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Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP2487543

EP2487543 - Illumination lens for projection lithography [Right-click to bookmark this link]
Status	No opposition filed within time limit Status updated on 03.07.2020 Database last updated on 30.03.2026
Former	The patent has been granted Status updated on 24.05.2019
Former	Grant of patent is intended Status updated on 03.04.2019
Most recent event Tooltip	08.07.2022	Lapse of the patent in a contracting state New state(s): MK	published on 10.08.2022 [2022/32]
Applicant(s)	For all designated states Carl Zeiss SMT GmbH Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen / DE
	[2012/33]
Inventor(s)	01 / Wangler, Johannes An der Reute 15 89551 Königsbronn / DE
	02 / Degünther, Markus Langäckerweg 20 73432 Aalen / DE
	03 / Bieling, Stig Im Unterfeld 18 73434 Aalen / DE
	[2012/33]
Representative(s)	Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB Königstraße 2 90402 Nürnberg / DE
	[2019/26]
Former [2012/33]	Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte - Rechtsanwälte Königstraße 2 90402 Nürnberg / DE
Application number, filing date	12152211.4	24.01.2012
	[2012/33]
Priority number, date	DE20111003928	10.02.2011 Original published format: DE102011003928
	US201161441328P	10.02.2011 Original published format: US 201161441328 P
	[2012/33]
Filing language	DE
Procedural language	DE
Publication	Type:	A2 Application without search report
	No.:	EP2487543
	Date:	15.08.2012
	Language:	DE
	[2012/33]
	Type:	A3 Search report
	No.:	EP2487543
	Date:	30.10.2013
	Language:	DE
	[2013/44]
	Type:	B1 Patent specification
	No.:	EP2487543
	Date:	26.06.2019
	Language:	DE
	[2019/26]
Search report(s)	(Supplementary) European search report - dispatched on:	EP	30.09.2013
Classification	IPC:	G03F7/20	[2012/33]
	CPC:	G03F7/70058 (EP,US); G02B26/10 (KR); G02B27/09 (KR); G03F7/20 (KR)
Designated contracting states	AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR [2019/26]
Former [2012/33]	AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR
Title	German:	Beleuchtungsoptik für die Projektionslithographie	[2012/33]
	English:	Illumination lens for projection lithography	[2012/33]
	French:	Optique d'éclairage pour lithographie de projection	[2012/33]
Examination procedure	19.03.2014	Amendment by applicant (claims and/or description)
	19.03.2014	Examination requested [2014/18]
	04.04.2019	Communication of intention to grant the patent
	16.05.2019	Fee for grant paid
	16.05.2019	Fee for publishing/printing paid
	16.05.2019	Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)	The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is 04.04.2019
Opposition(s)	03.06.2020	No opposition filed within time limit [2020/32]
Fees paid	Renewal fee
	30.01.2014	Renewal fee patent year 03
	23.01.2015	Renewal fee patent year 04
	27.01.2016	Renewal fee patent year 05
	20.01.2017	Renewal fee patent year 06
	26.01.2018	Renewal fee patent year 07
	22.01.2019	Renewal fee patent year 08
Opt-out from the exclusive Tooltip competence of the Unified Patent Court	See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
	Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition Tooltip	HU	24.01.2012
	AL	26.06.2019
	CY	26.06.2019
	CZ	26.06.2019
	DK	26.06.2019
	EE	26.06.2019
	ES	26.06.2019
	FI	26.06.2019
	HR	26.06.2019
	IT	26.06.2019
	LT	26.06.2019
	LV	26.06.2019
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	NO	26.09.2019
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	AT	24.01.2020
	GB	24.01.2020
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	BE	31.01.2020
	CH	31.01.2020
	FR	31.01.2020
	LI	31.01.2020
	[2022/32]
Former [2022/27]	HU	24.01.2012
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	LI	31.01.2020
Former [2021/25]	AL	26.06.2019
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	LI	31.01.2020
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Former [2020/37]	AL	26.06.2019
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	NO	26.09.2019
	GR	27.09.2019
	IS	26.10.2019
	PT	28.10.2019
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	GR	27.09.2019
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	IS	24.02.2020
Former [2020/22]	AL	26.06.2019
	CZ	26.06.2019
	DK	26.06.2019
	EE	26.06.2019
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	HR	26.06.2019
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	HR	26.06.2019
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	GR	27.09.2019
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	CZ	26.06.2019
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	GR	27.09.2019
	IS	26.10.2019
	PT	28.10.2019
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