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EP About this file: EP2587529

EP2587529 - SUCTION APPARATUS, SEMICONDUCTOR DEVICE OBSERVATION DEVICE, AND SEMICONDUCTOR DEVICE OBSERVATION METHOD [Right-click to bookmark this link]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  23.11.2018
Database last updated on 20.09.2024
FormerThe patent has been granted
Status updated on  15.12.2017
FormerGrant of patent is intended
Status updated on  04.10.2017
Most recent event   Tooltip26.06.2020Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): MK		published on 29.07.2020  [2020/31]
Applicant(s)For all designated states
Hamamatsu Photonics K.K.
1126-1, Ichino-cho
Higashi-ku
Hamamatsu-shi, Shizuoka 435-8558 / JP
[2018/03]
Former [2013/18]For all designated states
Hamamatsu Photonics K.K.
1126-1, Ichino-cho Higashi-ku
Hamamatsu-shi, Shizuoka 435-8558 / JP
Inventor(s)01 / TERADA Hirotoshi
c/o Hamamatsu Photonics K.K.
1126-1 Ichino-cho
Higashi-ku
Hamamatsu-shi, Shizuoka 435-8558 / JP
02 / MATSUURA Hiroyuki
c/o Hamamatsu Photonics K.K.
1126-1 Ichino-cho
Higashi-ku
Hamamatsu-shi, Shizuoka 435-8558 / JP
 [2018/03]
Former [2013/18]01 / TERADA Hirotoshi
c/o Hamamatsu Photonics K.K.
1126-1 Ichino-cho
Higashi-ku
Hamamatsu-shi Shizuoka 435-8558 / JP
02 / MATSUURA Hiroyuki
c/o Hamamatsu Photonics K.K.
1126-1 Ichino-cho
Higashi-ku
Hamamatsu-shi Shizuoka 435-8558 / JP
Representative(s)Hoffmann Eitle
Patent- und Rechtsanwälte PartmbB
Arabellastraße 30
81925 München / DE
[2018/03]
Former [2013/18]HOFFMANN EITLE
Patent- und Rechtsanwälte
Arabellastrasse 4
81925 München / DE
Application number, filing date11798145.621.06.2011
[2018/03]
WO2011JP64172
Priority number, dateJP2010014286823.06.2010         Original published format: JP 2010142868
[2013/18]
Filing languageJA
Procedural languageEN
PublicationType: A1 Application with search report
No.:WO2011162261
Date:29.12.2011
Language:JA
[2011/52]
Type: A1 Application with search report 
No.:EP2587529
Date:01.05.2013
Language:EN
[2013/18]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP2587529
Date:17.01.2018
Language:EN
[2018/03]
Search report(s)International search report - published on:JP29.12.2011
(Supplementary) European search report - dispatched on:EP14.03.2017
ClassificationIPC:G01N21/95, H01L21/683, H01L21/687, // H01L21/66
[2017/43]
CPC:
G01N21/9501 (EP,KR,US); H01L22/12 (EP,KR,US); G01N21/01 (US);
H01L21/6838 (EP,KR,US); H01L21/68757 (EP,KR,US); H01L21/68785 (EP,KR,US);
H01L22/24 (KR) (-)
Former IPC [2017/15]G01N21/95, H01L21/683, H01L21/687
Former IPC [2013/18]H01L21/66
Designated contracting statesAL,   AT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   RS,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2013/18]
Extension statesBANot yet paid
MENot yet paid
TitleGerman:SAUGVORRICHTUNG, VORRICHTUNG ZUR ÜBERWACHUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS UND VERFAHREN ZUR ÜBERWACHUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS[2013/18]
English:SUCTION APPARATUS, SEMICONDUCTOR DEVICE OBSERVATION DEVICE, AND SEMICONDUCTOR DEVICE OBSERVATION METHOD[2013/18]
French:APPAREIL D'ASPIRATION, ET DISPOSITIF ET PROCÉDÉ POUR L'OBSERVATION D'UN DISPOSITIF SEMI-CONDUCTEUR[2013/18]
Entry into regional phase28.11.2012Translation filed 
28.11.2012National basic fee paid 
28.11.2012Search fee paid 
28.11.2012Designation fee(s) paid 
28.11.2012Examination fee paid 
Examination procedure28.11.2012Examination requested  [2013/18]
23.08.2017Amendment by applicant (claims and/or description)
05.10.2017Communication of intention to grant the patent
05.12.2017Fee for grant paid
05.12.2017Fee for publishing/printing paid
05.12.2017Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is  05.10.2017
Opposition(s)18.10.2018No opposition filed within time limit [2018/52]
Fees paidRenewal fee
19.06.2013Renewal fee patent year 03
31.03.2014Renewal fee patent year 04
24.06.2015Renewal fee patent year 05
31.03.2016Renewal fee patent year 06
16.06.2017Renewal fee patent year 07
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU21.06.2011
AL17.01.2018
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CY17.01.2018
CZ17.01.2018
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