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EP About this file: EP2256553

EP2256553 - Fluid handling structure and lithographic apparatus [Right-click to bookmark this link]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  31.03.2017
Database last updated on 05.10.2024
Most recent event   Tooltip10.07.2020Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): IS		published on 12.08.2020  [2020/33]
Applicant(s)For all designated states
ASML Netherlands B.V.
De Run 6501
5504 DR Veldhoven / NL
[2016/21]
Former [2010/48]For all designated states
ASML Netherlands B.V.
De Run 6501
5504 DR Veldhoven / NL
Inventor(s)01 / Riepen, Michel
Rietbeek 9
5501 CA Veldhoven / NL
02 / Kemper, Nicolaas
Eimerick 99
5653 RL Eindhoven / NL
 [2010/48]
Representative(s)Maas, Abraham Johannes, et al
ASML Netherlands B.V.
Corporate Intellectual Property
De Run 6501
P.O. Box 324
5500 AH Veldhoven / NL
[N/P]
Former [2016/21]Maas, Abraham Johannes, et al
ASML Netherlands B.V.
Corporate Intellectual Property
P.O. Box 324
5500 AH Veldhoven / NL
Former [2010/50]Maas, Abraham Johannes, et al
ASML Netherlands B.V. Corporate Intellectual Property P.O. Box 324
5500 AH Veldhoven / NL
Former [2010/48]Corcoran, Gregory Martin Mason
ASML Netherlands B.V. CIP De Run 6501
5504 DR Veldhoven / NL
Application number, filing date10162904.617.05.2010
[2010/48]
Priority number, dateUS20090181158P26.05.2009         Original published format: US 181158 P
US20090239555P03.09.2009         Original published format: US 239555 P
[2010/48]
Filing languageEN
Procedural languageEN
PublicationType: A1 Application with search report 
No.:EP2256553
Date:01.12.2010
Language:EN
[2010/48]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP2256553
Date:25.05.2016
Language:EN
[2016/21]
Search report(s)(Supplementary) European search report - dispatched on:EP20.09.2010
ClassificationIPC:G03F7/20
[2010/48]
CPC:
G03F7/70341 (EP,KR,US); G03F1/66 (KR); G03F7/2041 (KR);
H01L21/0274 (KR); Y10T137/8376 (EP,US)
Designated contracting statesAL,   AT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2016/21]
Former [2010/48]AL,  AT,  BE,  BG,  CH,  CY,  CZ,  DE,  DK,  EE,  ES,  FI,  FR,  GB,  GR,  HR,  HU,  IE,  IS,  IT,  LI,  LT,  LU,  LV,  MC,  MK,  MT,  NL,  NO,  PL,  PT,  RO,  SE,  SI,  SK,  SM,  TR 
TitleGerman:Flüssigkeitshandhabungsstruktur und Lithographievorrichtung[2010/48]
English:Fluid handling structure and lithographic apparatus[2010/48]
French:Structure de manipulation de fluide et appareil lithographique[2010/48]
Examination procedure23.11.2010Amendment by applicant (claims and/or description)
20.04.2011Examination requested  [2011/22]
02.04.2014Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M06)
09.10.2014Reply to a communication from the examining division
12.06.2015Cancellation of oral proceeding that was planned for 02.07.2015
02.07.2015Date of oral proceedings (cancelled)
27.07.2015Communication of intention to grant the patent
06.11.2015Fee for grant paid
06.11.2015Fee for publishing/printing paid
26.11.2015Communication of intention to grant the patent
19.02.2016Communication of intention to grant the patent
14.04.2016Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is  02.04.2014
Opposition(s)28.02.2017No opposition filed within time limit [2017/18]
Fees paidRenewal fee
23.03.2012Renewal fee patent year 03
27.05.2013Renewal fee patent year 04
26.05.2014Renewal fee patent year 05
21.05.2015Renewal fee patent year 06
30.03.2016Renewal fee patent year 07
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU17.05.2010
AL25.05.2016
AT25.05.2016
BE25.05.2016
BG25.05.2016
CY25.05.2016
CZ25.05.2016
DK25.05.2016
EE25.05.2016
ES25.05.2016
FI25.05.2016
HR25.05.2016
IT25.05.2016
LT25.05.2016
LV25.05.2016
MC25.05.2016
MK25.05.2016
PL25.05.2016
RO25.05.2016
SE25.05.2016
SI25.05.2016
SK25.05.2016
SM25.05.2016
TR25.05.2016
NO25.08.2016
GR26.08.2016
IS25.09.2016
PT26.09.2016
[2020/33]
Former [2020/15]HU17.05.2010
AL25.05.2016
AT25.05.2016
BE25.05.2016
BG25.05.2016
CY25.05.2016
CZ25.05.2016
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HR25.05.2016
IT25.05.2016
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LV25.05.2016
MC25.05.2016
MK25.05.2016
PL25.05.2016
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SE25.05.2016
SI25.05.2016
SK25.05.2016
SM25.05.2016
TR25.05.2016
NO25.08.2016
GR26.08.2016
PT26.09.2016
Former [2019/51]HU17.05.2010
AL25.05.2016
AT25.05.2016
BE25.05.2016
BG25.05.2016
CY25.05.2016
CZ25.05.2016
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MK25.05.2016
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RO25.05.2016
SE25.05.2016
SK25.05.2016
NO25.08.2016
GR26.08.2016
PT26.09.2016
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DK25.05.2016
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LV25.05.2016
SE25.05.2016
NO25.08.2016
GR26.08.2016
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FI25.05.2016
HR25.05.2016
IT25.05.2016
LT25.05.2016
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NO25.08.2016
GR26.08.2016
PT26.09.2016
Former [2016/52]ES25.05.2016
FI25.05.2016
HR25.05.2016
LT25.05.2016
LV25.05.2016
SE25.05.2016
NO25.08.2016
GR26.08.2016
PT26.09.2016
Former [2016/51]ES25.05.2016
FI25.05.2016
HR25.05.2016
LT25.05.2016
LV25.05.2016
NO25.08.2016
GR26.08.2016
PT26.09.2016
Former [2016/50]ES25.05.2016
FI25.05.2016
HR25.05.2016
LT25.05.2016
LV25.05.2016
NO25.08.2016
Former [2016/49]FI25.05.2016
LT25.05.2016
NO25.08.2016
Former [2016/46]LT25.05.2016
NO25.08.2016
Documents cited:Search[A]EP1681597  (ASML NETHERLANDS BV [NL]) [A] 1,14,15 * abstract * * figures 1,6 ** paragraphs [0001] , [0029] , [0038] *;
 [XDI]US2008212046  (RIEPEN MICHEL [NL], et al) [XD] 1-6,8-10,13-15 * abstract * * figures 1-5,12,13 * * paragraphs [0002] , [0062] , [0077] - [0081] * [I] 7,11,12
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