * paragraphs [0025] - [0032] - [0 41] * * claims 17-25 *;
 [A]US2004152309  (CARTER PHILLIP W [US], et al) [A] 1-14 * the whole document *;
 [A]WO2008013226  (SHOWA DENKO KK [JP], et al) [A] 1-14* the whole document *;
 [A]US2008081542  (HONG GI-SIK [KR], et al) [A] 1-14 * claims 1-10 *
International search[X]US5578362  (REINHARDT HEINZ F [US], et al);
 [X]US6022264  (COOK LEE MELBOURNE [US], et al);
 [X]US6447563  (MAHULIKAR DEEPAK [US]);
 [X]WO03068882  (EKC TECHNOLOGY INC [US]);
 [X]US2005221726  (HONMA YUICHI [JP], et al)
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