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Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP2381310

EP2381310 - Fluid handling structure and lithographic apparatus [Right-click to bookmark this link]
Former [2011/43]Fluid handling structure, lithographic apparatus and device manufacturing method
[2014/49]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  11.03.2016
Database last updated on 12.07.2024
Most recent event   Tooltip12.10.2018Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): AL		published on 14.11.2018  [2018/46]
Applicant(s)For all designated states
ASML Netherlands BV
Corporate IP
De Run 6501
5504 DR Veldhoven / NL
[N/P]
Former [2011/43]For all designated states
ASML Netherlands BV
Corporate IP De Run 6501
5504 DR Veldhoven / NL
Inventor(s)01 / Cortie, Rogier
Concordiahof 11
6014 CK, Ittervoort / NL
02 / Liebregts, Paulus
Dorpstraat 45
5504 HB, Veldhoven / NL
03 / Riepen, Michel
Rietbeek 9
5501 CA, Veldhoven / NL
04 / Evangelista, Fabrizio
Engelsbergenstraat 21
5616 JB, Eindhoven / NL
 [2011/43]
Representative(s)Maas, Abraham Johannes, et al
ASML Netherlands B.V.
Corporate Intellectual Property
De Run 6501
P.O. Box 324
5500 AH Veldhoven / NL
[N/P]
Former [2012/52]Maas, Abraham Johannes, et al
ASML Netherlands B.V.
Corporate Intellectual Property
P.O. Box 324
5500 AH Veldhoven / NL
Former [2011/43]Maas, Abraham Johannes
ASML Netherlands B.V. De Run 6501
5504 DR Veldhoven / NL
Application number, filing date11156770.703.03.2011
[2011/43]
Priority number, dateUS20100326972P22.04.2010         Original published format: US 326972 P
US20100362961P09.07.2010         Original published format: US 362961 P
[2013/09]
Former [2011/43]US20100362972P22.04.2010
US20100362961P09.07.2010
Filing languageEN
Procedural languageEN
PublicationType: A1 Application with search report 
No.:EP2381310
Date:26.10.2011
Language:EN
[2011/43]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP2381310
Date:06.05.2015
Language:EN
[2015/19]
Search report(s)(Supplementary) European search report - dispatched on:EP07.06.2011
ClassificationIPC:G03F7/20
[2011/43]
CPC:
G03F7/70341 (EP,KR,US); H01L21/0274 (KR); G03F7/2041 (KR)
Designated contracting statesAL,   AT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   RS,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2011/43]
TitleGerman:Flüssigkeitshandhabungsstruktur und lithographischer Apparat[2014/49]
English:Fluid handling structure and lithographic apparatus[2014/49]
French:Structure de manipulation de fluide et appareil lithographique[2014/49]
Former [2011/43]Flüssigkeitshandhabungsstruktur, lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Former [2011/43]Fluid handling structure, lithographic apparatus and device manufacturing method
Former [2011/43]Structure de manipulation de fluide, appareil lithographique et procédé de fabrication d'un dispositif
Examination procedure15.11.2011Amendment by applicant (claims and/or description)
15.11.2011Examination requested  [2011/51]
12.03.2014Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M06)
17.09.2014Reply to a communication from the examining division
21.11.2014Communication of intention to grant the patent
16.03.2015Fee for grant paid
16.03.2015Fee for publishing/printing paid
16.03.2015Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is  12.03.2014
Opposition(s)09.02.2016No opposition filed within time limit [2016/15]
Fees paidRenewal fee
26.03.2013Renewal fee patent year 03
21.03.2014Renewal fee patent year 04
24.03.2015Renewal fee patent year 05
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU03.03.2011
AL06.05.2015
AT06.05.2015
BE06.05.2015
CY06.05.2015
CZ06.05.2015
DK06.05.2015
EE06.05.2015
ES06.05.2015
FI06.05.2015
HR06.05.2015
IT06.05.2015
LT06.05.2015
LV06.05.2015
MC06.05.2015
MK06.05.2015
NL06.05.2015
PL06.05.2015
RO06.05.2015
RS06.05.2015
SE06.05.2015
SI06.05.2015
SK06.05.2015
SM06.05.2015
TR06.05.2015
BG06.08.2015
NO06.08.2015
GR07.08.2015
IS06.09.2015
PT07.09.2015
[2018/46]
Former [2018/31]HU03.03.2011
AT06.05.2015
BE06.05.2015
CY06.05.2015
CZ06.05.2015
DK06.05.2015
EE06.05.2015
ES06.05.2015
FI06.05.2015
HR06.05.2015
IT06.05.2015
LT06.05.2015
LV06.05.2015
MC06.05.2015
MK06.05.2015
NL06.05.2015
PL06.05.2015
RO06.05.2015
RS06.05.2015
SE06.05.2015
SI06.05.2015
SK06.05.2015
SM06.05.2015
TR06.05.2015
BG06.08.2015
NO06.08.2015
GR07.08.2015
IS06.09.2015
PT07.09.2015
Former [2018/29]HU03.03.2011
AT06.05.2015
BE06.05.2015
CY06.05.2015
CZ06.05.2015
DK06.05.2015
EE06.05.2015
ES06.05.2015
FI06.05.2015
HR06.05.2015
IT06.05.2015
LT06.05.2015
LV06.05.2015
MC06.05.2015
MK06.05.2015
MT06.05.2015
NL06.05.2015
PL06.05.2015
RO06.05.2015
RS06.05.2015
SE06.05.2015
SI06.05.2015
SK06.05.2015
SM06.05.2015
TR06.05.2015
BG06.08.2015
NO06.08.2015
GR07.08.2015
IS06.09.2015
PT07.09.2015
Former [2018/28]HU03.03.2011
AT06.05.2015
BE06.05.2015
CY06.05.2015
CZ06.05.2015
DK06.05.2015
EE06.05.2015
ES06.05.2015
FI06.05.2015
HR06.05.2015
IT06.05.2015
LT06.05.2015
LV06.05.2015
MC06.05.2015
MK06.05.2015
MT06.05.2015
NL06.05.2015
PL06.05.2015
RO06.05.2015
RS06.05.2015
SE06.05.2015
SI06.05.2015
SK06.05.2015
SM06.05.2015
BG06.08.2015
NO06.08.2015
GR07.08.2015
IS06.09.2015
PT07.09.2015
Former [2017/40]AT06.05.2015
BE06.05.2015
CZ06.05.2015
DK06.05.2015
EE06.05.2015
ES06.05.2015
FI06.05.2015
HR06.05.2015
IT06.05.2015
LT06.05.2015
LV06.05.2015
MC06.05.2015
MT06.05.2015
NL06.05.2015
PL06.05.2015
RO06.05.2015
RS06.05.2015
SE06.05.2015
SI06.05.2015
SK06.05.2015
BG06.08.2015
NO06.08.2015
GR07.08.2015
IS06.09.2015
PT07.09.2015
Former [2016/49]AT06.05.2015
BE06.05.2015
CZ06.05.2015
DK06.05.2015
EE06.05.2015
ES06.05.2015
FI06.05.2015
HR06.05.2015
IT06.05.2015
LT06.05.2015
LV06.05.2015
MC06.05.2015
PL06.05.2015
RO06.05.2015
RS06.05.2015
SI06.05.2015
SK06.05.2015
BG06.08.2015
NO06.08.2015
GR07.08.2015
IS06.09.2015
PT07.09.2015
Former [2016/37]AT06.05.2015
BE06.05.2015
CZ06.05.2015
DK06.05.2015
EE06.05.2015
ES06.05.2015
FI06.05.2015
HR06.05.2015
IT06.05.2015
LT06.05.2015
LV06.05.2015
PL06.05.2015
RO06.05.2015
RS06.05.2015
SI06.05.2015
SK06.05.2015
BG06.08.2015
NO06.08.2015
GR07.08.2015
IS06.09.2015
PT07.09.2015
Former [2016/24]AT06.05.2015
CZ06.05.2015
DK06.05.2015
EE06.05.2015
ES06.05.2015
FI06.05.2015
HR06.05.2015
IT06.05.2015
LT06.05.2015
LV06.05.2015
PL06.05.2015
RO06.05.2015
RS06.05.2015
SI06.05.2015
SK06.05.2015
BG06.08.2015
NO06.08.2015
GR07.08.2015
IS06.09.2015
PT07.09.2015
Former [2016/21]AT06.05.2015
CZ06.05.2015
DK06.05.2015
EE06.05.2015
ES06.05.2015
FI06.05.2015
HR06.05.2015
IT06.05.2015
LT06.05.2015
LV06.05.2015
PL06.05.2015
RO06.05.2015
RS06.05.2015
SK06.05.2015
BG06.08.2015
NO06.08.2015
GR07.08.2015
IS06.09.2015
PT07.09.2015
Former [2016/10]AT06.05.2015
CZ06.05.2015
DK06.05.2015
EE06.05.2015
ES06.05.2015
FI06.05.2015
HR06.05.2015
LT06.05.2015
LV06.05.2015
PL06.05.2015
RO06.05.2015
RS06.05.2015
SK06.05.2015
BG06.08.2015
NO06.08.2015
GR07.08.2015
IS06.09.2015
PT07.09.2015
Former [2016/09]AT06.05.2015
DK06.05.2015
EE06.05.2015
ES06.05.2015
FI06.05.2015
HR06.05.2015
LT06.05.2015
LV06.05.2015
RS06.05.2015
BG06.08.2015
NO06.08.2015
GR07.08.2015
IS06.09.2015
PT07.09.2015
Former [2016/07]AT06.05.2015
DK06.05.2015
ES06.05.2015
FI06.05.2015
HR06.05.2015
LT06.05.2015
LV06.05.2015
RS06.05.2015
BG06.08.2015
NO06.08.2015
GR07.08.2015
IS06.09.2015
PT07.09.2015
Former [2015/51]AT06.05.2015
ES06.05.2015
FI06.05.2015
HR06.05.2015
LT06.05.2015
LV06.05.2015
RS06.05.2015
BG06.08.2015
NO06.08.2015
GR07.08.2015
IS06.09.2015
PT07.09.2015
Former [2015/50]ES06.05.2015
FI06.05.2015
HR06.05.2015
LT06.05.2015
LV06.05.2015
RS06.05.2015
BG06.08.2015
NO06.08.2015
GR07.08.2015
IS06.09.2015
PT07.09.2015
Former [2015/49]ES06.05.2015
FI06.05.2015
HR06.05.2015
LT06.05.2015
LV06.05.2015
RS06.05.2015
NO06.08.2015
GR07.08.2015
PT07.09.2015
Documents cited:Search[Y]US2008212046  (RIEPEN MICHEL [NL], et al) [Y] 1-15 * abstract * * figures 1,12,13 * * paragraphs [0002] , [0077] - [0081] *;
 [Y]US2006232756  (LOF JOERI [NL], et al) [Y] 1-15 * abstract * * figure 18 * * paragraphs [0002] , [0147] - [0153] *;
 [A]US2007085990  (CHIBANA TAKAHITO [JP]) [A] 1,12,14,15 * abstract * * figures 1,4 * * paragraphs [0002] , [0073] - [0089] *
ExaminationWO2007046523
 US2009279062
by applicantUS4509852
 WO9949504
 WO2005064405
 US2006119809
 EP1420300
 US2004136494
 US2004207824
 US2008212046
 US2007030464
 US2006038968
 US20090239555
 US20090213657
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