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Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP2573507

EP2573507 - Precision stage interferometer system with air duct [Right-click to bookmark this link]
Status	No opposition filed within time limit Status updated on 03.01.2020 Database last updated on 11.09.2024
Former	The patent has been granted Status updated on 25.01.2019
Former	Grant of patent is intended Status updated on 19.08.2018
Most recent event Tooltip	01.07.2022	Lapse of the patent in a contracting state New state(s): MK	published on 03.08.2022 [2022/31]
Applicant(s)	For all designated states Mitutoyo Corporation 20-1, Sakado 1-chome Takatsu-ku Kawasaki-shi Kanagawa 213-8533 / JP
	[2019/09]
Former [2013/13]	For all designated states Mitutoyo Corporation 20-1, Sakado 1-chome, Takatsu-ku Kawasaki-shi Kanagawa 213 / JP
Inventor(s)	01 / Sakai, Hisayoshi c/o Mitutoyo Corporation 20-1, Sakado 1-chome, Takatsu-ku Kawasaki-shi, Kanagawa 213-8533 / JP
	[2013/13]
Representative(s)	MERH-IP Matias Erny Reichl Hoffmann Patentanwälte PartG mbB Paul-Heyse-Strasse 29 80336 München / DE
	[2019/09]
Former [2013/13]	MERH-IP Matias Erny Reichl Hoffmann Paul-Heyse-Strasse 29 80336 München / DE
Application number, filing date	12185071.3	19.09.2012
	[2013/13]
Priority number, date	JP20110205382	20.09.2011 Original published format: JP 2011205382
	JP20120015032	27.01.2012 Original published format: JP 2012015032
	[2013/13]
Filing language	EN
Procedural language	EN
Publication	Type:	A1 Application with search report
	No.:	EP2573507
	Date:	27.03.2013
	Language:	EN
	[2013/13]
	Type:	B1 Patent specification
	No.:	EP2573507
	Date:	27.02.2019
	Language:	EN
	[2019/09]
Search report(s)	(Supplementary) European search report - dispatched on:	EP	03.01.2013
Classification	IPC:	G01B5/008, F16C32/06	[2013/13]
	CPC:	G03F7/70758 (EP,US); B23Q17/00 (EP,US); G01B5/0004 (EP,US); G01B5/008 (EP,US); G01B9/02021 (EP,US); G03F7/70775 (EP,US); (+) F16C2370/00 (EP,US); F16C32/0622 (EP,US) (-)
Designated contracting states	AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR [2019/09]
Former [2013/13]	AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR
Title	German:	Interferometersystem mit Luftleitung für feinmechanische Trägerplatte	[2013/13]
	English:	Precision stage interferometer system with air duct	[2013/13]
	French:	Système interférométrique avec manche à air pour dispositif porte-objet de précision	[2013/13]
Examination procedure	31.07.2013	Amendment by applicant (claims and/or description)
	27.09.2013	Examination requested [2013/45]
	20.08.2018	Communication of intention to grant the patent
	28.12.2018	Fee for grant paid
	28.12.2018	Fee for publishing/printing paid
	28.12.2018	Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)	The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is 20.08.2018
Opposition(s)	28.11.2019	No opposition filed within time limit [2020/06]
Fees paid	Renewal fee
	26.09.2014	Renewal fee patent year 03
	25.09.2015	Renewal fee patent year 04
	22.09.2016	Renewal fee patent year 05
	26.09.2017	Renewal fee patent year 06
	25.09.2018	Renewal fee patent year 07
Opt-out from the exclusive Tooltip competence of the Unified Patent Court	See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
	Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition Tooltip	HU	19.09.2012
	AL	27.02.2019
	AT	27.02.2019
	CY	27.02.2019
	CZ	27.02.2019
	DK	27.02.2019
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	FI	27.02.2019
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	MC	27.02.2019
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	NL	27.02.2019
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	[2022/31]
Former [2021/34]	HU	19.09.2012
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	GR	28.05.2019
	IS	27.06.2019
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Former [2020/03]	AL	27.02.2019
	AT	27.02.2019
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