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Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP2447775

EP2447775 - Resist underlayer film composition and patterning process using the same [Right-click to bookmark this link]
Status	No opposition filed within time limit Status updated on 04.04.2014 Database last updated on 13.11.2024
Most recent event Tooltip	12.10.2018	Lapse of the patent in a contracting state New state(s): AL	published on 14.11.2018 [2018/46]
Applicant(s)	For all designated states Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 6-2 Ohtemachi 2-chome Chiyoda-ku Tokyo / JP
	[2012/18]
Inventor(s)	01 / Ogihara, Tsutomu c/o New Functional Materials Research Center Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 28-1 Nishi-Fukushima Kubiki-ku, Jyoetsu-shi Niigata-ken / JP
	02 / Kori, Daisuke c/o New Functional Materials Research Center Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 28-1 Nishi-Fukushima Kubiki-ku, Jyoetsu-shi Niigata-ken / JP
	03 / Biyajima, Yusuke c/o New Functional Materials Research Center Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 28-1 Nishi-Fukushima Kubiki-ku, Jyoetsu-shi Niigata-ken / JP
	04 / Fujii, Toshihiko c/o New Functional Materials Research Center Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 28-1 Nishi-Fukushima Kubiki-ku, Jyoetsu-shi Niigata-ken / JP
	05 / Watanabe, Takeru c/o New Functional Materials Research Center Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 28-1 Nishi-Fukushima Kubiki-ku, Jyoetsu-shi Niigata-ken / JP
	06 / Kinsho, Takeshi c/o New Functional Materials Research Center Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 28-1 Nishi-Fukushima Kubiki-ku, Jyoetsu-shi Niigata-ken / JP
	[2013/01]
Former [2012/18]	01 / Ogihara, Tsutomu c/o New Functional Materials Research Center Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 28-1 Nishi-Fukushima Kubiki-ku, Jyoetsu-shi Niigata-ken / JP
	02 / Kori, Daisuke c/o New Functional Materials Research Center Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 28-1 Nishi-Fukushima Kubiki-ku, Jyoetsu-shi Niigata-ken / JP
	03 / Biyajima, Yusuke c/o New Functional Materials Research Center Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 28-1 Nishi-Fukushima Kubiki-ku, Jyoetsu-shi Niigata-ken / JP
	04 / Fujii, Toshihiko c/o New Functional Materials Research Center Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 28-1 Nishi-Fukushima Kubiki-ku, Jyoetsu-shi Niigata-ken / JP
	05 / Watanabe, Takeru c/o New Functional Materials Research Center Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 28-1 Nishi-Fukushima Kubiki-ku, Jyoetsu-shi Niigata-ken / JP
	06 / Kinsho, Takeshi c/o New Functional Materials Research Center Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 28-1 Nishi-Fukushima Kubiki-ku, Jyoetsu-shi Niigata-ken / JP
Representative(s)	Wibbelmann, Jobst Wuesthoff & Wuesthoff Patentanwälte und Rechtsanwalt PartG mbB Schweigerstrasse 2 81541 München / DE
	[N/P]
Former [2012/18]	Wibbelmann, Jobst Wuesthoff & Wuesthoff Patent- und Rechtsanwälte Schweigerstrasse 2 81541 München / DE
Application number, filing date	11008594.1	26.10.2011
	[2012/18]
Priority number, date	JP20100244981	01.11.2010 Original published format: JP 2010244981
	[2012/18]
Filing language	EN
Procedural language	EN
Publication	Type:	A1 Application with search report
	No.:	EP2447775
	Date:	02.05.2012
	Language:	EN
	[2012/18]
	Type:	B1 Patent specification
	No.:	EP2447775
	Date:	29.05.2013
	Language:	EN
	[2013/22]
Search report(s)	(Supplementary) European search report - dispatched on:	EP	21.03.2012
Classification	IPC:	G03F7/09	[2012/18]
	CPC:	G03F7/091 (EP,KR,US); G03F7/094 (EP,KR,US); G03F7/11 (KR); G03F7/30 (KR); H01L21/0276 (KR); H01L21/0337 (KR)
Designated contracting states	AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR [2012/18]
Title	German:	Resistunterschichtzusammensetzung und Strukturierungsverfahren, das diese einsetzt	[2012/18]
	English:	Resist underlayer film composition and patterning process using the same	[2012/18]
	French:	Composition de film de sous-couche de réserve et procédé de formation de motif l'utilisant	[2012/18]
Examination procedure	04.09.2012	Examination requested [2012/42]
	05.12.2012	Communication of intention to grant the patent
	03.04.2013	Fee for grant paid
	03.04.2013	Fee for publishing/printing paid
Divisional application(s)	The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is 05.12.2012
Opposition(s)	03.03.2014	No opposition filed within time limit [2014/19]
Opt-out from the exclusive Tooltip competence of the Unified Patent Court	See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
	Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition Tooltip	HU	26.10.2011
	AL	29.05.2013
	AT	29.05.2013
	BE	29.05.2013
	CY	29.05.2013
	CZ	29.05.2013
	DK	29.05.2013
	EE	29.05.2013
	FI	29.05.2013
	HR	29.05.2013
	IT	29.05.2013
	LT	29.05.2013
	LV	29.05.2013
	MC	29.05.2013
	MK	29.05.2013
	MT	29.05.2013
	NL	29.05.2013
	PL	29.05.2013
	RO	29.05.2013
	RS	29.05.2013
	SE	29.05.2013
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	SK	29.05.2013
	SM	29.05.2013
	TR	29.05.2013
	BG	29.08.2013
	NO	29.08.2013
	GR	30.08.2013
	ES	09.09.2013
	IS	29.09.2013
	PT	30.09.2013
	IE	26.10.2013
	LU	26.10.2013
	FR	31.10.2013
	[2018/46]
Former [2015/41]	HU	26.10.2011
	AT	29.05.2013
	BE	29.05.2013
	CY	29.05.2013
	CZ	29.05.2013
	DK	29.05.2013
	EE	29.05.2013
	FI	29.05.2013
	HR	29.05.2013
	IT	29.05.2013
	LT	29.05.2013
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	MC	29.05.2013
	MK	29.05.2013
	MT	29.05.2013
	NL	29.05.2013
	PL	29.05.2013
	RO	29.05.2013
	RS	29.05.2013
	SE	29.05.2013
	SI	29.05.2013
	SK	29.05.2013
	SM	29.05.2013
	TR	29.05.2013
	BG	29.08.2013
	NO	29.08.2013
	GR	30.08.2013
	ES	09.09.2013
	IS	29.09.2013
	PT	30.09.2013
	IE	26.10.2013
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	FR	31.10.2013
Former [2015/34]	HU	26.10.2011
	AT	29.05.2013
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Former [2015/32]	AT	29.05.2013
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	IT	29.05.2013
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	SE	29.05.2013
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	SM	29.05.2013
	TR	29.05.2013
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Former [2015/30]	AT	29.05.2013
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	NO	29.08.2013
	GR	30.08.2013
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	IS	29.09.2013
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	GR	30.08.2013
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	IS	29.09.2013
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	FR	31.10.2013
Former [2014/25]	AT	29.05.2013
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	PL	29.05.2013
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	SI	29.05.2013
	SK	29.05.2013
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	NO	29.08.2013
	GR	30.08.2013
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	IS	29.09.2013
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Former [2014/11]	AT	29.05.2013
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	CZ	29.05.2013
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	RS	29.05.2013
	SE	29.05.2013
	SI	29.05.2013
	SK	29.05.2013
	BG	29.08.2013
	NO	29.08.2013
	GR	30.08.2013
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	IS	29.09.2013
	PT	30.09.2013
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	NO	29.08.2013
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Former [2014/09]	AT	29.05.2013
	BE	29.05.2013
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Former [2014/06]	AT	29.05.2013
	BE	29.05.2013
	FI	29.05.2013
	HR	29.05.2013
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	LV	29.05.2013
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	GR	30.08.2013
	ES	09.09.2013
	IS	29.09.2013
	PT	30.09.2013
Former [2014/02]	AT	29.05.2013
	FI	29.05.2013
	HR	29.05.2013
	LT	29.05.2013
	LV	29.05.2013
	PL	29.05.2013
	RS	29.05.2013
	SE	29.05.2013
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	GR	30.08.2013
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	IS	29.09.2013
	PT	30.09.2013
Former [2013/51]	AT	29.05.2013
	FI	29.05.2013
	HR	29.05.2013
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	SE	29.05.2013
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