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Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP2622634

EP2622634 - INTEGRATED SHADOW MASK/CARRIER FOR ION IMPLANTATION [Right-click to bookmark this link]
Former [2013/32]INTEGRATED SHADOW MASK/CARRIER FOR PATTERN ION IMPLANTATION
[2014/12]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  10.07.2015
Database last updated on 01.10.2024
Most recent event   Tooltip12.10.2018Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): AL		published on 14.11.2018  [2018/46]
Applicant(s)For all designated states
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
35 Dory Road
Gloucester, MA 01930 / US
[2013/32]
Inventor(s)01 / BATEMAN, Nicholas, P., T.
55 Pasture Road
Reading MA 01867 / US
02 / DANIELS, Kevin, M.
11 Cider Mill Road
Lynnfield MA 01940 / US
03 / GUPTA, Atul
4 Arbella Drive
Beverly MA 01915 / US
04 / LOW, Russell, J.
137 Hillside Street
Rowley MA 01969 / US
05 / RIORDON, Benjamin, D.
7A Monroe Street
Newburyport MA 01950 / US
06 / MITCHELL, Robert, J.
38 Wildwood Street
Winchester MA 01890 / US
07 / ANELLA, Steven, M.
6 Chestnut Hill Street
West Newbury MA 01985 / US
 [2013/32]
Representative(s)Becker Kurig & Partner Patentanwälte mbB
Bavariastraße 7
80336 München / DE
[N/P]
Former [2013/32]Becker Kurig Straus
Bavariastrasse 7
80336 München / DE
Application number, filing date11769982.723.09.2011
WO2011US52970
Priority number, dateUS2010089592701.10.2010         Original published format: US 895927
[2013/32]
Filing languageEN
Procedural languageEN
PublicationType: A1 Application with search report
No.:WO2012044533
Date:05.04.2012
Language:EN
[2012/14]
Type: A1 Application with search report 
No.:EP2622634
Date:07.08.2013
Language:EN
The application published by WIPO in one of the EPO official languages on 05.04.2012 takes the place of the publication of the European patent application.
[2013/32]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP2622634
Date:03.09.2014
Language:EN
[2014/36]
Search report(s)International search report - published on:EP05.04.2012
ClassificationIPC:H01L21/687
[2014/12]
CPC:
H01L21/677 (EP,US); H01J37/3171 (EP,US); H01L21/68735 (EP,US);
H01L31/1804 (EP,US); H01J2237/31711 (EP,US); Y02E10/547 (EP,US);
Y02P70/50 (EP,US) (-)
Former IPC [2013/32]H01L21/677, H01J37/317, H01L21/687
Designated contracting statesAL,   AT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   RS,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2013/32]
Extension statesBANot yet paid
MENot yet paid
TitleGerman:INTEGRIERTE LOCHMASKE / TRÄGER FÜR IONENIMPLANTATION[2014/20]
English:INTEGRATED SHADOW MASK/CARRIER FOR ION IMPLANTATION[2014/12]
French:MASQUE/PORTEUR INTEGRE POUR L' IMPLANTATION D'IONS[2014/12]
Former [2013/32]INTEGRIERTE LOCHMASKE/TRÄGER FÜR MUSTERIONENIMPLANTATION
Former [2013/32]INTEGRATED SHADOW MASK/CARRIER FOR PATTERN ION IMPLANTATION
Former [2013/32]MASQUE/PORTEUR PERFORÉ INTÉGRÉ POUR IMPLANTATION IONIQUE PAR MOTIF
Entry into regional phase26.03.2013National basic fee paid 
26.03.2013Designation fee(s) paid 
26.03.2013Examination fee paid 
Examination procedure26.03.2013Examination requested  [2013/32]
09.10.2013Amendment by applicant (claims and/or description)
16.04.2014Communication of intention to grant the patent
24.07.2014Fee for grant paid
24.07.2014Fee for publishing/printing paid
24.07.2014Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is  16.04.2014
Opposition(s)04.06.2015No opposition filed within time limit [2015/33]
Fees paidRenewal fee
27.09.2013Renewal fee patent year 03
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU23.09.2011
AL03.09.2014
AT03.09.2014
BE03.09.2014
BG03.09.2014
CY03.09.2014
CZ03.09.2014
DK03.09.2014
EE03.09.2014
ES03.09.2014
FI03.09.2014
HR03.09.2014
IT03.09.2014
LT03.09.2014
LV03.09.2014
MC03.09.2014
MK03.09.2014
MT03.09.2014
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RS03.09.2014
SE03.09.2014
SI03.09.2014
SK03.09.2014
SM03.09.2014
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LU23.09.2014
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[2018/46]
Former [2018/31]HU23.09.2011
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MT03.09.2014
NL03.09.2014
PL03.09.2014
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SE03.09.2014
SI03.09.2014
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SM03.09.2014
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SE03.09.2014
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