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EP About this file: EP2690496

EP2690496 - METHOD FOR MEASURING DISTORTION OF PROJECTION OBJECTIVE [Right-click to bookmark this link]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  23.06.2017
Database last updated on 20.09.2024
Most recent event   Tooltip10.07.2020Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): IS		published on 12.08.2020  [2020/33]
Applicant(s)For all designated states
Shanghai Micro Electronics Equipment Co., Ltd.
1525 Zhangdong Road
Pudong New Area
Shanghai 201203 / CN
[2014/05]
Inventor(s)01 / FANG, Li
1525 Zhangdong Road
Pudong New Area
Shanghai 201203 / CN
02 / SUN, Gang
1525 Zhangdong Road
Pudong New Area
Shanghai 201203 / CN
03 / MIN, Jinhua
1525 Zhangdong Road
Pudong New Area
Shanghai 201203 / CN
04 / ZHANG, Jun
1525 Zhangdong Road
Pudong New Area
Shanghai 201203 / CN
 [2014/05]
Representative(s)Lavoix
Bayerstraße 83
80335 München / DE
[N/P]
Former [2016/33]Lavoix
Bayerstrasse 83
80335 München / DE
Former [2014/05]Tischner, Oliver
Lavoix Munich
Bayerstrasse 83
80335 München / DE
Application number, filing date12761311.521.03.2012
[2016/33]
WO2012CN72693
Priority number, dateCN2011106806021.03.2011         Original published format: CN201110068060
[2014/05]
Filing languageZH
Procedural languageEN
PublicationType: A1 Application with search report
No.:WO2012126364
Date:27.09.2012
Language:ZH
[2012/39]
Type: A1 Application with search report 
No.:EP2690496
Date:29.01.2014
Language:EN
[2014/05]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP2690496
Date:17.08.2016
Language:EN
[2016/33]
Search report(s)International search report - published on:CN27.09.2012
(Supplementary) European search report - dispatched on:EP09.01.2015
ClassificationIPC:G03F7/20, H01L21/66, G03F1/44
[2015/05]
CPC:
G03F7/706 (EP,US); G03F1/44 (US); G03F7/70633 (US);
G03F7/70725 (EP,US)
Former IPC [2014/05]G03F7/20, H01L21/66
Designated contracting statesAL,   AT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   RS,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2014/05]
Extension statesBANot yet paid
MENot yet paid
TitleGerman:VERFAHREN ZUR MESSUNG DER VERZERRUNG VON PROJEKTIONSOBJEKTIVEN[2014/05]
English:METHOD FOR MEASURING DISTORTION OF PROJECTION OBJECTIVE[2014/05]
French:PROCÉDÉ PERMETTANT DE MESURER UNE DISTORSION D'UN OBJECTIF DE PROJECTION[2014/05]
Entry into regional phase12.09.2013Translation filed 
12.09.2013National basic fee paid 
12.09.2013Search fee paid 
12.09.2013Designation fee(s) paid 
12.09.2013Examination fee paid 
Examination procedure12.09.2013Amendment by applicant (claims and/or description)
12.09.2013Examination requested  [2014/05]
04.05.2016Communication of intention to grant the patent
05.07.2016Fee for grant paid
05.07.2016Fee for publishing/printing paid
05.07.2016Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is  04.05.2016
Opposition(s)18.05.2017No opposition filed within time limit [2017/30]
Fees paidRenewal fee
24.03.2014Renewal fee patent year 03
24.03.2015Renewal fee patent year 04
25.03.2016Renewal fee patent year 05
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU21.03.2012
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Documents cited:Search[A]EP1863071  (NIKON CORP [JP]) [A] 1-16 * paragraphs [0057] - [0093]; figures 1-4b *;
 [A]US2006109438  (SMITH ADLAI H [US], et al) [A] 1-16 * paragraphs [0118] - [0138]; figure 16 *;
 [A]US2005213097  (BASELMANS JOHANNES J M [NL], et al) [A] 1-16 * paragraphs [0039] - [0056]; figures 2-4 *
International search[A]CN101040367  (NIPPON KOGAKU KK [JP]);
 [A]CN101435998  (SHANGHAI HUAHONG NEC ELECT CO [CN]);
 [A]CN1770419  (POWERCHIP SEMICONDUCTOR CORP [CN]);
 [A]CN101387833  (SHANGHAI MICROELECTRONICS EQUI [CN]);
 [A]JP3397654B  (CANON KK);
 [A]US6061119  (OTA KAZUYA [JP])
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